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금속 연마 슬러리 조성물 및 이를 사용한 배선 패턴 형성 방법

  • 기술번호 : KST2018014777
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속 연마 슬러리 조성물 및 이를 사용한 배선 패턴 형성 방법을 제공한다. 상기 금속 연마 슬러리 조성물은 0.1 내지 10wt%의 연마제, 0.5 내지 10 wt%의 과산화물인 산화제, 5 내지 100 ppm의 구리염인 산화촉매제, 및 잔부의 희석제를 함유하고, 6 내지 11의 pH를 갖는다.
Int. CL C09G 1/02 (2006.01.01) C09K 3/14 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020170053652 (2017.04.26)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0119923 (2018.11.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.26)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백운규 대한민국 서울특별시 강남구
2 김기정 대한민국 경기도 오산시 오산
3 유경태 대한민국 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0410010-08
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0409177-88
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2017-0026506-32
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0292079-82
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0647196-06
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.07.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0647180-76
8 등록결정서
Decision to grant		 2018.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0817788-59
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
0
2 2
제1항에 있어서,상기 연마제는 실리카인 금속 연마 슬러리 조성물
3 3
제1항에 있어서,상기 산화제는 과산화수소인 금속 연마 슬러리 조성물
4 4
제3항에 있어서,상기 과산화수소는 1 내지 7 wt%로 함유되는 금속 연마 슬러리 조성물
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서,상기 질산 구리는 10 내지 70 ppm으로 함유되는 금속 연마 슬러리 조성물
7 7
삭제
8 8
0
9 9
기판 상에 절연막을 형성하는 단계;상기 절연막 내에 홀을 형성하는 단계;상기 홀 내부 및 상기 절연막 상에 금속막을 형성하는 단계; 및상기 절연막 상에 형성된 금속막을 상기 절연막이 노출될 때까지 제1항 또는 제8항의 금속 연마 슬러리 조성물을 사용하여 화학기계적연마하는 단계를 포함하는 배선 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.