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캔틸레버(cantilever)의 일단에 일체로 연결된 탐침을 시료(sample)의 목표 지점에 위치시키는 단계;상기 캔틸레버에 설정된 반사면에 레이저 광을 입사하여 반사광을 검출하는 단계;상기 입사된 상기 레이저 광인 입사광의 광량과 상기 반사광의 광량에 기초하여 상기 캔틸레버의 측정 반사율을 산출하는 단계; 및기 설정된 상기 캔틸레버의 반사율과 온도 사이의 관계 및 상기 측정 반사율을 이용하여 상기 시료의 상기 목표 지점의 온도를 산출하는 단계를 포함하며,상기 목표 지점의 온도를 산출하는 단계는 상기 캔틸레버의 두께 및 상기 입사광의 파장을 상수로 하고, 상기 측정 반사율을 변수로 하는 함수식을 이용하여 목표 지점의 온도를 산출하는 것을 특징으로 하는 원자력 현미경(atomic force microscopy; AFM) 장치의 온도 측정 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 목표 지점의 온도를 산출하는 단계는 상기 측정 반사율에 대응하는 상기 캔틸레버의 온도를 상기 목표 지점의 온도로 결정하는 것을 특징으로 하는 원자력 현미경 장치의 온도 측정 방법
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캔틸레버(cantilever)의 일단에 일체로 연결된 탐침을 시료(sample)의 목표 지점에 위치시키는 단계;상기 캔틸레버에 설정된 반사면에 레이저 광을 입사하여 반사광을 검출하는 단계;상기 입사된 상기 레이저 광인 입사광의 광량과 상기 반사광의 광량에 기초하여 상기 캔틸레버의 측정 반사율을 산출하는 단계; 및기 설정된 상기 캔틸레버의 반사율과 온도 사이의 관계 및 상기 측정 반사율을 이용하여 상기 시료의 상기 목표 지점의 온도를 산출하는 단계를 포함하며, 상기 목표 지점의 온도를 산출하는 단계는 기 설정된 상기 캔틸레버의 두께 및 기 설정된 상기 입사광의 파장에 따라 상기 캔틸레버의 반사율에 대응하는 상기 온도가 설정된 룩업-테이블로부터 상기 목표 지점의 온도를 산출하는 것을 특징으로 하는 원자력 현미경 장치의 온도 측정 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 목표 지점의 온도를 산출하는 단계는 상기 측정 반사율에 대응하는 상기 캔틸레버의 온도를 상기 목표 지점의 온도로 결정하는 것을 특징으로 하는 원자력 현미경 장치의 온도 측정 방법
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캔틸레버(cantilever)의 일단에 일체로 연결된 탐침과 시료(sample) 사이의 접촉을 제어하는 제어부;상기 캔틸레버에 설정된 반사면에 레이저 광을 입사하는 레이저 광원;반사면으로부터 반사된 반사광을 검출하는 광 검출기;상기 광 검출기에서 생성된 검출 데이터에 기초하여 상기 캔틸레버의 변위를 측정함으로써 상기 시료의 토포그래피(topography) 데이터를 산출하는 토포그래피 산출부; 및상기 광 검출기에서 생성된 상기 반사광의 광량, 상기 캔틸레버의 측정 반사율, 및 기 설정된 상기 캔틸레버의 반사율과 온도 사이의 관계에 기초하여 상기 탐침이 지시하는 상기 시료의 목표 지점의 온도를 산출하는 시료 온도 산출부를 포함하며,상기 시료 온도 산출부는 기 설정된 상기 캔틸레버의 두께, 기 설정된 입사광의 파장 및 상기 측정 반사율을 이용하여 상기 캔틸레버의 온도 산출하는 것을 특징으로 하는 원자력 현미경(atomic force microscopy; AFM) 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 시료 온도 산출부는 상기 측정 반사율에 대응하는 상기 캔틸레버의 온도를 상기 목표 지점의 온도로 결정하는 것을 특징으로 하는 원자력 현미경 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 시료 온도 산출부는 상기 반사광의 광량을 상기 반사면에 입사되는 상기 레이저 광인 입사광의 광량으로 나누어 상기 측정 반사율을 산출하는 것을 특징으로 하는 원자력 현미경 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 캔틸레버의 반사율과 온도 사이의 관계는 상기 캔틸레버의 두께 및 상기 입사광의 파장을 상수로 하고, 상기 측정 반사율을 변수로 하여 상기 목표 지점의 온도를 산출하기 위한 함수식을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자력 현미경 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 캔틸레버의 반사율과 온도 사이의 관계는 상기 캔틸레버의 두께 및 상기 입사광의 파장에 따라 상기 캔틸레버의 반사율과 상기 온도 사이의 관계가 설정된 룩업-테이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자력 현미경 장치
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제 10 항에 있어서, 상기 시료 온도 산출부는 상기 룩업-테이블로부터 상기 측정 반사율에 대응하는 온도를 추출하여 상기 목표 지점의 온도로 결정하는 것을 특징으로 하는 원자력 현미경 장치
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