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바닥 중심부에는 나사홀이 형성되고, 몸체부에는 관통홀이 형성된 컵 2개를 입구가 마주보게 대향시켜 형성시킨 고정부 몸체와, 상기 고정부 몸체 내부에 삽입되며 양측에 결합고리가 형성된 인장스프링과, 상기 고정부 몸체의 관통홀에 삽입되어 상기 인장스프링 양측의 결합고리에 체결되는 체결핀으로 구성된 고정 모듈과;중심축에 피벗(pivot)홈이 형성된 피에조 브라켓이 상단에 체결되며, 상기 고정 모듈의 측면에 세워지는 피에조와;상기 고정부 몸체 하부의 나사홀에 연통되는 하부나사 체결통공이 형성되어 하부나사로 상기 고정부 몸체 하부와 체결되고, 상기 피에조 하단 안착홈이 형성된 지지판과;제1 상부나사 체결통공과 피벗이 형성된 판으로서, 상기 고정부 몸체 상부의 나사홀에 관통하여 상기 제1 상부나사 체결통공에 상부나사로 체결되고, 상기 피벗홈에 상기 피벗이 피버팅(pivoting) 결합된 작동판으로;구성되어 상기 고정 모듈로 상기 지지판과 작동판 사이에 피에조를 기립 고정시켜, 인장력은 상기 피에조가 형성시키고, 인장 복원력은 상기 인장스프링이 형성시키며, 상기 피에조 기립축의 뒤틀림 복원력은 상기 피벗과 피벗홈의 피버팅에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어모듈
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원판형 척과 원판형 베이스 플레이트 사이에 제1항의 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어모듈 3개를 120°각도로 결합시켜 상기 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어모듈의 틸딩 구동으로 상기 척의 법선축을 정밀제어시키는 것을 특징으로 하는 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어장치
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제2항에 있어서상기 척의 하부에는 상기 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어모듈의 제2 상부나사 체결통공과 피벗이 120°각도로 형성되어 상기 척이 3개의 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어모듈의 공통 작동판이 되는 것을 특징으로 하는 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어장치
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제3항에 있어서 상기 척에는 진공 라인이 형성되어 상기 척 상단에 거치하는 웨이퍼 유격을 제거하여 피에조 구동 정밀도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어장치
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제4항에 있어서 상기 척 중심부에는POGO 핀 보드가 형성되는 것을 특징으로 하는 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어장치
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제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서 상기 피벗은모따기가 형성되어 상기 피벗홈에 모따기 부분이 접촉되는 것을 특징으로 하는 피에조 엑츄에이터식 1축 정밀 제어장치
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