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친수성 식각을 이용한 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019018468
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법을 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법은 기판의 표면에 친수성 처리를 진행하는 단계; 및 상기 친수성 처리가 진행된 기판 상에 금속 칼코겐 화합물 박막을 증착하는 단계; 및 상기 금속 칼코겐 화합물 박막을 열처리하는 단계를 포함하고, 상기 친수성 처리는 친수성 식각을 이용하여 진행하여 상기 기판의 표면적을 증가시키는 동시에 표면 에너지를 증가시켜 상기 기판의 표면의 친수성을 향상시키는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 16/02 (2006.01.01) C23C 16/56 (2006.01.01) C23C 16/30 (2006.01.01)
CPC C23C 16/0245(2013.01) C23C 16/0245(2013.01) C23C 16/0245(2013.01)
출원번호/일자 1020180030677 (2018.03.16)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0108956 (2019.09.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전형탁 서울특별시 성동구
2 이승백 서울특별시 성동구
3 이정수 서울특별시 성동구
4 이남규 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-0264143-69
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판의 표면에 친수성 처리를 진행하는 단계; 및상기 친수성 처리가 진행된 기판 상에 금속 칼코겐 화합물 박막을 증착하는 단계; 및상기 금속 칼코겐 화합물 박막을 열처리하는 단계를 포함하고,상기 친수성 처리는 친수성 식각을 이용하여 진행하여 상기 기판의 표면적을 증가시키는 동시에 표면 에너지를 증가시켜 상기 기판의 표면의 친수성을 향상시키는 것을 특징으로 하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판의 표면에 친수성 처리를 진행하는 단계는
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제1항에 있어서, 상기 친수성 식각은 BOE 용액을 사용하여 진행되는 것을 특징으로 하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 플라즈마 처리는 산소 플라즈마(O2 plasma)인 것을 특징으로 하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 (재)한국연구재단 원천기술개발사업 / 나노·소재 기술개발사업 / 나노·소재원천기술개발사업 2차원 황화물의 대면적 저온 공정 개발
2 과학기술정보통신부 (재)한국연구재단 원천기술개발사업 / 나노·소재 기술개발사업 / 나노·소재원천기술개발사업 2차원 소재를 이용한 적층소자의 집적화 기술 개발