요약 | 본 발명은 반도체 다이의 형상 변화를 이용하여 응력을 감소시킨 유연전자소자 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 상기 유연전자소자는 유연기판 및 상기 유연기판에 적층되는 반도체 다이를 포함하고, 상기 반도체 다이는 응력을 감소시키기 위해 상기 반도체 다이의 적어도 하나의 모서리부가 곡면으로 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 외력에 의해 유연전자소자에 응력이 발생할 때 그 응력이 가장 집중되는 반도체 다이의 형상, 즉, 모양, 두께 및 크기를 변화시킴으로써 유연전자소자의 응력을 효과적으로 감소시킬 수 있다. |
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Int. CL | H01L 23/498 (2006.01.01) H01L 23/538 (2006.01.01) H01L 21/56 (2006.01.01) |
CPC | H01L 23/4985(2013.01) H01L 23/4985(2013.01) H01L 23/4985(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020170066025 (2017.05.29) |
출원인 | 세종대학교산학협력단 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2018-0130620 (2018.12.10) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 공개 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2020.03.24) |
심사청구항수 | 4 |