| 1 |
1
유연 기판; 및 상기 유연 기판의 적어도 일면 상에 아연산화물 박막, 알루미늄산화물 박막 및 마그네슘산화물 박막이 적층되어 이루어진 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막;을 포함하며, 상기 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막에서, 아연산화물 박막, 알루미늄산화물 박막 및 마그네슘산화물 박막은 각각 핀홀을 가지되 인접하는 아연산화물 박막, 알루미늄산화물 박막 및 마그네슘산화물 박막 중의 다른 하나의 박막과 핀홀의 위치가 서로 어긋나게 배치되어 핀홀 디커플링(pinhole-decoupling) 구조를 가지며,상기 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막에서, 알루미늄산화물 박막과 마그네슘산화물 박막이 서로 맞닿게 적층되는 구조를 가지며, 상기 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막에서, 아연산화물 박막과 알루미늄산화물 박막이 서로 맞닿게 적층되되 아연산화물 박막이 아래에 위치하고 알루미늄산화물 박막이 위에 배치되는 구조를 가지는, 투명 플렉시블 유기전자소자용 봉지 구조체
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막은 복수의 하이브리드 단위구조막을 포함하되, 하이브리드 단위구조막들 사이의 경계에서 하나의 하이브리드 단위구조막의 핀홀의 위치가 인접하는 다른 하나의 하이브리드 단위구조막의 핀홀의 위치와 서로 어긋나게 배치되어 핀홀 디커플링(pinhole-decoupling) 구조를 가지는, 투명 플렉시블 유기전자소자용 봉지 구조체
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막은 서로 맞닿은 제 1 하이브리드 단위구조막 및 제 2 하이브리드 단위구조막을 포함하되, 제 1 하이브리드 단위구조막과 제 2 하이브리드 단위구조막의 경계에서 제 1 하이브리드 단위구조막을 구성하는 알루미늄산화물 박막과 제 2 하이브리드 단위구조막을 구성하는 마그네슘산화물 박막이 서로 맞닿게 되도록 적층되는 구조를 가지는, 투명 플렉시블 유기전자소자용 봉지 구조체
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막은 서로 맞닿은 제 1 하이브리드 단위구조막 및 제 2 하이브리드 단위구조막을 포함하되, 제 1 하이브리드 단위구조막과 제 2 하이브리드 단위구조막의 경계에서 제 1 하이브리드 단위구조막을 구성하는 아연산화물 박막과 제 2 하이브리드 단위구조막을 구성하는 알루미늄산화물 박막이 서로 맞닿게 되도록 적층되되 상기 아연산화물 박막이 아래에 위치하고 상기 알루미늄산화물 박막이 위에 배치되는 구조를 가지는, 투명 플렉시블 유기전자소자용 봉지 구조체
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,아연산화물 박막은 ZnO 박막을 포함하고, 알루미늄산화물 박막은 Al2O3 박막을 포함하고, 마그네슘산화물 박막은 MgO 박막을 포함하는,투명 플렉시블 유기전자소자용 봉지 구조체
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서,하나의 상기 하이브리드 단위구조막 내에서 알루미늄산화물 박막은 두께가 0
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
삭제
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
제 1 항에 있어서,상기 유연 기판은 폴리머 기판, 섬유 기판 및 직물 기판 중 적어도 하나를 포함하는, 투명 플렉시블 유기전자소자용 봉지 구조체
|
| 15 |
15
제 1 항에 있어서,상기 하이브리드 단위구조막의 상부면 및 하부면 중 적어도 어느 하나의 면에 형성되는 유기물 박막;을 더 포함하는, 투명 플렉시블 유기전자소자용 봉지 구조체
|
| 16 |
16
제 15 항에 있어서,상기 유기물 박막은 페릴렌계 수지, 폴레에틸렌수지, 폴리이미드 수지, 아크릴계 수지, 에폭시계 수지 및 PMMA 중 적어도 하나를 포함하는, 투명 플렉시블 유기전자소자용 봉지 구조체
|
| 17 |
17
유연 기판의 적어도 일면 상에 아연산화물 박막, 알루미늄산화물 박막 및 마그네슘산화물 박막이 적층되어 이루어진 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막을 형성하는 단계;를 포함하되,아연산화물 박막은 원자층 증착법(ALD), 화학적 증기 증착법(CVD), 분자층 증착법(MLD) 또는 물리기상 증착법(PVD)을 사용하여 형성되며,알루미늄산화물 박막은 원자층 증착법(ALD), 화학적 증기 증착법(CVD), 분자층 증착법(MLD) 또는 물리기상 증착법(PVD)을 사용하여 형성되며,마그네슘산화물 박막은 원자층 증착법(ALD), 화학적 증기 증착법(CVD), 분자층 증착법(MLD) 또는 물리기상 증착법(PVD)을 사용하여 형성되며,상기 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막에서, 아연산화물 박막, 알루미늄산화물 박막 및 마그네슘산화물 박막은 인접하는 아연산화물 박막, 알루미늄산화물 박막 및 마그네슘산화물 박막 중의 다른 하나의 박막과 핀홀의 위치가 서로 어긋나게 배치되어 핀홀 디커플링(pinhole-decoupling) 구조를 가지며, 상기 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막에서, 알루미늄산화물 박막과 마그네슘산화물 박막이 서로 맞닿게 적층되는 구조를 가지며, 상기 적어도 하나 이상의 하이브리드 단위구조막에서, 아연산화물 박막과 알루미늄산화물 박막이 서로 맞닿게 적층되되 아연산화물 박막이 아래에 위치하고 알루미늄산화물 박막이 위에 배치되는 구조를 가지는, 투명 플렉시블 유기전자소자용 봉지 구조체의 제조방법
|
| 18 |
18
제 17 항에 있어서,하나의 상기 하이브리드 단위구조막 내에서 알루미늄산화물 박막은 두께가 0
|
| 19 |
19
제 17 항에 있어서,하나의 상기 하이브리드 단위구조막 내에서 알루미늄산화물 박막은 두께가 0
|
| 20 |
20
제 17 항에 있어서,상기 아연산화물 박막은 ZnO 박막을 포함하고, 상기 알루미늄산화물 박막은 Al2O3 박막을 포함하고, 상기 마그네슘산화물 박막은 MgO 박막을 포함하는,투명 플렉시블 유기전자소자용 봉지 구조체의 제조방법
|
