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멤스 마이크로폰(MEMS MICROPHONE)
- 기술번호 : KST2018005885
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 멤스 마이크로폰은 개구부로 정의된 내부 영역 및 상기 내부 영역을 둘러싸는 외부 영역을 포함하는 기판, 상기 외부 영역에 중첩하는 복수의 제1 홀들이 정의되며, 상기 기판의 두께 방향에서 상기 기판으로부터 이격된 감지 전극, 상기 두께 방향에서 상기 감지 전극 상에 이격되어 배치되고, 상기 복수의 제1 홀들에 중첩하는 복수의 제2 홀들 및 상기 내부 영역에 중첩하는 복수의 음향 홀들이 정의된 고정 전극, 상기 감지 전극 및 상기 고정 전극을 커버하며 상기 기판 상에 배치되고, 상기 복수의 음향 홀들에 중첩하는 복수의 홀들이 정의된 백플레이트를 포함하고, 상기 복수의 제1 홀들 및 상기 복수의 제2 홀들을 통해 상기 감지 전극 및 상기 기판에 상기 백플레이트가 배치됨에 따라, 상기 감지 전극이 상기 백플레이트에 고정된다. |
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| Int. CL | H04R 19/00 (2006.01.01) H04R 19/04 (2006.01.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020170040273 (2017.03.29) |
| 출원인 | 한국전자통신연구원 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2018-0053212 (2018.05.21) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 |
대한민국 | 1020160149855 | 2016.11.10
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| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 1 |