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금속액체를 신축형 몰드레진의 내부로 주입하는 단계;상기 신축형 몰드레진 내부의 금속액체를 초음파로 분쇄하는 단계;상기 신축형 몰드레진을 소정의 패턴을 갖는 주형으로 임프린팅하여 복제하여 복제몰드를 형성하는 단계; 및상기 복제 몰드를 상기 주형으로부터 이형하는 단계를 포함하는 신축성 나노금속패턴 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속액체는 비독성 갈륨기반(Ga-based) 저융점금속액체(liquid metal)인 것을 특징으로 하는 신축성 나노금속패턴 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 신축형 몰드레진은 PDMS(poly dimethyl siloxane stamp)을 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 나노금속패턴 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속액체를 신축형 몰드레진의 내부로 주입하는 단계에서, 상기 금속액체는 단속적으로 상기 신축형 몰드레진의 내부로 주입되어 혼합되는 것을 특징으로 하는 신축성 나노금속패턴 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 복제 몰드에 전기장을 인가하여 상기 금속액체 내의 금속밀도를 변화시키는 단계를 더 포함하는 신축성 나노금속패턴 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 신축형 몰드레진을 주형으로 복제하는 단계에서, 상부 및 하부에 각각 위치하며 소정의 패턴을 갖는 제1 및 제2 주형들의 사이에 상기 신축형 몰드레진을 위치시키며 임프린팅하여 복제하는 것을 특징으로 하는 신축성 나노금속패턴 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 복제 몰드를 상기 주형으로부터 이형한 이후, 접착용 신축형 몰드를 신장시키는 단계;상기 복제 몰드를 상기 접착용 신축형 몰드에 접착시키는 단계; 및상기 접착용 신축형 몰드를 축소시키는 단계를 더 포함하는 신축성 나노금속패턴 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 복제 몰드를 상기 접착용 신축형 몰드에 접착시키는 단계에서, UV 경화제를 사용하여 접착시키는 것을 특징으로 하는 신축성 나노금속패턴 제조방법
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신축형 몰드레진을 주형으로 임프린팅하여 복제하는 단계;상기 복제된 신축형 몰드를 상기 주형으로부터 이형하고 신장시키는 단계;금속액체를 레지스트의 내부로 주입하는 단계;상기 레지스트 내부의 금속액체를 초음파로 분쇄 및 분산하는 단계;상기 레지스트를 상기 이형된 신축형 몰드를 주형으로 임프린팅하여 복제하고 경화시키는 단계; 및상기 경화된 레지스트를 이형하는 단계를 포함하는 신축성 나노금속패턴 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 이형된 레지스트에 전기장을 인가하여 상기 금속액체 내의 금속밀도를 변화시키는 단계를 더 포함하는 신축성 나노금속패턴 제조방법
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