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RF 오실레이터에서 출력된 RF 신호 및 레이저에서 출력된 광 펄스열 간의 위상 차이를 나타내는 오차 신호를 생성하는 위상 검출기;상기 오차 신호에 기초하여 상기 레이저의 반복률을 제어하는 압전소자 제어부;상기 오차 신호에 기초하여 상기 광 펄스열의 경로 상의 지연 라인을 제어하는 지연 라인 제어부; 및상기 광 펄스열의 경로 상에서 상기 광 펄스열의 레벨이 일정하게 유지되도록 제어하는 상대세기잡음 제어부를 포함하는, 레이저 동기화 장치
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제1항에 있어서,상기 지연 라인 제어부는,상기 광 펄스열을 TM 모드 선형 편광에서 TE 모드 선형 편광으로 조절하는 반파장 위상지연자를 포함하는, 레이저 동기화 장치
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제1항에 있어서,상기 지연 라인 제어부는,상기 광 펄스열을 분리하는 빔 스플리터;상기 분리된 광 펄스열의 경로의 적어도 일부를 구성하는 지연 라인;상기 분리된 광 펄스열의 경로 상에서 상기 광 펄스열의 위상을 지연시키는 사분파장 위상지연자;상기 지연 라인의 일단에 배치되는 미러; 및상기 미러의 위치를 이동시키도록 미러의 일측에 부착된 압전소자를 포함하는, 레이저 동기화 장치
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제3항에 있어서,상기 지연 라인 제어부는 상기 압전소자를 제어함으로써 상기 분리된 광 펄스열의 경로의 길이를 제어하는, 레이저 동기화 장치
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삭제
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제1항에 있어서,상기 상대세기잡음 제어부는,상기 광 펄스열로부터 상기 광 펄스열에 대한 0차 빔을 발생시키는 음향 광학 변조기;상기 0차 빔의 출력 크기를 검출하는 광 검출기; 및상기 검출된 0차 빔의 출력 크기에 기초하여 상기 음향 광학 변조기의 RF 캐리어 주파수의 크기를 제어하는 서보 컨트롤러를 포함하는, 레이저 동기화 장치
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RF 오실레이터에서 출력된 RF 신호 및 레이저에서 출력된 광 펄스열 간의 위상 차이를 검출하는 위상 검출기;상기 위상 차이에 기초하여 상기 레이저의 반복률을 제어하는 압전소자 제어부; 및상기 광 펄스열의 출력 레벨이 일정하게 유지되도록 제어하는 상대 세기 잡음 제어부를 포함하는, 레이저 동기화 장치
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제7항에 있어서,상기 상대 세기 잡음 제어부는,상기 광 펄스열로부터 상기 광 펄스열에 대한 0차 빔을 발생시키는 음향 광학 변조기;상기 0차 빔의 출력 크기를 검출하는 광 검출기; 및상기 검출된 0차 빔의 출력 크기에 기초하여 상기 음향 광학 변조기의 RF 캐리어 주파수의 크기를 제어하는 서보 컨트롤러를 포함하는, 레이저 동기화 장치
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RF 오실레이터에서 출력된 RF 신호 및 레이저에서 출력된 광 펄스열 간의 위상 차이를 나타내는 오차 신호를 생성하는 단계;상기 오차 신호에 기초하여 상기 레이저의 반복률을 제어하는 단계; 상기 오차 신호에 기초하여 상기 광 펄스열의 경로 상의 지연 라인을 제어하는 단계; 및상기 광 펄스열의 경로 상에서 상기 광 펄스열의 레벨이 일정하게 유지되도록 제어하는 상대세기잡음 제어 단계를 포함하는, 레이저 동기화 방법
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제9항에 있어서,상기 지연 라인을 제어하는 단계는,상기 광 펄스열을 TM 모드 선형 편광에서 TE 모드 선형 편광으로 조절하는 단계를 포함하는, 레이저 동기화 방법
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제9항에 있어서,상기 지연 라인을 제어하는 단계는,빔 스플리터를 이용하여 상기 광 펄스열을 분리하는 단계;상기 분리된 광 펄스열을 지연 라인에 입사시키는 단계;상기 분리된 광 펄스열의 경로 상에서 상기 광 펄스열의 위상을 사분파장 단위로 지연시키는 단계;상기 지연 라인의 일단에 배치되는 미러를 이용하여 상기 광 펄스열을 반사시키는 단계; 및상기 미러의 일측에 부착된 압전소자를 이용하여 상기 미러의 위치를 이동시키는 단계를 포함하는, 레이저 동기화 방법
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제11항에 있어서,상기 지연 라인을 제어하는 단계는,상기 압전소자를 제어함으로써 상기 분리된 광 펄스열의 경로의 길이를 제어하는 단계를 포함하는, 레이저 동기화 방법
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삭제
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제9항에 있어서,상기 상대세기잡음 제어 단계는,음향 광학 변조기를 이용하여 상기 광 펄스열로부터 상기 광 펄스열에 대한 0차 빔을 발생시키는 단계;상기 0차 빔의 출력 크기를 검출하는 단계; 및상기 검출된 0차 빔의 출력 크기에 기초하여 상기 음향 광학 변조기의 RF 캐리어 주파수의 크기를 제어하는 단계를 포함하는, 레이저 동기화 방법
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RF 오실레이터에서 출력된 RF 신호 및 레이저에서 출력된 광 펄스열 간의 위상 차이를 나타내는 오차 신호를 생성하는 단계;상기 오차 신호에 기초하여 상기 레이저의 반복률을 제어하는 단계; 및상기 광 펄스열의 경로 상에서 상기 광 펄스열의 레벨이 일정하게 유지되도록 제어하는 상대세기잡음 제어 단계를 포함하는, 레이저 동기화 방법
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제15항에 있어서,상기 상대세기잡음 제어 단계는,음향 광학 변조기를 이용하여 상기 광 펄스열로부터 상기 광 펄스열에 대한 0차 빔을 발생시키는 단계;상기 0차 빔의 출력 크기를 검출하는 단계; 및상기 검출된 0차 빔의 출력 크기에 기초하여 상기 음향 광학 변조기의 RF 캐리어 주파수의 크기를 제어하는 단계를 포함하는, 레이저 동기화 방법
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