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광학렌즈의 DLC 코팅 장치 및 방법(DLC coating apparatus and method for optical lens)

  • 기술번호 : KST2018002524
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 챔버 내에 장착된 흑연소재의 타겟체로부터 플라즈마화된 이온을 발생시켜 바이어스가 인가된 금속기판에 안착되게 장착된 광학 렌즈의 표면에 막을 코팅하는 DLC 코팅장치 및 방법에 관한 것으로서, 광학 렌즈는 곡률을 갖게 형성된 렌즈부분과, 렌즈부분의 가장자리에서 판형상으로 연장된 플렌지부분을 구비하고, 금속기판은 렌즈부분의 표면형상에 대응되게 곡률을 갖게 형성되어 렌즈부분과 밀착되는 곡률밀착부분을 갖는 구조로 형성되어 있다. 이러한 광학렌즈의 DLC 코팅 장치 및 방법에 의하면, 광학렌즈에 균일한 두께로 DLC막을 코팅할 수 있으며, 렌즈부분과 가장자리 사이의 아크발생을 억제시켜 양질의 막을 형성할 수 있는 장점을 제공한다.
Int. CL C23C 14/50 (2016.09.29) C23C 14/32 (2016.09.29) C23C 14/06 (2016.09.29) G02B 1/14 (2016.09.29) H01J 37/32 (2016.09.29)
CPC C23C 14/50(2013.01) C23C 14/50(2013.01) C23C 14/50(2013.01) C23C 14/50(2013.01) C23C 14/50(2013.01)
출원번호/일자 1020160109337 (2016.08.26)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0023650 (2018.03.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.08.26)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 인정환 대한민국 대전광역시 유성구
2 최주현 미국 광주광역시 광산구
3 박준 대한민국 서울특별시 강동구
4 김영복 대한민국 경상남도 김해시
5 황연 대한민국 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0833838-04
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0841108-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.06.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2017-0025877-87
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.11.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0769467-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0009707-40
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.01.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0009708-96
8 등록결정서
Decision to grant
2018.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0173563-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
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번호 청구항
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챔버 내에 장착된 흑연소재의 타겟체로부터 플라즈마화된 이온을 발생시켜 바이어스가 인가된 금속기판에 안착되게 장착된 광학 렌즈의 표면에 막을 코팅하는 DLC 코팅장치에 있어서, 상기 광학 렌즈는 곡률을 갖게 형성된 렌즈부분과, 렌즈부분의 가장자리에서 판형상으로 연장된 플렌지부분을 구비하고,상기 금속기판은 상기 렌즈부분의 표면형상에 대응되게 곡률을 갖게 형성되어 상기 렌즈부분과 밀착되는 곡률밀착부분을 갖는 구조로 형성되어 있고,상기 광학렌즈는 복수개가 상호 이격되게 상기 금속기판에 어레이되어 있고, 상기 광학렌즈들 사이에 삽입되어 상기 광학렌즈를 상기 금속기판에 대해 지지시키며 절연체 소재로 형성된 스페이서;를 구비하며,상기 스페이서는 상기 광학렌즈보다 유전율이 높은 세라믹 소재로 형성되어 있고, 상기 금속기판의 상기 스페이서와 대향되는 부분에는 상기 광학렌즈에 대응되게 유효 유전율을 보정하기 위한 보정공간이 상기 스페이서에 대해 멀어지는 방향으로 형성된 인입홈을 갖는 것을 특징으로 하는 광학렌즈의 DLC 코팅장치
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제3항에 있어서, 상기 금속기판의 표면은 상기 광학렌즈의 스크래치 방지를 위해 테프론소재로 코팅처리된 스크래치 방지막;이 형성된 것을 특징으로 하는 광학렌즈의 DLC 코팅장치
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