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테라헤르츠파를 생성하는 빔 소스(beam source);상기 빔 소스에서 출력되는 상기 테라헤르츠파의 각도보다 상기 테라헤르츠파의 각도를 확장하는 빔 확장기(beam expander);상기 빔 확장기를 투과한 테라헤르츠파의 교차하는 위치에 배치되어, 상기 테라헤르츠파의 진행하는 방향을 조절하는 빔 스플리터(beam splitter);상기 방향이 조절된 테라헤르츠파가 시료(sample)에서 반사되고, 상기 시료에서 반사된 테라헤르츠파를 수신한 빔 스플리터로부터 출력되는 테라헤르츠파를 수신하여, 산란된 테라헤르츠파를 출력하는 빔 산란기(beam diffuser);상기 빔 산란기에서 산란된 테라헤르츠파의 초점 위치를 결정하는 텔레센트릭 렌즈(telecentric f-θ lens);상기 텔레센트릭 렌즈를 투과한 상기 테라헤르츠파를 반사하는 빔 스캐너(beam scanner); 및상기 시료의 영상을 획득하기 위해 상기 빔 스캐너에서 상기 반사된 테라헤르츠파를 검출하는 빔 검출기(beam detector)를 포함하는 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 빔 스플리터는, 상기 테라헤르츠파의 진행하는 방향을 시료 및 마이켈슨 간섭계의 방향으로 구분하고, 상기 마이켈슨 간섭계는, 상기 시료의 깊이 영상을 획득하도록 상기 테라헤르츠파가 반사되는 상기 시료의 깊이를 조절하는 영상 획득 장치
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제2항에 있어서,상기 마이켈슨 간섭계는, 하나 이상의 렌즈 및 미러와 스테이지(stage)를 이용하여 상기 테라헤르츠파가 반사되는 상기 시료의 깊이를 조절하는 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 빔 산란기는, 렌즈를 이용하여 상기 수신한 테라헤르츠파를 평행하도록 조절한 이후, 상기 렌즈에 포함된 나노 입자 및 구조물에 의해 산란된 테라헤르츠파를 출력하는 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 시료와 상기 빔 스플리터 사이에 렌즈를 포함하며,상기 렌즈에 의해 상기 빔 스플리터에서 상기 시료로 출력되는 상기 테라헤르츠파의 진행하는 방향이 평행하도록 변경되는 영상 획득 장치
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테라헤르츠파를 생성하는 빔 소스(beam source);상기 빔 소스에서 출력되는 상기 테라헤르츠파의 각도보다 상기 테라헤르츠파의 각도를 확장하는 빔 확장기(beam expander);상기 빔 확장기를 투과한 테라헤르츠파를 평행하도록 진행하는 방향을 변경하는 렌즈;상기 렌즈를 투과한 테라헤르츠파의 진행하는 방향을 조절하는 빔 스플리터(beam splitter);상기 방향이 조절된 테라헤르츠파가 시료에서 반사되고, 상기 시료에서 반사된 테라헤르츠파를 수신한 빔 스플리터로부터 출력되는 테라헤르츠파를 수신하여, 산란된 테라헤르츠파를 출력하는 빔 산란기(beam diffuser);상기 빔 산란기에서 산란된 테라헤르츠파의 초점 위치를 결정하는 텔레센트릭 렌즈(telecentric f-θ lens);상기 텔레센트릭 렌즈를 투과한 상기 테라헤르츠파를 반사하는 빔 스캐너(beam scanner); 및상기 시료의 영상을 획득하기 위해 상기 빔 스캐너에서 상기 반사된 테라헤르츠파를 검출하는 빔 검출기(beam detector)를 포함하는 영상 획득 장치
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7
제6항에 있어서,상기 빔 스플리터는, 상기 테라헤르츠파의 진행하는 방향을 시료 및 마이켈슨 간섭계의 방향으로 구분하고, 상기 마이켈슨 간섭계는, 상기 시료의 깊이 영상을 획득하도록 상기 테라헤르츠파가 반사되는 상기 시료의 깊이를 조절하는 영상 획득 장치
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제7항에 있어서,상기 마이켈슨 간섭계는, 하나 이상의 거울과 스테이지(stage)를 이용하여 상기 테라헤르츠파가 반사되는 상기 시료의 깊이를 조절하는 영상 획득 장치
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제6항에 있어서, 상기 빔 산란기는, 플레이트를 이용하여 상기 빔 스플리터로부터 상기 테라헤르츠파를 수신하고, 상기 플레이트에 포함된 나노 입자 및 구조물에 의해 산란된 테라헤르츠파를 출력하는 영상 획득 장치
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제6항에 있어서,상기 빔 검출기는, 상기 빔 스캐너에서 반사된 상기 테라헤르츠파를 하나 이상의 렌즈를 이용하여 수신하는 영상 획득 장치
