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유기물을 포함하는 반도체 웨이퍼가 배치되는 플레이트;상기 반도체 웨이퍼 상의 소정의 영역에, ZnO-그래핀 하이브리드를 제공하는 하이브리드 제공부; 및레이저 탈착/이온화 질량 분석법(LDI-MS)을 이용하여, 상기 소정의 영역에서 상기 유기물을 검출하는 질량 분석부를 포함하는 질량 분석 장치
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제 1항에 있어서,상기 ZnO-그래핀 하이브리드는, 나노입자형 ZnO(ZnO nanoparticle) 및 환원된 산화그래핀(rGO)을 포함하는 질량 분석 장치
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제 2항에 있어서,상기 ZnO-그래핀 하이브리드는, 상기 ZnO-그래핀 하이브리드 100 중량%에 대하여, 1
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제 1항에 있어서,상기 유기물은 1000 Da 이하의 분자량을 갖는 질량 분석 장치
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제 1항에 있어서,상기 하이브리드 제공부는, 상기 소정의 영역에, 상기 ZnO-그래핀 하이브리드가 분산된 현탁액을 제공하는 질량 분석 장치
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제 1항에 있어서,상기 하이브리드 제공부는, 상기 소정의 영역의 단위 면적(0
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피분석물(analyte)을 포함하는 기판이 배치되는 플레이트;상기 피분석물과 흡착되는 ZnO-그래핀 하이브리드를 제공하여, 상기 기판 상에 혼합 시료를 형성하는 하이브리드 제공부;상기 피분석물을 이온화시키는 광을 조사하여, 이온화된 피분석물을 생성하는 광 조사부;상기 이온화된 피분석물을 검출하여, 상기 피분석물의 질량 데이터를 생성하는 이온 검출부를 포함하는 질량 분석 장치
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제 7항에 있어서,상기 피분석물은 고체상의 유기물을 포함하는 질량 분석 장치
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제 7항에 있어서,상기 하이브리드 제공부는 마이크로 피펫(micropipette)을 포함하는 질량 분석 장치
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유기물을 포함하는 반도체 웨이퍼를 제공하고,상기 반도체 웨이퍼 상의 소정의 영역에, ZnO-그래핀 하이브리드를 제공하고,레이저 탈착/이온화 질량 분석법(LDI-MS)을 이용하여, 상기 소정의 영역에서 상기 유기물을 검출하는 것을 포함하는 반도체 웨이퍼의 분석 방법
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