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나노 크기의 구조물이 표면에 형성된 마이크로 크기의 구조물 제작 방법(Fabrication method of micro-sized structure with nano-sized structure formed on the surface)

  • 기술번호 : KST2017015646
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노 크기의 구조물이 표면에 형성된 마이크로 크기의 구조물을 간편하고 저렴하게 제작하는 방법이 개시된다.전술한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 나노 크기의 구조물이 표면에 형성된 마이크로 크기의 구조물 제작 방법은 마이크로 크기로 이루어진 소정 형상의 개방부를 갖는 절연층을 금속 표면에 형성하는 단계, 금속을 전해액에 담그고 전류밀도의 프로파일을 제어하면서 전원을 공급하여, 금속이 양극 산화되게 하는 단계, 화학적으로 식각하여 산화되지 않은 금속 부분을 제거하는 단계를 포함한다.
Int. CL B81C 1/00 (2016.05.04)
CPC B81C 1/00349(2013.01) B81C 1/00349(2013.01) B81C 1/00349(2013.01) B81C 1/00349(2013.01)
출원번호/일자 1020160041197 (2016.04.04)
출원인 강원대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0114116 (2017.10.13) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.04.04)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 대한민국 강원도 춘천시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김병희 대한민국 강원도 춘천시 행촌로 **,
2 서영호 대한민국 강원도 춘천시 지석로 **,
3 박용민 대한민국 강원도 춘천시 공지로***번길
4 한의돈 대한민국 강원도 춘천시 성심

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 신지 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교 산학협력단 강원도 춘천시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0324617-15
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0408226-14
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0291266-11
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0600912-11
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0600911-76
6 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2017.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0676157-17
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.11.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1175792-04
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-1175791-58
9 등록결정서
Decision to grant
2018.03.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0162150-66
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5230938-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
마이크로 크기로 이루어진 소정 형상의 개방부를 갖는 절연층을 금속 표면에 형성하는 단계; 및상기 금속을 전해액에 담그고 전류밀도의 프로파일을 제어하면서 전원을 공급하여, 상기 금속이 양극 산화되게 하는 단계;화학적으로 식각하여 산화되지 않은 금속 부분을 제거하는 단계를 포함하며,양극 산화된 금속의 바닥 형상은금속의 표면에 인가된 전류밀도의 프로파일과 실질적으로 동일하게 형성되도록 상기 전류밀도의 프로파일은 개방부의 폭(W)에 대한 절연층의 두께(H) 비율을 조절하여 제어되는 것을 특징으로 하는 나노 크기의 구조물이 표면에 형성된 마이크로 크기의 구조물 제작 방법
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삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 절연층은 절연 폴리머층인 것을 특징으로 하는 나노 크기의 구조물이 표면에 형성된 마이크로 크기의 구조물 제작 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 절연층은 감광제를 이용한 포토리소그래피(Photolithography) 공정으로 형성된 것을 특징으로 하는 나노 크기의 구조물이 표면에 형성된 마이크로 크기의 구조물 제작 방법
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제1항에 있어서,상기 금속은 알루미늄인 것을 특징으로 하는 나노 크기의 구조물이 표면에 형성된 마이크로 크기의 구조물 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국기계연구원 제조기반산업핵심기술개발 100nm~100㎛ 나노복합구조물 응용제품 생산을 위한 금형가공 및 에너지 10% 절감 성형시스템 개발
2 미래창조과학부 연세대학교 이공학분야(S/ERC) 초정밀 광 기계기술 연구센터