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할로겐화구리 반도체 기반 전자소자 및 이를 포함하는 기억소자 및 논리소자

  • 기술번호 : KST2019010979
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 저비용, 고생산성을 갖는 고출력 고속 전자소자가 개시된다. 이러한 전자소자는 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자로서, 기판, 할로겐화구리 채널층, 절연층, 게이트 전극, 제1 n+ 할로겐화구리층, 드레인 전극, 제2 n+ 할로겐화구리층 및 소오스 전극을 포함한다. 상기 할로겐화구리(CuHa) 채널층은 상기 기판 상부에 형성된다. 상기 절연층은 상기 할로겐화구리 채널층 상부에 형성된다. 상기 게이트 전극은 상기 절연층 상부에 형성된다. 상기 제1 n+ 할로겐화구리층은 상기 게이트 전극의 일측에 위치하도록 상기 할로겐화구리 채널층에 형성되고, n형 불순물을 포함한다. 상기 드레인 전극은 상기 제1 n+할로겐화구리 층 상부에 형성된다. 상기 제2 n+ 할로겐화구리층은 상기 게이트 전극의 타측에 위치하도록 상기 할로겐화구리 채널층에 형성되고, n형 불순물을 포함한다. 상기 소오스 전극은 상기 제2 n+ 할로겐화구리층 상부에 형성된다.
Int. CL H01L 29/78 (2006.01.01) H01L 29/10 (2006.01.01)
CPC H01L 29/7849(2013.01) H01L 29/7849(2013.01) H01L 29/7849(2013.01) H01L 29/7849(2013.01)
출원번호/일자 1020150169603 (2015.12.01)
출원인 주식회사 페타룩스, 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1742073-0000 (2017.05.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.01)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 페타룩스 대한민국 경기도 성남시 중원구
2 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안도열 대한민국 서울특별시 송파구
2 박상준 대한민국 경기도 용인시 수지구
3 양승현 대한민국 경기도 용인시 처인구
4 송진동 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인청맥 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **, *층(역삼동, MK빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 페타룩스 대한민국 경기도 성남시 중원구
2 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
3 서울시립대학교 산학협력단 서울특별시 동대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2015-1172029-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.10.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.12.07 수리 (Accepted) 9-1-2016-0049309-93
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0127387-79
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0246289-69
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.03.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0246235-15
7 등록결정서
Decision to grant
2017.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0252601-55
8 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2017.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0459546-38
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번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상부에 형성되고, CuICl 또는 CuBrCl을 포함하는 할로겐화구리(CuHa) 채널층;상기 할로겐화구리 채널층 상부에 형성된 절연층;상기 절연층 상부에 형성된 게이트 전극;상기 게이트 전극의 일측에 위치하도록 상기 할로겐화구리 채널층에 형성되고, n형 불순물을 포함하는 제1 n+ 할로겐화구리층;상기 제1 n+할로겐화구리층 상부에 형성된 드레인 전극;상기 게이트 전극의 타측에 위치하도록 상기 할로겐화구리 채널층에 형성되고, n형 불순물을 포함하는 제2 n+ 할로겐화구리층; 및상기 제2 n+ 할로겐화구리층 상부에 형성된 소오스 전극;을 포함하고,상기 채널층과 상기 기판 사이에, CuCl을 포함하는 장벽층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자
2 2
제1 항에 있어서,상기 할로겐화구리 채널층은 p형 불순물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자
3 3
제2 항에 있어서,상기 p형 불순물은 산소(O), 황(S), 셀레늄(Se) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자
4 4
제1 항에 있어서,상기 n형 불순물은 아연(Zn), 마그네슘(Mg) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자
5 5
제1 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판, 갈륨비소 기판, 글래스 기판, 쿼츠기판, 알루미나기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제1 항에 있어서,상기 기판 및 상기 할로겐화구리 채널층 사이에 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자
9 9
제8 항에 있어서,상기 버퍼층은 CuCl을 포함하는 것을 특징으로 하는 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자
10 10
제1 항에 있어서,상기 절연층은 실리콘옥사이드(SiO2) 또는 실리콘나이트라이드(SiN)를 포함하는 것을 특징으로 하는 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자
11 11
기판;상기 기판 상부에 형성되고, n형 불순물을 포함하는 CuICl 또는 CuBrCl을 포함하는 할로겐화구리(CuHa) 채널층;상기 할로겐화구리 채널층 상부에 형성된 절연층;상기 절연층 상부에 형성된 게이트 전극;상기 게이트 전극의 일측에 위치하도록 상기 할로겐화구리 채널층에 형성되고, p형 불순물을 포함하는 제1 p+ 할로겐화구리층;상기 제1 p+할로겐화구리층 상부에 형성된 드레인 전극;상기 게이트 전극의 타측에 위치하도록 상기 할로겐화구리 채널층에 형성되고, p형 불순물을 포함하는 제2 p+ 할로겐화구리층; 및상기 제2 p+ 할로겐화구리층 상부에 형성된 소오스 전극;을 포함하고,상기 채널층과 상기 기판 사이에, CuCl을 포함하는 장벽층을 더 포함하는 것을 특징으로 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자
12 12
제11 항에 있어서,상기 p형 불순물은 산소(O), 황(S), 셀레늄(Se) 중 어느 하나이고
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삭제
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삭제
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전하를 충전 또는 방전함으로써 온/오프를 표시하기 위한 캐패시터; 및상기 캐패시터를 제어하기 위한 스위칭 소자를 포함하고,상기 스위칭 소자는 제1 항 내지 제5항, 제8항 내지 12항 중, 어느 한 항에 의한 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자로 구현되는 것을 특징으로 하는 기억소자
16 16
다수의 스위칭 소자로 구현되고,상기 스위칭 소자중 적어도 하나는, 제1 항 내지 제5항, 제8항 내지 12항 중, 어느 한 항에 의한 할로겐화구리 반도체 기반 전자소자로 구현되는 것을 특징으로 하는 논리소자
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP03385994 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 JP30536291 JP 일본 FAMILY
3 US10566427 US 미국 FAMILY
4 US20180350920 US 미국 FAMILY
5 WO2017095129 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP3385994 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP3385994 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 JP2018536291 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 US10566427 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US2018350920 US 미국 DOCDBFAMILY
6 WO2017095129 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.