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다중 접합 반도체의 결함 검사 장치에 있어서,테라헤르츠 광을 발생시켜 하부에 배치된 상기 다중 접합 반도체 측으로 조사하는 광원;상기 광원으로부터 발생된 테라헤르츠 광을 하부에 배치된 상기 다중 접합 반도체 측으로 방출하는 슬릿 안테나 프로브;상기 슬릿 안테나 프로브와 상기 다중 접합 반도체 사이에 배치되어 상기 광원으로부터 조사되는 테라헤르츠 광을 균일하게 상기 다중 접합 반도체 측으로 조사하는 평행광 조사부;상기 다중 접합 반도체 하부에 배치되어 상기 다중 접합 반도체를 투과한 테라헤르츠 광을 집속하는 광 집속부;상기 슬릿 안테나 프로브와 상기 평행광 조사부 사이에 배치되어 상기 다중 접합 반도체로부터 반사된 후 상기 평행광 조사부를 통과하는 테라헤르츠 광을 분배하는 광분배부;상기 광 집속부에서 집속된 테라헤르츠 광을 검출하는 제1 광검출부;상기 광분배부에서 분배된 테라헤르츠 광을 검출하는 제2 광검출부;상기 제1 광검출부 또는 상기 제2 광검출부에서 검출된 테라헤르츠 광 신호를 수집하여 상기 다중 접합 반도체에 대한 영상 신호를 생성하는 영상 신호 생성부; 및상기 생성된 영상 신호를 분석하여 상기 다중 접합 반도체의 결함 유무 및 상기 결함의 위치를 파악하는 영상 신호 분석부를 포함하고,상기 제1 광검출부 및 상기 제2 광검출부는 복수 개가 1차원 형태로 배열되거나 또는 복수 개가 2차원 형태로 배열되며, 상기 다중 접합 반도체의 복수 개의 영역 별로 시간에 따른 파형을 갖는 전기적 신호를 생성하고,상기 영상 신호 생성부는 상기 다중 접합 반도체의 복수 개의 영역 별로 생성되는 시간에 따른 파형을 갖는 전기적 신호를 주파수 영역의 신호로 변환한 후 상기 주파수 영역으로 변환된 신호의 크기 또는 위상을 이용하여 상기 다중 접합 반도체에 대한 영상 신호를 생성하며, 상기 영상 신호 분석부는 상기 생성된 영상 신호를 분석하여 상기 다중 접합 반도체의 결함 유무 및 결함 위치를 파악하되,상기 슬릿 안테나 프로브는, 상기 광원으로부터 발생된 테라헤르츠 광을 가이딩하는 가이딩부; 및상기 가이딩부와 상기 슬릿 안테나 프로브의 외부 공간 사이를 관통하는 슬릿을 포함하고,상기 슬릿에는, 상기 가이딩부를 지나 상기 슬릿을 통과하는 테라헤르츠 광의 반사 정도를 감소시키기 위한 반사 감소 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 반사 감소 구조는,상기 가이딩부측으로부터 상기 외부 공간측으로 폭 길이가 점차적으로 작아지도록 형성된 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제2항에 있어서,상기 반사 감소 구조는,라운드(round) 형 또는 챔퍼(chamfer) 형을 갖는 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 슬릿은,상기 가이딩부측으로부터 상기 외부 공간 측으로 폭 길이가 점차적으로 작아지다가, 소정 지점부터 폭 길이가 일정하게 유지되는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 슬릿 안테나 프로브의 일 단면에는,상기 테라헤르츠 광의 방사 프로파일(profile)을 조절하기 위한 패턴 조절 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제5항에 있어서,상기 패턴 조절 구조는,상기 슬릿 안테나 프로브의 일 단면에 형성된 홈 및 돌출부 중 적어도 하나로 구성된 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 슬릿은, 복수 개이며, 상기 반사 감소 구조는, 상기 복수 개의 슬릿 각각에 형성된 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치는,상기 평행광 조사부와 상기 다중 접합 반도체 사이에 배치되며 표면에 적어도 하나 이상의 핀홀이 형성되는 필터부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 평행광 조사부 또는 상기 광 집속부는 복수 개가 어레이 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 광검출부에서 검출된 테라헤르츠 광 신호는 상기 다중 접합 반도체에 포함된 적어도 하나 이상의 결함에 의해 감쇠 또는 시간 지연이 발생한 신호이고,상기 영상 신호 분석부는 상기 감쇠 또는 상기 시간 지연을 이용하여 상기 다중 접합 반도체의 결함 유무 및 상기 결함의 위치를 파악하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 광검출부에서 검출된 테라헤르츠 광 신호는 상기 다중 접합 반도체에 포함된 복수 개의 경계면 중 결함이 포함된 적어도 하나 이상의 경계면에 의한 굴절률 차이에 따라 크기 변화 또는 시간 지연이 발생한 신호이고,상기 영상 신호 분석부는 상기 크기 변화 또는 상기 시간 지연을 이용하여 상기 다중 접합 반도체의 결함 유무 및 상기 결함의 위치를 파악하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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다중 접합 반도체의 결함 검사 장치에 있어서,테라헤르츠 광을 발생시켜 하부에 배치된 상기 다중 접합 반도체 측으로 조사하는 광원;상기 광원으로부터 발생된 테라헤르츠 광을 하부에 배치된 상기 다중 접합 반도체 측으로 방출하는 슬릿 안테나 프로브;상기 다중 접합 반도체를 투과하거나 상기 다중 접합 반도체로부터 반사된 테라헤르츠 광을 검출하는 광 검출부;상기 광 검출부에서 검출된 테라헤르츠 광 신호를 수집하여 상기 다중 접합 반도체에 대한 영상 신호를 생성하는 영상 신호 생성부; 및상기 생성된 영상 신호를 분석하여 상기 다중 접합 반도체의 결함 유무 및 상기 결함의 위치를 파악하는 영상 신호 분석부를 포함하되, 상기 슬릿 안테나 프로브는, 상기 광원으로부터 발생된 테라헤르츠 광을 가이딩하는 가이딩부; 및상기 가이딩부와 상기 슬릿 안테나 프로브의 외부 공간 사이를 관통하는 슬릿을 포함하고,상기 슬릿에는, 상기 가이딩부를 지나 상기 슬릿을 통과하는 테라헤르츠 광의 반사 정도를 감소시키기 위한 반사 감소 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제12항에 있어서, 상기 슬릿 안테나 프로브는,복수 개가 어레이 형태로 배열된 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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제13항에 있어서,상기 광 집속부는,복수 개가 어레이 형태로 배열된 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치
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