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테라헤르츠파를 생성하는 빔 소스(beam source);상기 빔 소스에서 출력되는 상기 테라헤르츠파의 각도보다 상기 테라헤르츠파의 각도를 확장하는 빔 확장기(beam expander);상기 빔 확장기를 투과한 테라헤르츠파의 교차하는 위치에 배치되어, 상기 테라헤르츠파의 진행하는 방향을 조절하는 빔 스플리터(beam splitter);상기 방향이 조절된 테라헤르츠파가 시료(sample)에서 반사되고, 상기 시료에서 반사된 테라헤르츠파를 수신한 빔 스플리터로부터 출력되는 테라헤르츠파를 수신하여, 산란된 테라헤르츠파를 출력하는 빔 산란기(beam diffuser);상기 빔 산란기에서 산란된 테라헤르츠파의 초점 위치를 결정하는 텔레센트릭 렌즈(telecentric f-θ lens);상기 텔레센트릭 렌즈를 투과한 상기 테라헤르츠파를 투과하는 빔 스캐너(beam scanner); 및상기 시료의 영상을 획득하기 위해 상기 빔 스캐너에서 상기 투과된 테라헤르츠파를 검출하는 빔 검출기(beam detector)를 포함하는 영상 획득 장치
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제11항에 있어서,상기 빔 스플리터는, 상기 테라헤르츠파의 진행하는 방향을 시료 및 마이켈슨 간섭계의 방향으로 구분하고, 상기 마이켈슨 간섭계는, 상기 시료의 깊이 영상을 획득하도록 상기 테라헤르츠파가 반사되는 상기 시료의 깊이를 조절하는 영상 획득 장치
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제12항에 있어서,상기 마이켈슨 간섭계는, 하나 이상의 렌즈 및 미러와 스테이지(stage)를 이용하여 상기 테라헤르츠파가 반사되는 상기 시료의 깊이를 조절하는 영상 획득 장치
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제11항에 있어서,상기 빔 산란기는, 렌즈를 이용하여 상기 수신한 테라헤르츠파를 평행하도록 조절한 이후, 상기 렌즈에 포함된 나노 입자 및 구조물에 의해 산란된 테라헤르츠파를 출력하는 영상 획득 장치
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제11항에 있어서,상기 시료와 상기 빔 스플리터 사이에 렌즈를 포함하며,상기 렌즈에 의해 상기 빔 스플리터에서 상기 시료로 출력되는 상기 테라헤르츠파의 진행하는 방향이 평행하도록 변경되는 영상 획득 장치
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테라헤르츠파를 생성하는 빔 소스(beam source);상기 빔 소스에서 출력되는 상기 테라헤르츠파의 각도보다 상기 테라헤르츠파의 각도를 확장하는 빔 확장기(beam expander);상기 빔 확장기를 투과한 테라헤르츠파를 평행하도록 진행하는 방향을 변경하는 렌즈;상기 렌즈를 투과한 테라헤르츠파의 진행하는 방향을 조절하는 빔 스플리터(beam splitter);상기 방향이 조절된 테라헤르츠파가 시료에서 반사되고, 상기 시료에서 반사된 테라헤르츠파를 수신한 빔 스플리터로부터 출력되는 테라헤르츠파를 수신하여, 산란된 테라헤르츠파를 출력하는 빔 산란기(beam diffuser);상기 빔 산란기에서 산란된 테라헤르츠파의 초점 위치를 결정하는 텔레센트릭 렌즈(telecentric f-θ lens);상기 텔레센트릭 렌즈를 투과한 상기 테라헤르츠파를 투과하는 빔 스캐너(beam scanner); 및상기 시료의 영상을 획득하기 위해 상기 빔 스캐너에서 상기 투과된 테라헤르츠파를 검출하는 빔 검출기(beam detector)를 포함하는 영상 획득 장치
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제16항에 있어서,상기 빔 스플리터는, 상기 테라헤르츠파의 진행하는 방향을 시료 및 마이켈슨 간섭계의 방향으로 구분하고, 상기 마이켈슨 간섭계는, 상기 시료의 깊이 영상을 획득하도록 상기 테라헤르츠파가 반사되는 상기 시료의 깊이를 조절하는 영상 획득 장치
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제17항에 있어서,상기 마이켈슨 간섭계는, 하나 이상의 거울과 스테이지(stage)를 이용하여 상기 테라헤르츠파가 반사되는 상기 시료의 깊이를 조절하는 영상 획득 장치
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제16항에 있어서, 상기 빔 산란기는, 플레이트를 이용하여 상기 빔 스플리터로부터 상기 테라헤르츠파를 수신하고, 상기 플레이트에 포함된 나노 입자 및 구조물에 의해 산란된 테라헤르츠파를 출력하는 영상 획득 장치
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제16항에 있어서,상기 빔 검출기는, 상기 빔 스캐너에서 반사된 상기 테라헤르츠파를 하나 이상의 렌즈 및 거울을 이용하여 수신하는 영상 획득 장치
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