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기판 처리 공정이 끝난 복수개의 기판을 검사하기 위해 제공되는 기판 검사 카트리지에 있어서,상기 기판이 놓이는 척 부재와;상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 검사하고, 상기 기판을 기준으로 상기 척 부재와 마주보며 위치하는 프로브 카드와; 그리고상기 기판, 상기 척 부재 그리고 상기 프로브 카드를 결합시키는 결합 부재를 포함하되,상기 결합 부재는,상기 기판과 상기 척 부재를 결합시키는 기판 결합부와;상기 프로브 카드와 상기 척 부재를 결합시키는 척 결합부를; 포함하며,상기 척 결합부는,일단은 상기 프로브 카드와 결합되며, 상기 척 부재를 향하는 방향으로 돌출되는 지지 그래버와;상기 지지 그래버와 결합되며 상기 프로브 카드의 중심 방향으로 연장 형성되는 결합 그래버를; 포함하는 기판 검사 카트리지
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제1항에 있어서, 상기 기판 결합부는 일단은 상기 프로브 카드와 고정결합되며, 타단은 상기 기판과 탈착 가능하게 결합되는 기판 그래버를 포함하는 기판 검사 카트리지
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제2항에 있어서,상기 기판 그래버는 상기 기판과 결합 시 진공 흡착 방식으로 결합되는 기판 검사 카트리지
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제2항에 있어서,상기 기판 및 상기 프로브 카드에는 상기 기판 및 상기 프로브 카드의 위치 정렬 시 사용되는 기판 얼라인 마크가 각각 형성되는 기판 검사 카트리지
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삭제
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제1항에 있어서,상기 척 부재에는 상기 결합 그래버와 삽입되는 결합홈이 형성되는 기판 검사 카트리지
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제1항에 있어서,상기 척 부재 및 상기 프로브 카드에는 상기 척 부재 및 상기 프로브 카드의 위치 정렬 시 사용되는 척 얼라인 마크가 각각 형성되는 기판 검사 카트리지
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제1항에 있어서,상기 척 부재는,상기 기판에 놓이는 척과;상기 척 내부에 위치하며 상기 기판을 가열 할 수 있는 가열부를 포함하는 기판 검사 카트리지
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제1항에 있어서,상기 기판 결합부 및 상기 척 결합부는 각각 상기 프로브 카드에 결합되며,상기 기판 결합부는 상기 척 결합부보다 상기 프로브 카드의 중심에 더 인접하게 위치하는 기판 검사 카트리지
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기판 처리 공정이 끝난 복수개의 상기 기판을 동시에 검사하기 위해 기판 검사 카트리지를 제조하는 방법에 있어서, 척 부재에 기판 처리 공정이 끝난 상기 기판이 놓이는 기판 준비 단계와;상기 기판 및 상기 척 부재를 이동시켜 프로브 카드와 상기 기판이 접촉한 상태에서 상기 프로브 카드와 상기 기판을 결합시키는 기판 결합 단계와; 그리고상기 척 부재를 이동시켜 상기 프로브 카드와 결합시키는 척 결합 단계를 포함하고,상기 프로브 카드와 상기 척 부재는 지지 그래버 및 상기 지지 그래버와 결합되며 상기 프로브 카드의 중심 방향으로 연장 형성되는 결합 그래버를 포함하는 척 결합부에 의해 결합되는 기판 검사 카트리지 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 기판과 상기 프로브 카드는 진공흡착 방식으로 결합되는 기판 검사 카트리지 제조 방법
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삭제
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제10항에 있어서,상기 결합 그래버는 상기 척 부재에 형성된 결합홈에 삽입되는 기판 검사 카트리지 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 기판 준비 단계 이 후 상기 기판 결합 단계가 수행되기 전에, 상기 척 부재의 상부에 위치하는 상기 프로브 카드의 위치를 기준으로 상기 기판의 위치를 조정하는 기판 위치 조정 단계를 더 포함하는 기판 검사 카트리지 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 기판 결합 단계 이 후 상기 척 결합 단계가 수행되기 전에,상기 기판과 결합된 상기 프로브 카드의 위치를 기준으로 상기 척 부재의 위치를 조정하는 척 위치 조정 단계를 더 포함하는 기판 검사 카트리지 제조 방법
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