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기판;상기 기판 상에 배치되고, 그의 일면 상에 배치되는 도전부를 갖는 제 1 광 도파로; 및상기 기판 상에 상기 제 1 광 도파로와 이격되어 배치되고, 그의 일면 상에 배치되는 전극부를 갖는 제 2 광 도파로를 포함하되,상기 전극부 및 상기 도전부는 서로 마주하고,상기 전극부는 상기 제 1 광 도파로 및 상기 제 2 광 도파로 간의 광 필드(optical field)를 제어하는 광 스위치
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제 1 항에 있어서,상기 전극부는:제 1 동작 모드에서, 상기 제 2 광 도파로와 인접한 상기 도전부의 일부에 전하들을 밀집시켜 상기 제 1 광 도파로 및 상기 제 2 광 도파로 간의 광 필드(optical field)를 차단하고,제 2 동작 모드에서, 상기 도전부의 일부에 밀집된 상기 전하들을 상기 도전부 내에 고르게 분포시켜 상기 제 1 광 도파로 및 상기 제 2 광 도파로 간의 광 필드를 광 결합(optical coupling)시키는 광 스위치
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제 1 항에 있어서,상기 도전부와 상기 제 1 광 도파로는 동일한 물질을 포함하되,상기 도전부는 불순물로 도핑된 광 스위치
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제 3 항에 있어서,상기 제 1 광 도파로와 상기 도전부는 일체형인 광 스위치
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제 1 항에 있어서,상기 도전부는 도핑된 폴리 실리콘 또는 투명 반도체를 포함하는 광 스위치
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제 1 항에 있어서,상기 전극부와 상기 제 2 광 도파로는 동일한 물질을 포함하되,상기 전극부는 불순물로 도핑된 광 스위치
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제 6 항에 있어서,상기 제 2 광 도파로와 상기 전극부는 일체형인 광 스위치
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제 1 항에 있어서,상기 전극부는 투명 전극을 포함하는 광 스위치
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9
제 1 항에 있어서,상기 전극부 및 상기 도전부 사이에 배치되는 투명 절연막을 더 포함하는 광 스위치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 광 도파로와 상기 도전부의 사이 또는 상기 제 2 광 도파로와 상기 전극부의 사이에 배치되는 유전층을 더 포함하는 광 스위치
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11
기판;상기 기판 상에 배치되는 광 도파로, 상기 광 도파로는 상호 교차하는 제 1 광 도파로 및 제 2 광 도파로를 포함하고;상기 제 1 광 도파로 및 상기 제 2 광 도파로의 교차 영역 상에 배치되는 도전부;상기 도전부 상에 배치되는 전극부; 및상기 전극부 및 상기 도전부 사이에 배치되는 투명 절연막을 포함하되,상기 전극부는 상기 제 1 광 도파로 및 상기 제 2 광 도파로의 교차 영역을 가로지르고,상기 전극부는 상기 제 1 광 도파로 및 상기 제 2 광 도파로를 진행하는 광의 경로를 제어하는 광 스위치
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제 11 항에 있어서,상기 전극부는:제 1 동작 모드에서, 상기 전극부와 인접한 상기 도전부의 일부에 전하들을 밀집시켜 상기 제 1 광 도파로를 진행하는 광을 상기 제 2 광 도파로 내로 전반사시키고,제 2 동작 모드에서, 상기 도전부의 상기 일부에 밀집된 상기 전하들을 상기 도전부 내에 고르게 분포시켜 상기 제 1 광 도파로를 진행하는 광을 투과시키는 광 스위치
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제 11 항에 있어서,상기 전극부와 상기 제 1 광 도파로 사이의 제 1 각도는 상기 전극부와 상기 제 2 광 도파로 사이의 제 2 각도와 동일한 광 스위치
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14
제 11 항에 있어서,상기 도전부는 상기 광 도파로와 동일한 물질을 포함하되,상기 도전부는 불순물로 도핑된 광 스위치
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제 14 항에 있어서,상기 도전부는 상기 광 도파로와 일체형인 광 스위치
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제 11 항에 있어서,상기 도전부는 도핑된 폴리 실리콘, 투명 반도체 또는 투명 전극을 포함하는 광 스위치
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제 11 항에 있어서,상기 도전부 상의 제 1 보조 전극부 및 제 2 보조 전극부를 더 포함하되,상기 제 1 보조 전극부 및 상기 제 2 보조 전극부는 상기 제 1 광 도파로 및 상기 제 2 광 도파로의 교차 영역에 인접한 상기 제 1 광 도파로의 양측에 배치되는 광 스위치
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제 11 항에 있어서,상기 전극부의 중심부의 일측에 배치되는 제 3 보조 전극부를 더 포함하되,상기 제 3 보조 전극부는 상기 도전부와 전기적으로 연결되고,상기 제 3 보조 전극부는 상기 전극부와 전기적으로 절연되는 광 스위치
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