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흡착 모듈 및 기체 냉각 코일을 포함하고, 냉각된 공기로 상기 흡착 모듈 및 상기 기체 냉각 코일에 주입된 대상 기체를 냉각하는 냉각부;상기 흡착 모듈은 상기 대상 기체에 포함되는 목적 기체를 제거하고,상기 흡착 모듈에 상기 대상 기체를 주입하고 상기 목적 기체가 제거된 대상 기체를 배출하는 멀티 포지션 밸브;상기 흡착 모듈에 주입되기 전에 상기 대상 기체를 냉각하는 기체 냉각 코일;상기 냉각부에 공기를 주입하는 블로워;상기 냉각부에 주입되는 공기를 냉각하는 냉각 코일;상기 냉각 코일의 온도를 낮추는 압축부;상기 냉각부에 주입되는 공기의 온도를 조절하는 히터; 및사용자의 설정에 따라 상기 히터, 블로워 및 압축부를 조절해 상기 대상 기체에 포함되는 목적기체의 탈착 및 흡착을 조절하는 제어부;를 포함하는 공랭식 흡착 모듈 냉각 시스템
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제1항에 있어서,상기 흡착 모듈은,상기 냉각부 내부에 복수개로 배치되어 상기 대상 기체가 일정하게 분할되어 흡착 모듈에 주입되는 공랭식 흡착 모듈 냉각 시스템
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제2항에 있어서,상기 멀티 포지션 밸브는,복수의 흡착 모듈에 연결되는 복수의 주입구와 복수의 배출구를 포함하는 공랭식 흡착 모듈 냉각 시스템
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제2항에 있어서,상기 흡착 모듈은 직렬 연결되는 공랭식 흡착 모듈 냉각 시스템
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제2항에 있어서, 상기 흡착 모듈을 병렬 연결되는 공랭식 흡착 모듈 냉각 시스템
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제1항에 있어서,상기 블로워는,외부 공기를 상기 냉각부에 주입하는 외부 주입 모드와 상기 냉각부 내부의 공기를 순환시키는 내부 순환 모드의 2가지 모드로 작동하는 공랭식 흡착 모듈 냉각 시스템
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제1항에 있어서,상기 냉각 코일을 통과한 공기의 열을 외부로 방출하는 팬;을 더 포함하는 공랭식 흡착 모듈 냉각 시스템
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제1항에 있어서,상기 목적 기체는 크립톤, 제논, 아르곤 중 적어도 어느 하나를 포함하는 공랭식 흡착 모듈 냉각 시스템
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공기를 냉각 또는 가열해 온도 조절하는 단계;상기 온도 조절된 공기로 대상 기체와 흡착 모듈의 온도를 조절하는 단계;상기 온도 조절된 대상 기체를 상기 흡착 모듈에 주입해 목적 기체를 제거하는 흡착 또는 탈착하는 단계; 및상기 흡착 모듈을 통과한 상기 대상 기체를 배출하는 단계; 를 포함하되,상기 공기 온도 조절 단계는,냉각부의 내부 공기가 상기 냉각부 외부 공기의 온도보다 높은 경우 외부 주입모드로, 낮은 경우 내부 순환 모드로 작동하는 공랭식 흡착 모듈 냉각 방법
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제9항에 있어서,상기 흡착 또는 탈착 단계는,복수개의 흡착 모듈에 상기 대상 기체가 일정하게 분할되어 주입되는 공랭식 흡착 모듈 냉각 방법
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제10항에 있어서,상기 배출 단계는,상기 복수개의 흡착 모듈에서 배출되는 상기 대상 기체를 단일 배출구서 배출하는 공랭식 흡착 모듈 냉각 방법
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제10항에 있어서,상기 복수개의 흡착 모듈은 직렬 연결되는 공랭식 흡착 모듈 냉각 방법
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제10항에 있어서,상기 복수개의 흡착 모듈은 병렬 연결되는 공랭식 흡착 모듈 냉각 방법
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제9항에 있어서,상기 공기 온도 조절 단계는,히터 또는 냉각 코일의 작동을 조절해 온도를 조절하는 단계; 및상기 냉각 코일을 통과한 냉각기의 열을 외부로 배출하는 단계;를 포함하는 공랭식 흡착 모듈 냉각 방법
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제9항에 있어서,상기 목적 기체는 크립톤, 제논, 아르곤 중 적어도 어느 하나를 포함하는 공랭식 흡착 모듈 냉각 방법
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