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기판이 배치되는 자석판;상기 기판 상에 배치되는, 자성을 갖는 가이드판; 및상기 기판 상에서 자성에 의해 상기 가이드판에 끼워져 자가 정렬되는 쉐도우 마스크;를 포함하고,상기 가이드판과 상기 쉐도우 마스크는 퍼즐 방식으로 맞춰져 정렬되는, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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제1항에 있어서, 상기 가이드판은 상기 쉐도우 마스크의 두께보다 두꺼운, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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제1항에 있어서, 상기 쉐도우 마스크의 패턴과 다른 패턴을 갖는 다른 쉐도우 마스크를 더 포함하는, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 기판은 경성 기판 또는 연성 기판을 포함하는, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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제5항에 있어서, 상기 경성 기판은 유리 기판, ITO(Indium Tin Oxide) 코팅 유리 기판, 또는 웨이퍼를 포함하는, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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제5항에 있어서, 상기 연성 기판은 PI(폴리이미드) 기판, PC(폴리카보네이트) 기판, PES(폴리에테르설폰) 기판, PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트) 기판, PEN(폴리에틸렌 나프탈레이트) 기판, 또는 PAR(폴리아릴레이트) 기판을 포함하는, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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제1항에 있어서, 상기 가이드판은 상기 쉐도우 마스크의 일부분과 자성에 의해 정렬되는, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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제1항에 있어서, 상기 기판이 연성 기판이면, 상기 가이드판과 상기 기판 사이에 배치되며 상기 연성 기판의 틀어짐을 방지하는 강성 지지판;을 더 포함하는, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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제9항에 있어서, 상기 강성 지지판은 유리 기판 또는 실리콘 기판을 포함하는, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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제1항에 있어서, 상기 가이드판은 자석인, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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제1항에 있어서, 상기 기판에 사용될 패턴을 갖는 쉐도우 마스크를 교체 정렬하여 순차적으로 공정이 이루어지는, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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제1항에 있어서, 상기 가이드판은 전체 마스크 패턴 공정이 종료될 때까지 유지되는, 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템
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자석판을 준비하는 단계;상기 자석판 상에 기판을 적층하는 단계;상기 기판 상에 자성을 갖는 가이드판을 적층하는 단계;상기 기판 상에서 자성에 의해 쉐도우 마스크를 상기 가이드판에 끼워져 자가 정렬되도록 배치시키는 단계를 포함하고,상기 가이드판과 상기 쉐도우 마스크는 퍼즐 방식으로 맞춰져 정렬되는,쉐도우 마스크 자가 정렬 방법
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제14항에 있어서, 상기 쉐도우 마스크를 제거하고 상기 기판 상에 다른 쉐도우 마스크를 자성에 의해 자가 정렬되도록 배치시켜 쉐도우 마스크 교체를 실행하는 단계를 더 포함하는 쉐도우 마스크 자가 정렬 방법
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