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언와인딩 롤(R1)과 와인딩 롤(R2)사이에서 이동되는 웹(W)상에 일정 간격 이격되어 설치되는 한 쌍의 EHDA 유닛(300)과, 상기 EHDA 유닛(300)사이에 배치되는 ALD 유닛(400)을 포함하여, 상기 웹(W)이 상기 언와인딩 롤(R1)과 와인딩 롤(R2)사이를 전후진 하면서 상기 EHDA 유닛(300)과 ALD 유닛(400)에 의해 특정 물질이 다수 층 적층되는 롤투롤 기반의 다층 적층 방법
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제1항에 있어서,상기 EHDA 유닛(300)은 상기 언와인딩 롤(R1) 측에 배치되는 제1EHDA유닛(300-1)과 와인딩 롤(R2) 측에 배치되는 제2EHDA유닛(300-2)을 포함하되,상기 제1EHDA유닛(300-1)은 제1EHDA부(330-1)와 상기 제1EHDA부(330-1) 중 언와인딩 롤(R1)측에 배치되는 제1경화부(320A)와 와인딩 롤(R2)측에 배치되는 제2경화부(340B)를 포함하고,상기 제2EHDA유닛(300-2)은 제2EHDA부(330-2)와 상기 제2EHDA부(330-2) 중 언와인딩 롤(R1)측에 배치되는 제1경화부(320C)와 와인딩 롤(R2)측에 배치되는 제2경화부(340D)를 포함하여,상기 제1EHDA부(330-1) 또는 제2EHDA부(330-2)에 의해 적층된 물질은 상기 제1 경화부(320A,320C) 또는 제2 경화부(340B,340D)에 의해 경화되는 롤투롤 기반의 다층 적층 방법
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제2항에 있어서,상기 제1EHDA부(330-1)는 ON하되, 상기 제1EHDA부(330-1)의 제1경화부(320A)는 OFF하고 제2경화부(340B)는 ON한 상태에서 상기 웹(W)을 언와인딩 롤(R1)에서 와인딩 롤(R2)측으로 전진하여,상기 웹(W)은 제1EHDA부(330-1)에서 1차 적층한 후 제2경화부(340B)에서 경화하고,상기 경화된 웹(W)은 ALD 유닛(400)을 통과하여 2차 적층되여, 와인딩 롤(R2)에 권취되게 한 후,상기 제1EHDA부(330-1)는 OFF하고 제2EHDA부(330-2)는 ON하되, 제2EHDA부(330-2)의 제1경화부(320C)는 ON하고 제2경화부(340D)는 OFF한 상태에서 상기 웹(W)을 와인딩 롤(R2)에서 언와인딩 롤(R1)측으로 후진하게 하여,상기 웹(W)은 제2EHDA(330-2)에서 3차 적층한 후 제1경화부(320C)에서 경화하고,상기 경화된 웹(W)을 ALD 유닛(400)을 통과하여 4차 적층하는 롤투롤 기반의 다층 적층 방법
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제2항에 있어서,상기 제1EHDA부(330-1)와 제2EHDA부(330-2)는 ON하되, 상기 제1EHDA부(330-1)의 제1경화부(320A)는 OFF하고 제2경화부(340B)는 ON하며, 제2EHDA부(330-2)의 제1경화부(320C)는 OFF하고 제2경화부(340D)는 ON한 상태에서, 상기 웹(W)을 언와인딩 롤(R1)에서 와인딩 롤(R2)측으로 전진하여,상기 웹(W)은 제1EHDA부(330-1)에서 1차 적층한 후 제2경화부(340B)에서 경화하고,상기 웹(W)은 상기 ALD 유닛(400)을 통과하여 2차 적층하며,상기 웹(W)은 상기 제2EHDA부(330-2)에서 3차 적층한 후 제2경화부(340D)에서 경화하고,상기 제1EHDA부(330-1)와 제2EHDA부(330-2)는 ON하되, 상기 제1EHDA부(330-1)의 제1경화부(320A)는 ON하고 제2경화부(340B)는 OFF하며, 제2EHDA부(330-2)의 제1경화부(320C)는 ON하고 제2경화부(340D)는 OFF한 상태에서, 상기 웹(W)을 와인딩 롤(R2)에서 언와인딩 롤(R1)측으로 후진하여,상기 웹(W)은 상기 제2EHDA부(330-2)에서 4차 적층한 후 제1경화부(320C)에서 경화하고,상기 웹(W)은 상기 ALD 유닛(400)을 통과하여 5차 적층되며,상기 제1EHDA부(330-1)에서 6차 적층된 후 제1경화부(340A)에서 경화하는 롤투롤 기반의 다층 적층 방법
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제1항에 있어서,상기 ALD 유닛(400)은 내부에 대기압 환경이 조성되는 것으로서 상기 웹(W)이 출입하는 ALD 챔버(410)와, 상기 ALD 챔버(410) 내부에 웹(W) 진행방향 양 측에 배치되되 상기 ALD 챔버(410)의 높이 방향으로 다수 개 배치되어 상기 웹(W)이 이동하는 아이들 롤러(IR)와, 상기 웹(W)의 이동 경로 중 일 부분에 설치되는 것으로서 상기 웹(W)에 불활성 가스를 도포하는 불활성 가스 챔버(420)와, 상기 웹(W)에 제1전구체를 도포하는 제1전구체 챔버(430)와, 상기 웹(W)에 제2전구체를 도포하는 제2전구체 챔버(440)를 포함하되, 상기 각 챔버(420,430,440)의 양 측에는 일부가 개방된 슬릿(S)이 형성되어 상기 웹(W)이 상기 각 챔버(420,430,440)를 경유하게 하여,상기 웹(W)에 제1전구체 또는 제2전구체가 도포되도록 하는 롤투롤 기반의 다층 적층 방법
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제1항에 있어서,상기 ALD유닛(400)에 의해 무기물 물질이 토출되어 웹(W)상에 적층되고,상기 한 쌍의 EHDA 유닛(300) 중 적어도 한 측의 EHDA 유닛에서는 유기물 물질이 토출되어 웹(W)상에 적층되는 롤투롤 기반의 다층 적층 방법
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