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가공부와 상기 가공부의 가공 대상인 가공물을 상부면에 위치시키는 베드부를 포함하는 가공장비에 있어서,상기 베드부와 결합하는 지지대, 상기 지지대와 결합하고 한 축 방향으로 직선 왕복운동하는 제1운동부재, 탄성력을 가지며 상기 제1운동부재와 연결되어 상기 제1운동부재를 가이드하고 일부위가 물결 형상 또는 반복적으로 꺽인 형상으로 형성되어 상기 제1운동부재로부터 상기 지지대로 전달되는 한 축 방향의 진동 전달 성능을 향상시키는 제1가이드부재, 상기 제1운동부재의 외측 둘레에 대해 이격되어 감싸는 형상으로 형성되며 상기 제1가이드부재와 연결되고 다른 축 방향으로 직선 왕복운동하는 제2운동부재, 상기 제2운동부재와 연결되어 상기 제2운동부재를 가이드하고 일부위가 물결 형상 또는 반복적으로 꺽인 형상으로 형성되어 상기 제2운동부재로부터 상기 지지대로 전달되는 다른 축 방향의 진동 전달 성능을 향상시키는 제2가이드부재, 및 상기 제2가이드부재와 연결되며 고정되게 설치되는 고정부재를 구비하는 유연가이드기구;상기 제2운동부재와 결합하고 상기 제1운동부재를 운동시키는 제1구동부;상기 고정부재와 결합하고 상기 제2운동부재를 운동시키는 제2구동부;상기 가공부의 진동을 센싱하는 센서부; 및상기 가공부의 구동 시작 시 상기 제1구동부와 상기 제2구동부에 전달되는 제1제어신호 또는 상기 가공부의 구동 중 상기 제1구동부와 상기 제2구동부에 전달되는 제2제어신호를 생성하고, 상기 베드부와 결합하는 상기 지지대의 진동 변화를 시간 별로 분석하여 처리한 진동분석 데이터를 저장하는 제어부;를 포함하고,상기 유연가이드기구는, 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재에 의한 진동 전달 성능 향상에 의하여, 가공오차를 최소화시키고 상기 가공물의 정밀한 가공이 수행되도록 하고,상기 제어부는, 상기 가공부가 가공을 시작하는 경우, 상기 진동분석 데이터를 이용하여 해당 시점에 대한 평균적인 진동의 크기 및 방향을 예측하고, 초기에 예측되는 제진을 수행할 수 있는 상기 제1제어신호를 상기 제1구동부와 상기 제2구동부에 전달하며,상기 유연가이드기구가 설치되는 설치면과 상기 고정부재 사이에 상기 고정부재를 지지하도록 설치되는 복수 개의 받침부를 더 포함하여, 상기 제1운동부재 및 상기 제2운동부재가 상기 설치면에서 이격되고,상기 제1가이드부재는, 상기 제1가이드부재의 길이 방향에 수직인 단면이 H자형, T자형 또는 I자형인 빔의 형상이거나, 상기 제1가이드부재의 길이 방향에 수직인 단면이 원형 또는 다각형인 파이프의 형상이므로, 상기 제1운동부재로부터 상기 지지대로 미세한 진동까지 전달될 수 있도록 하면서도 상기 베드부, 상기 지지대 및 상기 제1운동부재를 지탱할 수 있는 강도를 지니며,상기 제2가이드부재는, 상기 제2가이드부재의 길이 방향에 수직인 단면이 H자형, T자형 또는 I자형인 빔의 형상이거나, 상기 제2가이드부재의 길이 방향에 수직인 단면이 원형 또는 다각형인 파이프의 형상이므로, 상기 제2운동부재로부터 상기 지지대로 미세한 진동까지 전달될 수 있도록 하면서도 상기 베드부, 상기 지지대, 상기 제1운동부재 및 상기 제2운동부재를 지탱할 수 있는 강도를 지니는 것을 특징으로 하는 유연가이드 기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 제1구동부는, 상기 제1운동부재의 일측면에 힘을 전달하는 제1-1구동부 및 상기 제1운동부재의 일측면에 대응되는 면에 힘을 전달하는 제1-2구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 2에 있어서, 상기 제1-1구동부는 보이스 코일 모터, 압전소자 및 리니어 모터 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 2에 있어서,상기 제1-2구동부는 유체댐퍼인 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 1에 있어서,상기 제2구동부는, 상기 제2운동부재의 일측면에 힘을 전달하는 제2-1구동부 및 상기 제2운동부재의 일측면에 대응되는 면에 힘을 전달하는 제2-2구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 5에 있어서,상기 제2-1구동부는 보이스 코일 모터, 압전소자 및 리니어 모터 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 5에 있어서,상기 제2-2구동부는 유체댐퍼인 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 1에 있어서,상기 제1가이드부재는 빔, 판 또는 파이프의 형상인 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 9에 있어서,상기 제1가이드부재는 철(Fe), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 1에 있어서,상기 제2가이드부재는 빔, 판 또는 파이프의 형상인 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 11에 있어서,상기 제2가이드부재는 철(Fe), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 1에 있어서,상기 제1제어신호는 상기 제어부에 미리 저장된 진동정보를 분석하여 생성되는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 1에 있어서,상기 제2제어신호는 상기 센서부에 의해 센싱된 진동을 분석하여 생성되는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치
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청구항 1 내지 7, 청구항 9 내지 청구항 12, 청구항 14 및 청구항 15 중 선택되는 어느 하나의 항에 의한 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 가공장비
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청구항 1의 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치를 이용한 진동저감 방법에 있어서,i) 상기 가공부의 구동이 시작하는 단계;ii) 미리 저장된 진동정보에 의해 상기 제어부가 상기 제1구동부 및 상기 제2구동부로 상기 제1제어신호를 전달하는 단계;iii) 상기 제1운동부재가 한 축 방향으로 직선 왕복운동을 하고 상기 제2운동부재가 다른 축 방향으로 직선 왕복운동을 하여 상기 베드부의 진동을 저감시키는 단계;iv) 상기 센서부에서 상기 가공부의 진동을 센싱하는 단계;v) 상기 가공부의 실시간 진동정보를 전달받은 상기 제어부가 상기 제1구동부 및 상기 제2구동부에 상기 제2제어신호를 전달하는 단계;vi) 상기 제1운동부재가 한 축 방향으로 직선 왕복운동을 하고 상기 제2운동부재가 다른 축 방향으로 직선 왕복운동을 하여 상기 베드부의 진동을 저감시키는 단계; 및vii) 상기 iv) 단계 내지 상기 vi) 단계가 반복되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구를 구비하는 가공부하 상쇄 진동저감 장치를 이용한 진동저감 방법
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