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다공성 형태의 감습구멍을 갖는 정전용량형 습도센서(Capacitive-type humidity sensors having grid patterning hole)

  • 기술번호 : KST2018004166
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 정전용량형 습도센서에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 상부 전극과 감습층을 함께 관통하는 복수개의 감습구멍을 원형 격자 패턴으로 타공하고, 감습층의 감습구멍 내면에는 친수성 처리하여 습도변화에 매우 민감한 다공성 형태의 정전용량형 습도센서에 관한 것이다.
Int. CL G01N 27/22 (2006.01)
CPC G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01)
출원번호/일자 1020130042818 (2013.04.18)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1495666-0000 (2015.02.16)
공개번호/일자 10-2014-0125904 (2014.10.30) 문서열기
공고번호/일자 (20150226) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.18)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장성필 대한민국 경기 고양시 일산동구
2 차두열 대한민국 충청북도 청주시 상당구
3 정정모 대한민국 경기 이천시 설봉로
4 김덕수 대한민국 인천 서구
5 양희준 대한민국 인천광역시 부평구
6 최교상 대한민국 인천 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0338585-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.06.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0055932-34
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0512374-03
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0919795-43
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.09.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0919952-15
7 등록결정서
Decision to grant
2015.02.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0108109-34
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판, 하부 전극, 감습층 및 상부 전극이 순차로 적층되어 감습층의 유전율 변화에 따라 전극들 사이의 정전용량의 차이를 감지하여 습도를 측정하는 정전용량형 습도센서에 있어서,상기 감습층은 폴리이미드(polyimide)계 고분자 층으로 이루어지고, 상기 기판은 유연성을 갖는 폴리다이메틸실록산(polydimethylsiloxane) 기판이며, 상기 감습층은 자외선 표면 개질 또는 플라즈마 표면 개질을 통해 친수성 처리되고,상기 상부 전극과 상기 감습층에는 원형 격자 패턴(Hole grid pattern)으로 상기 상부 전극과 상기 감습층을 관통하여 타공되는 복수 개의 감습구멍이 형성되되, 상기 기판, 상기 하부 전극, 상기 감습층 및 상기 상부 전극이 순차적으로 적층된 후, 마이크로 머시닝(micro-machining) 공정을 통해 상기 상부 전극과 상기 감습층을 관통하여 타공되는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도센서
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 인하대학교 산학협력단 신진교수연구지원(이공분야) 초소형 자가발전 기술을 이용한 고효율 그린 에너지 시스템 집적화 구현