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나노 임프린트 공정을 이용한 촉매의 패턴형성방법 |
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[KST2015081356][한국전자통신연구원] |
나노 임프린트용 질화실리콘 스탬프, 및 이의 제작 방법 |
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[KST2015094841][한국전자통신연구원] |
전도성 고분자를 포함하는 도전 패턴 형성 방법 및 이를이용한 분자 전자소자의 제조 방법 |
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[KST2015087349][한국전자통신연구원] |
건식 리소그라피 방법 및 이를 이용한 게이트 패턴 형성방법 |
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[KST2015079762][한국전자통신연구원] |
나노임프린트용 스탬퍼 및 그 제조방법 |
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[KST2015082591][한국전자통신연구원] |
금 전자빔 레지스트를 이용한 금 패턴 형성 방법 |
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[KST2015074045][한국전자통신연구원] |
주사관통현미경을이용한미세패턴형성방법 |
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[KST2015074148][한국전자통신연구원] |
되식각을이용한전기도금식인덕터제조방법 |
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[KST2015073980][한국전자통신연구원] |
광스텝퍼와E-빔사진전사혼합공정방법 |
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[KST2015081307][한국전자통신연구원] |
나노임프린트 몰드 제작 방법 |
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[KST2019005269][한국전자통신연구원] |
3차원 광 집적 회로 및 그 제작 방법 |
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수직구조의바이폴라다이나믹램셀의제조방법 |
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[KST2015073659][한국전자통신연구원] |
예각프리즘어레이를이용한크로스오버광배선망의평면집적방식 |
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[KST2015096873][한국전자통신연구원] |
엑스선 마스크 및 그 제작 방법 |
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나노임프린팅 리소그래피를 이용한 나노와이어 소자제조방법 |
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반도체 물질의 패터닝 방법 |
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