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볼 수용부를 구비하는 지지체;상기 수용부에 볼 조인트 형태로 수용되는 에어 베어링 볼;상기 에어 베어링 볼에 연결되며, 상기 에어 베어링 볼을 회전 구동시키는 구동 유닛;상기 에어 베어링 볼에 설치되며, 레이저 광원과 연결되어 타겟에 레이저를 조사하는 레이저 간섭계;상기 레이저 간섭계에 설치되며, 상기 타겟의 이동에 따라 상기 타겟에서 반사된 레이저 빔의 변위를 감지하는 위치감지 디텍터; 및상기 위치감지 디텍터의 감지 결과를 근거로 상기 레이저 간섭계가 상기 타겟을 트래킹하도록 상기 구동 유닛을 제어하는 제어부를 포함하는 레이저 트래커
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제1항에 있어서, 상기 구동 유닛은,상기 에어 베어링 볼의 후단에 연결되는 연결 로드;상기 연결 로드와 볼 조인트 방식으로 연결되는 브라켓; 및상기 브라켓에 연결되며, 상기 브라켓을 적어도 2축 방향으로 이송시키는 이송 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 트래커
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제2항에 있어서,상기 연결 로드는 상기 에어 베어링 볼의 회전에 따라 길이 조절 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 트래커
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제1항에 있어서,상기 레이저 간섭계는 상기 에어 베어링 볼의 표면에 설치되고,상기 구동 유닛은 상기 레이저 간섭계의 반대편에서 상기 에어 베어링 볼을 지지하는 것을 특징으로 하는 레이저 트래커
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제1항에 있어서,상기 레이저 간섭계는 빔 출력부가 상기 에어 베어링 볼로부터 일측 방향을 향하도록 상기 에어 베어링 볼의 내부에 설치되고,상기 구동 유닛은 상기 에어 베어링 볼의 타측 방향에서 상기 에어 베어링 볼을 지지하는 것을 특징으로 하는 레이저 트래커
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제1항에 있어서, 상기 레이저 간섭계는,상기 타겟으로부터 반사되어 돌아온 레이저를 분광시켜 일부를 상기 위치감지 디텍터로 보내는 제1분광기를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 트래커
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제6항에 있어서, 상기 레이저 간섭계는,거리측정용 광 검출기;상기 거리측정용 광 검출기의 일측에 배치되는 레퍼런스용 광 검출기; 및상기 레이저 광원으로부터 입력받은 레이저 광을 분광시켜 상기 레퍼런스용 광 검출기와 타겟으로 보내고, 상기 타겟으로부터 돌아와 상기 제1분광기에서 분광된 레이저의 일부를 상기 거리측정용 광 검출기로 보내는 제2분광기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 트래커
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제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2분광기는 빔 출력 방향을 따라 일렬로 배열되고,상기 거리 측정용 광 검출기와 레퍼런스용 광 검출기는 상기 제2분광기를 기준으로 마주보는 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저 트래커
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제7항에 있어서,상기 제어부는 상기 거리 측정용 광 검출기와 레퍼런스용 광 검출기에서 검출된 광신호를 근거로 상기 타겟까지의 거리를 연산하는 것을 특징으로 하는 레이저 트래커
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