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수평 방향으로 이동 가능하게 마련되는 스테이지(stage); 및상기 스테이지의 상부에 마련되는 광학대; 를 포함하고, 상기 광학대는, 선편광된 광을 발생키는 광원부;상기 선편광된 광을 두 편광성분으로 분리하여 상기 스테이지의 상부에 위치한 시편에 수직으로 입사시키고, 상기 시편으로부터 반사된 상기 두 편광성분을 결합하여 출사시키는 빔 디스플레이서(beam displacer); 및상기 출사된 두 편광성분을 이용하여 상기 시편의 표면의 영상을 획득하는 광영상부;를 포함하는 타원해석기
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제 1 항에 있어서, 상기 분리된 두 편광성분은, 진동방향이 서로 수직인 타원해석기
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제 1 항에 있어서, 상기 빔 디스플레이서는, 상기 시편으로부터 수직으로 반사된 상기 두 편광성분을 결맞음 결합하여 출사시키는 타원해석기
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제 1 항에 있어서, 상기 빔 디스플레이서는, 상기 분리된 두 편광성분을 상기 시편의 서로 다른 지점에 입사시키는 타원해석기
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제 1 항에 있어서, 상기 광영상부는, 상기 출사된 두 편광성분의 위상차 또는 전기장의 세기 비율을 측정하는 타원해석기
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제 5 항에 있어서, 상기 광영상부는, 상기 위상차 또는 전기장의 세기 비율을 이용하여 상기 출사된 두 편광성분의 차이값을 획득하는 타원해석기
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제 6 항에 있어서, 상기 차이값은, 상기 출사된 두 편광성분의 경로차 또는 반사율의 차인 타원해석기
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제 6 항에 있어서,상기 광영상부는, 상기 차이값을 이용하여 상기 시편 표면의 영상을 획득하는 타원해석기
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제 7 항에 있어서,상기 광영상부는, 상기 위상차를 이용하여 상기 경로차를 획득하는 타원해석기
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10
제 7 항에 있어서,상기 광영상부는, 상기 전기장의 세기 비율을 이용하여 상기 반사율의 차를 획득하는 타원해석기
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11
제 6 항에 있어서,상기 광원부는, 상기 스테이지가 이동하는 동안 선편광된 광을 복수회 발생시키는 타원해석기
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12
제 11 항에 있어서,상기 광영상부는, 상기 선편광된 광의 발생 횟수에 대응하여 상기 차이값을 복수개 산출하고, 상기 복수개의 차이값을 이용하여 상기 시편 표면에 대한 영상을 획득하는 타원해석기
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13
제 1 항에 있어서,상기 광원부는, 광을 조사하는 광원; 및 상기 조사되는 광을 선편광시키는 편광발생기; 를 포함하고, 상기 조사되는 광은, 단색광인 타원해석기
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