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제1방향을 따라 제1속도로 타깃기판을 이송시키는 이송단계; 전사필름에 점착된 마이크로 소자를 상기 타깃기판의 상부에 대향되게 배치하고 상기 전사필름을 상기 제1방향을 따라 공급하는 공급단계; 상기 전사필름이 상기 타깃기판에 전사되는 마이크로 소자에서 분리된 후 상측으로 굽어져 굽힘원호를 형성하고, 상기 굽힘원호를 형성한 후 이송되는 상측 전사필름이 상기 타깃기판의 상측에서 회전하는 가압롤러에 의해 가압되면서 상기 마이크로 소자가 점착되어 공급되는 하측 전사필름에 압력이 전달되도록 하는 가압단계; 그리고 상기 굽힘원호를 형성한 후 이송되는 상기 상측 전사필름이 상기 제1방향의 반대방향인 제2방향을 따라 제2속도로 이송되어 회수되는 회수단계를 포함하고, 상기 제1방향을 기준으로, 상기 굽힘원호의 제1중심은 상기 가압롤러의 제2중심보다 전방에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제1항에 있어서, 상기 타깃기판에 전사되는 상기 마이크로 소자의 상면과 상기 가압롤러의 하단부 사이의 이격 거리는 상기 전사필름의 두께의 2배를 초과하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제1항에 있어서, 상기 가압롤러의 선속도, 상기 제2속도 및 상기 제1속도는 동일한 크기인 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제1항에 있어서, 미리 정해진 시간 동안, 상기 가압롤러의 선속도를 증가시켜 상기 굽힘원호의 제1중심의 위치가 상기 제1방향을 기준으로 후방으로 이동되도록 하여 상기 굽힘원호의 곡률반경이 작아지도록 제어하거나, 상기 가압롤러의 선속도를 감소시켜 상기 굽힘원호의 제1중심의 위치가 상기 제1방향을 기준으로 전방으로 이동되도록 하여 상기 굽힘원호의 곡률반경이 커지도록 제어하는 제1곡률반경 조절단계를 가지는 제1제어단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제4항에 있어서, 상기 제1제어단계는 상기 제1곡률반경 조절단계 이후에, 상기 제1속도 및 상기 제2속도를 상기 제1곡률반경 조절단계에서 조절된 상기 가압롤러의 선속도와 같은 크기가 되도록 제어하는 제1속도조절단계를 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제1항에 있어서,미리 정해진 시간 동안, 상기 타깃기판의 상기 제1속도를 증가시켜 상기 굽힘원호의 제1중심의 위치가 상기 제1방향을 기준으로 전방으로 이동되도록 하여 상기 굽힘원호의 곡률반경이 커지도록 제어하거나, 상기 타깃기판의 상기 제1속도를 감소시켜 상기 굽힘원호의 제1중심의 위치가 상기 제1방향을 기준으로 후방으로 이동되도록 하여 상기 굽힘원호의 곡률반경이 작아지도록 제어하는 제2곡률반경 조절단계를 가지는 제2제어단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제6항에 있어서,상기 제2제어단계는 상기 제2곡률반경 조절단계 이후에, 상기 가압롤러의 선속도 및 상기 제2속도를 상기 제2곡률반경 조절단계에서 조절된 상기 타깃기판의 제1속도와 같은 크기가 되도록 제어하는 제2속도조절단계를 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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