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분광 타원해석기(Spectroscopic ellipsometer)

  • 기술번호 : KST2017014762
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 분광 타원해석기는, 편광된 광을 발생시키는 광원측 광학대; 광원측 광학대의 일단에 마련되어, 편광된 광을 시편으로 입사시키는 광원측 대물거울계; 시편에서 반사된 광의 편광 변화량을 검출하는 검출기측 광학대; 검출기측 광학대의 일단에 마련되어, 반사된 광을 검출기측 광학대로 입사시키는 검출기측 대물거울계; 및 광원측 대물거울계와 검출기측 대물거울계를 결합시키는 연결부재; 를 포함할 수 있다. 이와 같은 분광 타원해석기에 의하면, 대물거울이 결합된 결합형 대물거울 시스템 또는 대물렌즈가 결합된 결합형 대물렌즈 시스템을 이용함으로써, 시편으로 입사되는 입사각의 크기를 타원해석기에 필요한 크기로 실현할 수 있다. 이 때, 대물거울(또는 대물렌즈) 내부에 배열된 거울(또는 렌즈)들은 대칭적으로 정렬되어 타원해석기의 광축에 쉽게 도입설치가 가능하며, 배열이 고정되어 외부의 흔들림에도 광경의 뒤틀림이 없다. 또한, 슬릿을 이용함으로써 집속되는 초점의 크기를 줄이고, 입사하는 편광방향을 일정하게 할 수 있다. 또한, 슬릿이나 대물거울 시스템(또는 대물렌즈 시스템)을 이동시킴으로써 입사각을 용이하게 조절할 수 있다.
Int. CL G01N 21/21 (2016.04.15) G02B 13/00 (2016.04.15) G02B 15/14 (2016.04.15)
CPC G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01)
출원번호/일자 1020160027015 (2016.03.07)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0104245 (2017.09.15) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.03.07)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기도 안산시 상록구
2 박성모 대한민국 부산광역시 사상구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성욱 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***(역삼동) 동아빌딩 *층(주식회사에스와이피)
2 심경식 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 동아빌딩 *층(에스와이피특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0218039-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0000676-87
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0141933-27
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0341774-53
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0341775-09
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0491560-65
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0894957-26
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0894958-72
10 등록결정서
Decision to grant
2017.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0830838-60
11 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-1244969-19
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번호 청구항
1 1
편광된 광을 발생시키는 광원측 광학대;상기 광원측 광학대의 일단에 마련되어, 상기 편광된 광을 시편으로 입사시키는 광원측 대물거울계;상기 시편에서 반사된 광의 편광 변화량을 검출하는 검출기측 광학대;상기 검출기측 광학대의 일단에 마련되어, 상기 반사된 광을 상기 검출기측 광학대로 입사시키는 검출기측 대물거울계;상기 광원측 대물거울계와 상기 검출기측 대물거울계를 결합시키는 연결부재; 및 상기 편광된 광이 상기 광원측 대물거울계에 입사하기 전 위치 또는 상기 광원측 대물거울계와 상기 시편 사이의 광 경로 상에 마련되며, 개구가 형성되어 상기 편광된 광을 선택적으로 통과시키는 슬릿; 을 포함하고, 상기 편광된 광의 상기 시편에 대한 입사각은, 상기 연결부재 또는 상기 연결부재를 통해 결합된 광원측 대물거울계 및 검출기측 대물거울계를 상하방향으로 평행 이동시킴으로써 조절되는 분광 타원해석기
2 2
제 1 항에 있어서,상기 광원측 대물거울계 및 검출기측 대물거울계는, 상기 시편의 수직축을 중심으로 대칭구조를 형성하는 분광 타원해석기
3 3
제 1 항에 있어서,상기 광원측 대물거울계 및 검출기측 대물거울계 각각은,일차거울인 볼록거울 및 이차거울인 오목거울을 포함하는 분광 타원해석기
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 편광된 광의 상기 시편에 대한 입사각은, 상기 슬릿을 상기 슬릿의 너비방향으로 평행 이동시킴으로써 조절되는 분광 타원해석기
7 7
삭제
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 광원측 대물거울계를 대신하여 광원측 대물렌즈계를 포함하고, 상기 검출기측 대물거울계를 대신하여 검출기측 대물렌즈계를 포함하는 분광 타원해석기
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 광원측 대물렌즈계 및 검출기측 대물렌즈계 각각은, 적어도 하나의 볼록렌즈를 포함하는 분광 타원해석기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한양대학교 에리카산학협력단 산업기술혁신사업 / 산업핵심기술개발사업 / 전자정보디바이스산업원천기술개발사업(RCMS) Lithography 공정에서 박막 및 표면을 고해상도 (100μmx100μm이하) 로 검사할 수 있는 in-line ellipsometry 기술 개발