맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

타원해석기

  • 기술번호 : KST2018015793
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 타원해석기는, 기준시편이 장착되는 기준시편 장착대; 기준시편 장착대의 일단에 마련되며, 선편광된 광을 발생시켜 기준시편에 입사시키는 광원부; 일단이 기준시편 장착대의 타단에 결합되며, 측정시편이 장착되는 측정시편 장착대; 및 측정시편 장착대의 타단에 마련되며, 측정시편에서 반사되는 광의 영상을 획득하는 광영상부; 를 포함할 수 있다. 이와 같은 타원해석기에 의하면, 편광발생기나 편광분석기 등과 같은 광부품의 회전없이 1회 측정을 진행하므로, 측정시간이 매우 짧아진다. 또한, 편광발생기 및 편광분석기가 서로 수직으로 고정되어 있고, 기준시편도 항상 고정 장착되어 있어 광부품과 시편의 정렬에 따른 정렬오차를 감소시킬 수 있다. 또한, 기준시편과 측정시편을 함께 장착하여 비교 측정하므로, 측정시점 차이에 따른 장비상태의 차이나 장비 사용자가 다름에 따라 발생하는 운용오차 등을 감소시킬 수 있다. 또한, Δ, Ψ를 산출할 필요 없이, 출력되는 밝기 영상을 확인함으로써 측정시편의 불량여부 또는 불량위치 등을 즉각 인지할 수 있다. 또한, 회전편광자 타원해석기의 구성을 포함하고 있으므로, 편광발생기의 회전을 통해 불량선별 외에도 불량의 원인 등을 분석하는데 이용될 수 있다.
Int. CL G01N 21/21 (2006.01.01) G01J 4/04 (2006.01.01) G01N 21/17 (2006.01.01)
CPC G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01)
출원번호/일자 1020170064546 (2017.05.25)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0129078 (2018.12.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020190045063;
심사청구여부/일자 Y (2017.05.25)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기도 안산시 상록구
2 박성모 대한민국 부산광역시 사상구
3 김슬기 대한민국 경기도 수원시 팔달구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 홍성욱 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***(역삼동) 동아빌딩 *층(주식회사에스와이피)
2 심경식 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 동아빌딩 *층(에스와이피특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2017-0498751-40
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0034405-62
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0560049-87
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-1041596-32
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1041597-88
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2019.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0080047-05
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2019-0223156-92
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2019.03.05 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0223157-37
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2019.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0191968-00
11 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2019.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0395956-34
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기준시편이 장착되는 기준시편 장착대;상기 기준시편 장착대의 일단에 마련되며, 선편광된 광을 발생시켜 상기 기준시편에 입사시키는 광원부;일단이 상기 기준시편 장착대의 타단에 결합되며, 측정시편이 장착되는 측정시편 장착대; 및상기 측정시편 장착대의 타단에 마련되며, 상기 측정시편에서 반사되는 광의 영상을 획득하는 광영상부;를 포함하는 타원해석기
2 2
제 1 항에 있어서,상기 기준시편에서 반사되는 광은,상기 측정시편에 입사하는 광을 형성하는 타원해석기
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 측정시편에 입사하는 광의 입사각은, 상기 기준시편에 입사하는 광의 입사각과 동일하게 형성되는 타원해석기
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 측정시편 장착대의 일단에 회전 가능하게 마련되어, 상기 측정시편 장착대의 일단을 상기 기준시편 장착대의 타단에 회전 결합시키는 회전결합기; 를 더 포함하는 타원해석기
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 측정시편에 입사하는 광의 입사각은,상기 회전결합기의 회전에 의해 상기 기준시편에 입사하는 광의 입사각과 동일하게 형성되는 타원해석기
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 기준시편 및 측정시편 사이의 광 경로상에 마련되어, 상기 기준시편에서 반사되는 광의 편광방향을 회전시키는 편광회전기; 를 더 포함하는 타원해석기
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 편광회전기는,상기 기준시편에서 반사되는 광의 편광방향을 90도 회전시키는 90도-편광회전기로 마련되는 타원해석기
8 8
제 1 항에 있어서,상기 측정시편 장착대는, 상기 측정시편이 장착되며, 수평방향으로 이동 가능하게 마련되는 이동 스테이지를 포함하고, 상기 측정시편은, 상기 기준시편에서 반사되는 광이 상기 측정시편에 입사하도록 상기 이동 스테이지의 이동에 의해 위치가 조절되는 타원해석기
9 9
제 1 항에 있어서,상기 광영상부는,상기 기준시편 및 측정시편에 의한 편광상태의 변화를 밝기 영상으로 획득하는 타원해석기
10 10
제 1 항에 있어서,상기 영상은, 상기 기준시편과 상기 측정시편의 광특성이 동일한지 여부를 보여주는 타원해석기
11 11
제 1 항에 있어서,상기 기준시편 장착대, 광원부, 측정시편 장착대, 및 광영상부는,동일 평면상에 배치되는 타원해석기
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR102045442 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한양대학교 에리카 산학협력단 전자정보디바이스산업원천기술개발 Lithography 공정에서 박막 및 표면을 고해상도 (100μm x100μm이하) 로 검사할 수 있는 in-line ellipsometry 기술 개발