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수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물, 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물과 PEDOT/PSS 전도성 고분자를 포함하는 광미세가공용 조성물 및 이를 이용한 마이크로 패턴의 제조방법(WATER-SOLUBLE DIACETYLENE MONOMER, COMPOSITION FOR PHOTOLITHOGRAPHY CONTAINING WATER-SOLUBLE DIACETYLENE MONOMER AND PEDOT/PSS CONDUCTIVE POLYMERS, AND METHOD FOR PREPARING MICROPATTERN USING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2017017189
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 신규의 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물, 상기 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물과 PEDOT/PSS 전도성 고분자를 포함하는 광미세가공용 조성물 및 이를 이용한 마이크로 패턴의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 수용성 전도성 고분자 PEDOT/PSS와 혼합하여도 응집현상이 일어나지 않는 신규의 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물, 상기 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물과 PEDOT/PSS 전도성 고분자를 포함하는 광미세가공용 조성물 및 이를 이용한 마이크로 패턴의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 수용성 전도성 고분자 PEDOT/PSS와 혼합하여도 응집현상이 일어나지 않는 신규의 수용성 다이아세틸렌 단량체를 제공할 수 있다. 이에 따라 PEDOT/PSS와 상기 다이아세틸렌 단량체를 혼합하여 균일한 광미세가공용 조성물의 제조가 가능하고 이를 이용하여 마이크로 패턴을 제조할 수 있다. 더욱 구체적으로 상기 조성물을 이용하여 박막을 제조한 후 빛을 조사하면 다이아세틸렌 단량체의 광중합 반응으로 빛을 받은 부분만 선택적으로 가교되어 불용성의 음각형 마이크로 패턴을 얻을 수 있다.
Int. CL C07C 305/14 (2016.06.09) C07C 303/24 (2016.06.09) C07C 303/42 (2016.06.09) G03F 7/004 (2016.06.09) G03F 7/20 (2016.06.09) G03F 1/76 (2016.06.09) C08L 81/02 (2016.06.09)
CPC C07C 305/14(2013.01) C07C 305/14(2013.01) C07C 305/14(2013.01) C07C 305/14(2013.01) C07C 305/14(2013.01) C07C 305/14(2013.01) C07C 305/14(2013.01)
출원번호/일자 1020160054161 (2016.05.02)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0124675 (2017.11.13) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.05.02)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종만 대한민국 서울특별시 강동구
2 김태근 대한민국 대전광역시 중구
3 이찬우 대한민국 서울특별시 강남구
4 어경찬 대한민국 경기도 부천시 원미구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0423203-72
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-0489294-30
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0757379-87
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2017-0015747-71
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.06.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0396252-56
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.08.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0756854-29
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0756853-84
9 등록결정서
Decision to grant
2017.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0838488-69
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0092883-26
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
13 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-1181617-98
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
다이아세틸렌 단량체와, 아미노알킬 하이드로젠 설페이트 또는 아미노알킬 하이드로젠 포스페이트를 유기용매에 용해시킨 후, 알칸포스폰산 무수물을 첨가하여 반응시키는 단계를 포함하여 구성되는, 하기 화학식 1-1로 표시되는 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물의 제조방법
4 4
다이아세틸렌 단량체와, 아미노알킬 하이드로젠 설페이트 또는 아미노알킬 하이드로젠 포스페이트를 유기용매에 용해시킨 후, 알칸포스폰산 무수물을 첨가하여 반응시키는 단계(단계 a); 및알칼리 금속 화합물로 염기 처리하는 단계(단계 b)를 포함하여 구성되는, 하기 화학식 1-2로 표시되는 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물의 제조방법
5 5
청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 다이아세틸렌 단량체는 PCDA(10,12-pentacosadiynoic acid), TCDA (10,12-tricosadiynoic acid), ECDA(5,7-elcosadiynoic acid), HCDA(8,10-heneicosadiynoic acid) 및 HDDA(4,6-heptadecadiynoic acid)로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물의 제조방법
6 6
청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 아미노알킬 하이드로젠 설페이트는 2-아미노에틸 하이드로젠 설페이트 인 것을 특징으로 하는 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물의 제조방법
7 7
청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 알칸포스폰산 무수물은 프로판포스폰산 무수물인 것을 특징으로 하는 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물의 제조방법
8 8
청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 알칸포스폰산 무수물을 첨가하여 반응시키는 단계는 1~35℃에서 12 ~ 24 시간 동안 교반하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물의 제조방법
9 9
청구항 4에 있어서,상기 알칼리 금속 화합물은 소듐 바이카보네이트인 것을 특징으로 하는 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물의 제조방법
10 10
PEDOT-PSS (폴리(3,4-에틸렌 디옥시티오펜)-폴리(4-스티렌설포네이트))와 하기 화학식 1로 표시되는 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물을 포함하는 광미세가공용 조성물
11 11
청수항 10에 있어서,상기 화학식 1로 표시되는 화합물은, 하기 화학식 2로 표시되는 것을 특징으로 하는 광미세가공용 조성물
12 12
청구항 10에 있어서, 상기 PEDOT-PSS는 1~5(wt/v)% 수용액 상태인 것을 특징으로 하는 광미세가공용 조성물
13 13
청구항 12에 있어서,PEDOT-PSS 수용액의 용질과 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물은, 100: 0
14 14
하기 화학식 1로 표시되는 수용성 다이아세틸렌 단량체 화합물을 PEDOT-PSS 수용액에 용해시킨 다음, 기재 상에 코팅하여 박막을 형성하는 단계(단계 a); 및상기 박막에 포토마스크를 올린 후 자외선을 노광하여 패턴을 형성하는 단계(단계 b)를 포함하는 마이크로 패턴의 제조방법
15 15
청구항 14에 있어서,상기 기재는 실리콘 웨이퍼, 유리판, 플라스틱 기판, 종이 또는 금속기판인 것을 특징으로 하는 마이크로 패턴의 제조방법
16 16
청구항 14에 있어서,상기 단계 b 이후, 황산, 술폰산, 개미산, 염산, 과염소산, 질산, 아세트산, DMF (dimethylformamide), DMSO(dimethyl sulfoxide) 및 에틸렌글리콜로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상으로 도핑하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 패턴의 제조방법
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1 US20190144379 US 미국 FAMILY
2 WO2017191932 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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2 WO2017191932 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한양대학교 산학협력단 이공분야기초연구사업 / 중견연구자지원사업 / 도약연구(도전-후속연구지원) 3차원 나노구조체를 이용한 공액고분자센서 신호증폭현상 연구
2 미래창조과학부 한양대학교 산학협력단 이공분야기초연구사업 / 중견연구자지원사업 / 도약연구(도전-후속연구지원) 3차원 나노구조체를 이용한 공액고분자센서 신호증폭현상 연구