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마이크로 유체 시스템을 통해 마이크로 버블을 형성하는 제1 단계;액면의 높이 차이가 있는 조건에서, 부력에 의해 상기 마이크로 버블의 자기조립을 유도하여 구조를 형성하는 제2 단계; 및상기 구조를 건조시키는 제3 단계를 포함하는,집적구조체의 제조 방법
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마이크로 유체 시스템을 통해 마이크로 버블을 형성하는 제1 단계;상기 마이크로 버블의 직경보다 작은 크기의 공극을 가지는 마이크로 매쉬를 3차원 틀로 가공하는 제2 단계; 및상기 3차원 틀에 상기 마이크로 버블을 여과함으로써 상기 3차원 틀 내부에 상기 마이크로 버블을 적층시키는 제3 단계를 포함하는,집적구조체의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제3 단계 이후에 환원 또는 70℃ 이상의 열처리 공정을 수행하는 제4 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,집적구조체의 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 70℃ 이상의 열처리 공정은 혼합기체 분위기 하에서 300℃ 내지 1000℃의 온도 조건으로 30분 내지 2시간 동안 열환원시키는 공정인, 집적구조체의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 혼합기체 분위기는 아르곤 가스 및 수소 가스를 1:1 내지 5:1의 중량비로 혼합한 것인, 집적구조체의 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 환원 공정은 환원제를 사용하여 70℃ 내지 150℃의 온도 조건으로 1시간 내지 24시간 동안 화학적 환원시키는 공정인, 집적구조체의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 환원제는 하이드라진 기체인, 집적구조체의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 마이크로 버블은 마이크로 유체 시스템을 통해, 그래핀계 2차원 소재, 칼코겐화합물계 2차원 소재 또는 맥신(MXenes)계 2차원 소재를 알킬화하여 제조되는,집적구조체의 제조 방법
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제1항 또는 제2항의 제조 방법을 통해 제조되고,2차원 또는 3차원 구조로 형성되는,집적구조체
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제9항에 있어서,상기 집적구조체는 마이크로 버블들의 집적구조체인,집적구조체
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제10항에 있어서,상기 마이크로 버블은 서로 동일한 크기를 가지는,집적구조체
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제10항에 있어서,상기 마이크로 버블은 서로 상이한 크기를 가지는,집적구조체
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제9항에 있어서,상기 2차원 구조는 육방정계 구조인,집적구조체
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제9항에 있어서,상기 3차원 구조는 입방정계 구조인,집적구조체
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제3항의 제조 방법을 통해 제조되고,2차원 또는 3차원 구조로 형성되는,집적구조체
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제15항에 있어서,상기 집적구조체는 마이크로 버블들이 집적되어, 공극이 없는 연속적인 구조를 가지는 초집적 구조체인,집적구조체
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제16항에 있어서,상기 마이크로 버블은 서로 동일한 크기를 가지는,집적구조체
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제16항에 있어서,상기 마이크로 버블은 서로 상이한 크기를 가지는,집적구조체
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제15항에 있어서,상기 2차원 구조는 벌집 구조인,집적구조체
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제15항에 있어서,상기 3차원 구조는 단위구조가 사방십이면체 구조인,집적구조체
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