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표면에 금속닷이 형성될 수 있는 영역을 설정하는 캐비티를 포함하는 기판; 및상기 기판의 표면에 형성된 금속닷;을 포함하고,캐비티는 1차 패턴을 구성하고,금속닷은 2차 패턴을 구성하며, 캐비티는 광결정특성을 나타내는 것을 특징으로 하는 복합패턴구조체
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청구항 1에 있어서,상기 금속닷은 상기 캐비티 내부 및 상기 기판의 상면 중 적어도 어느 하나에 형성된 것을 특징으로 하는 복합패턴구조체
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청구항 1에 있어서,상기 금속닷은 백금, 금, 은 및 팔라듐 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합패턴구조체
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청구항 1에 있어서,상기 금속닷은 직경이 10nm 내지 900nm인 것을 특징으로 하는 복합패턴구조체
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청구항 1에 있어서,상기 기판은 SiCN, SiC 및 Si 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합패턴구조체
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기판의 표면에 광결정특성을 나타내는 1차 패턴을 구성하는 캐비티를 형성하는 캐비티형성단계; 상기 기판의 표면에 금속층을 형성하는 금속층형성단계; 및 상기 금속층이 형성된 기판을 열처리하여 상기 금속층을 금속닷으로 변환시켜 2차 패턴을 구성하는 금속닷을 형성하는 키는 금속닷형성단계;를 포함하는 복합패턴구조체 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 캐비티형성단계는 고분자수지층 상에 캐비티형성용 임프린팅 패턴을 적용하는 단계; 고분자수지를 세라믹화시키는 단계; 및 상기 캐비티형성용 임프린팅 패턴을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합패턴구조체 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 캐비티형성단계는 상기 기판 상에 임프린팅 레진을 도포하는 단계; 상기 임프린팅 레진이 도포된 기판 상에 캐비티형성용 임프린팅 패턴을 적용하는 단계; 및상기 패턴이 적용된 임프린팅 레진에 따라 기판을 식각하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합패턴구조체 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 금속닷형성단계는 상기 금속층이 열처리로 디웨팅되어 금속닷으로 변환되는 단계인 것을 특징으로 하는 복합패턴구조체 제조방법
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열에너지를 발생시키는 연소부;광결정특성을 나타내는 캐비티로 형성된 3차원 나노패턴 및 캐비티에 의해 설정된 영역에 형성된 금속닷으로 구성된 금속닷패턴을 포함하고, 상기 연소부로부터 열에너지를 전달받아 복사에너지로 방출하는 열방사부; 및상기 열방사부로부터 방출된 복사에너지를 전달받아 전기에너지로 변환하는 광전변환부;를 포함하는 열광전변환장치
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청구항 1에 따른 복합패턴구조체를 포함하는, 표면에 3차원 나노구조패턴 및 금속닷패턴을 포함하여 흡수파장선택성이 우수한 바이오센서용 감지기판
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