맞춤기술찾기

이전대상기술

유연 기판의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 유연 기판

  • 기술번호 : KST2018007968
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유연 기판의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 유연 기판을 제공한다. 이 방법은, 분리층 상에 게이트 촉매 패턴을 인쇄하고, 상기 게이트 촉매 패턴 상에 게이트 도금 패턴을 형성하는 단계; 상기 게이트 도금 패턴 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트 절연막 상에 서로 이격된 소스 촉매 패턴과 드레인 촉매 패턴을 인쇄하고, 상기 소스 촉매 패턴과 상기 드레인 촉매 패턴 상에 각각 소스 도금 패턴과 드레인 도금 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 27/12 (2006.01.01) H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 21/768 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020170055380 (2017.04.28)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0066803 (2018.06.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160166988   |   2016.12.08
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.04.18)
심사청구항수 13

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조두희 대한민국 대전광역시 서구
2 박영삼 대한민국 대전광역시 서구
3 변춘원 대한민국 대전광역시 유성구
4 유병곤 대한민국 충북 영동군
5 이종희 대한민국 대전유성 노은로 ***
6 이현구 대한민국 대전광역시 유성구
7 조남성 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0421156-12
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0397031-74
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.10.11 수리 (Accepted) 9-1-2019-0047388-46
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0154656-72
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2020-0353848-52
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.04.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0353849-08
8 등록결정서
Decision to grant
2020.10.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0703772-93
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
캐리어 기판 상에 분리층을 형성하는 단계;상기 분리층 상에 게이트 촉매 패턴을 인쇄하고, 상기 게이트 촉매 패턴 상에 게이트 도금 패턴을 형성하는 단계;상기 게이트 도금 패턴 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막 상에 서로 이격된 소스 촉매 패턴과 드레인 촉매 패턴을 인쇄하고, 상기 소스 촉매 패턴과 상기 드레인 촉매 패턴 상에 각각 소스 도금 패턴과 드레인 도금 패턴을 형성하는 단계;상기 소스 도금 패턴, 상기 드레인 도금 패턴 및 이들 사이에 노출된 상기 게이트 절연막을 덮는 활성 패턴을 형성하는 단계;상기 활성 패턴이 형성된 상기 캐리어 기판의 전면을 덮는 유연한 제 1 기판막을 형성하는 단계; 상기 분리층 및 상기 캐리어 기판을 제거하는 단계; 및상기 캐리어 기판을 제거한 후, 상기 제 1 기판막의 적어도 일부를 덮는 보호필름을 형성하는 단계를 포함하는 유연 기판의 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 게이트 절연막을 형성하는 단계는,상기 게이트 절연막을 구성하는 물질의 전구체 용액을 인쇄하고 열처리하는 단계를 포함하는 유연 기판의 제조 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 게이트 촉매 패턴을 형성하기 전에, 상기 분리층 상에 유연한 제 2 기판막을 형성하는 단계를 더 포함하는 유연 기판의 제조 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 제 1 기판막을 형성하기 전에, 상기 활성 패턴을 덮는 백채널방어층을 형성하는 단계를 더 포함하는 유연 기판의 제조 방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제 1 기판막을 형성하기 전에, 상기 활성 패턴이 형성된 상기 캐리어 기판의 전면을 덮는 가스베리어층을 형성하는 단계를 더 포함하는 유연 기판의 제조 방법
6 6
삭제
7 7
제 1 항에 있어서,상기 분리층은 상기 게이트 도금 패턴과 서로 다른 물질로 형성되는 유연 기판의 제조 방법
8 8
제 1 기판막;상기 제 1 기판막 안에 배치되는 활성 패턴;상기 제 1 기판막 안에 배치되며 상기 활성 패턴에 의해 서로 이격되는 소스 전극과 드레인 전극;상기 제 1 기판막 안에 배치되며 상기 소스 전극과 드레인 전극과 이격되는 게이트 전극; 및상기 게이트 전극과 상기 소스 전극 사이 그리고 상기 게이트 전극과 상기 드레인 전극 사이에 개재되는 게이트 절연막을 포함하되,상기 게이트 전극은 게이트 촉매 패턴과 게이트 도금 패턴을 포함하며,상기 소스 전극은 소스 촉매 패턴과 소스 도금 패턴을 포함하며,상기 드레인 전극은 드레인 촉매 패턴과 드레인 도금 패턴을 포함하는 유연 기판
9 9
제 8 항에 있어서,상기 게이트 촉매 패턴은 상기 제 1 기판막의 상부면과 공면을 이루는 상부면을 가지는 유연 기판
10 10
제 8 항에 있어서,상기 소스 촉매 패턴과 상기 드레인 촉매 패턴의 상부면들은 상기 활성 패턴의 상부면과 공면을 이루는 유연 기판
11 11
제 8 항에 있어서,상기 제 1 기판막 상에 배치되며 상기 게이트 촉매 패턴과 접하는 제 2 기판막을 더 포함하는 유연 기판
12 12
제 8 항에 있어서,상기 제 1 기판막과 상기 활성 패턴 사이에 개재되는 백채널 방어층을 더 포함하는 유연 기판
13 13
제 8 항에 있어서,상기 제 1 기판막과 상기 활성 패턴 사이, 상기 제 1 기판막과 상기 소스 전극 사이, 상기 제 1 기판막과 상기 드레인 전극 사이, 상기 제 1 기판막과 상기 게이트 절연막 사이 그리고 상기 제 1 기판막과 상기 게이트 전극 사이에 개재되는 가스 베리어층을 더 포함하는 유연 기판
14 14
제 8 항에 있어서,상기 제 1 기판막의 적어도 일부를 덮는 보호 필름을 더 포함하는 유연 기판
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10374093 US 미국 FAMILY
2 US20180166583 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.