요약 | 본 발명은 하전 입자 검출 장치에 관한 것이다. 본 발명의 입사된 하전 입자 빔을 분광하기 위한 분광기; 상기 분광된 하전 입자 빔에 포함된 하전 입자를 검출하기 위한 복수의 하전 입자 검출기들; 상기 복수의 하전 입자 검출기들을 이동시키기 위한 구동 유닛; 상기 분광기로 입사되는 상기 하전 입자 빔의 감지하기 위한 전하 감지 유닛; 및 상기 전하 감지 유닛에서 감지한 상기 하전 입자 빔의 정보를 이용하여, 상기 복수의 하전 입자 검출기들의 각각이 상기 분광된 하전 입자 빔의 경로 상에 배치되도록 상기 구동 유닛을 제어하는 컨트롤러를 포함한다. |
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Int. CL | H01J 49/26 (2016.06.11) H01J 49/00 (2016.06.11) G01N 27/62 (2016.06.11) |
CPC | H01J 49/26(2013.01) H01J 49/26(2013.01) H01J 49/26(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020160054260 (2016.05.02) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2017-0124687 (2017.11.13) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 공개 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | N |
심사청구항수 | 1 |