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그래핀 희생층을 이용한 에피택시 구조체 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019019676
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따른 에피택시 구조체의 제조 방법은 지지 기판을 제공하는 단계, 상기 지지 기판 위에 제1 결정면을 가지는 결정층을 제공하는 단계, 상기 결정층 위에 그래핀층을 제공하는 단계, 상기 그래핀층 위에 상기 제1 결정면을 가지는 구조물을 제공하는 단계, 상기 그래핀층을 상기 지지 기판으로부터 제거하는 단계 그리고 상기 그래핀층을 유연한 기판 위에 위치하도록 전사하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 33/00 (2010.01.01) H01L 33/16 (2010.01.01) H01L 33/44 (2010.01.01)
CPC H01L 33/0093(2013.01) H01L 33/0093(2013.01) H01L 33/0093(2013.01) H01L 33/0093(2013.01) H01L 33/0093(2013.01)
출원번호/일자 1020180038706 (2018.04.03)
출원인 세종대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2068322-0000 (2020.01.14)
공개번호/일자 10-2019-0115699 (2019.10.14) 문서열기
공고번호/일자 (20200120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.04.03)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 세종대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구 능동로 *** (군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍영준 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 정준석 대한민국 서울특별시 노원구
3 최지은 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 세종대학교산학협력단 서울특별시 광진구 능동로 *** (군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0331264-35
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0138057-88
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.04.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0279050-43
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0617224-84
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2019-0632960-66
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0788265-57
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2019.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-1237015-69
9 법정기간연장승인서
2019.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0192362-67
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.12.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-1356608-36
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-1356607-91
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2020.01.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0028258-36
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
지지 기판을 제공하는 단계,상기 지지 기판 위에 상기 지지 기판과 에피택시 관계를 가지는 결정층을 제공하는 단계,상기 결정층 위에 1층의 그래핀층을 제공하는 단계,상기 그래핀층 위에 상기 결정층의 결정 방향과 동일한 결정 방향을 가지는 구조물을 제공하는 단계,상기 그래핀층을 상기 지지 기판으로부터 제거하는 단계 그리고상기 그래핀층을 유연한 기판 위에 위치하도록 전사하는 단계,를 포함하고,상기 결정층을 제공하는 단계에서, 상기 결정층은 AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP, InAs, InAsP, InGaAs, InP, MgO, CdO, SiO2 또는 Si를 포함하는 에피택시 구조체의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에서,상기 그래핀층을 제공하는 단계는 상기 지지 기판과 반 데르 발스(van der Waals, vdW) 힘으로 결합된 그래핀층을 제공하는 에피택시 구조체의 제조 방법
4 4
제3항에서,상기 구조물을 제공하는 단계는 박막(Thin Film) 구조물을 제공하는 에피택시 구조체의 제조 방법
5 5
제3항에서,상기 구조물을 제공하는 단계는 상기 그래핀층과 교차하는 방향으로 뻗는 와이어 구조물을 제공하는 에피택시 구조체의 제조 방법
6 6
제3항에서,상기 구조물을 제공하는 단계는 상기 그래핀층과 수평인 방향으로 뻗는 와이어 구조물을 제공하는 에피택시 구조체의 제조 방법
7 7
삭제
8 8
제1항에서,상기 결정층을 제공하는 단계는 스퍼터링(Sputtering), 스핀 코팅(Spin coating), 유기금속 화학기상증착법(Metal-organic chemical vapor deposition, MOCVD) 또는 분자선 에피택시(Molecular beam epitaxy, MBE) 단계를 포함하는 에피택시 구조체의 제조 방법
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
지지 기판,상기 지지 기판 위에 위치하고, 상기 지지 기판과 에피택시 관계를 가지는 결정층,상기 결정층 위에 위치하는 1층의 그래핀층 그리고상기 그래핀층 위에 위치하는 구조물을 포함하고,상기 구조물은 상기 결정층의 결정 방향과 동일한 결정 방향을 가지며,상기 결정층은 AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP, InAs, InAsP, InGaAs, InP, MgO, CdO, SiO2 또는 Si를 포함하는 에피택시 구조체
12 12
삭제
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제11항에서,상기 그래핀층은 상기 지지 기판과 반 데르 발스(van der Waals, vdW) 힘으로 결합된 에피택시 구조체
14 14
제13항에서,상기 구조물은 박막(Thin Film) 구조물인 가지는 에피택시 구조체
15 15
제13항에서,상기 구조물은 상기 그래핀층과 교차하는 방향으로 뻗는 와이어 구조물인 에피택시 구조체
16 16
제13항에서,상기 구조물은 상기 그래핀층과 수평인 방향으로 뻗는 와이어 구조물인 에피택시 구조체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 세종대학교 국제공동기술개발사업 [산기원-RCMS]대면적 그래핀 기판을 이용한 저비용, 고품질 III-V 나노선 발광소자개발