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측정 대상체의 픽셀 별로 측정 대상체에서 반사된 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠파 수신부; 및 상기 수신된 테라헤르츠파에서 측정 대상체의 표면에서 반사된 제1 정상 피크와 측정 대상체의 표면을 통과하여 배면에서 반사된 제2 정상 피크 사이에, 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는지를 픽셀 별로 판단하는 결함 유무 판단부;를 포함하되,상기 결함 유무 판단부의 판단 결과에 따라 결함 유무를 영상화하는 영상화부를 더 포함하고,상기 영상화부는, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 결함 픽셀과 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 없는 정상 픽셀을 구분하여 영상화하되,상기 영상화부는, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 결함 픽셀의 경우, 상기 제1 정상 피크와 상기 제2 정상 피크 간의 시간 간격과 상기 제1 정상 피크와 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 결함 피크 간의 시간 간격 비에 기반하여 영상화 정도를 달리하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 장치
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측정 대상체의 픽셀 별로 측정 대상체에서 반사된 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠파 수신부; 및 상기 수신된 테라헤르츠파에서 측정 대상체의 표면에서 반사된 제1 정상 피크와 측정 대상체의 표면을 통과하여 배면에서 반사된 제2 정상 피크 사이에, 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는지를 픽셀 별로 판단하는 결함 유무 판단부;를 포함하되,상기 결함 유무 판단부의 판단 결과에 따라 결함 유무를 영상화하는 영상화부를 더 포함하고,상기 영상화부는, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 결함 픽셀과 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 없는 정상 픽셀을 구분하여 영상화하되,상기 결함 유무 판단부에서, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 픽셀의 결함 깊이 정보를 획득하는 결함 깊이 판단부를 더 포함하며,상기 영상화부는 상기 결함 깊이 정보에 기반하여 결함 깊이를 영상화하고,상기 결함 깊이 판단부는, 상기 제1 정상 피크와 상기 제2 정상 피크 간의 시간 간격과 상기 제1 정상 피크와 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 결함 피크 간의 시간 간격 비 및 측정 대상체의 두께를 고려하여 결함 깊이 정보를 획득하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 장치
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삭제
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제1 항에 있어서, 상기 영상화부는, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 없는 정상 픽셀의 경우 제1 색상을 나타내고, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 결함 픽셀의 경우 상기 제1 색상과 다른 제2 색상을 상기 시간 간격 비에 따라 서로 다른 밝기로 나타내어, 측정 대상체 내부의 결함을 2차원으로 영상화하는 것을 포함하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 장치
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제1 항에 있어서, 상기 결함 유무 판단부에서, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 픽셀의 결함 깊이 정보를 획득하는 결함 깊이 판단부를 더 포함하며,상기 영상화부는 상기 결함 깊이 정보에 기반하여 결함 깊이를 영상화하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 장치
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제5 항에 있어서, 상기 영상화부는 상기 결함 깊이 정보를 고려하여, 측정 대상체 내부의 결함을 3차원으로 영상화하는 것을 포함하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 장치
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제5 항에 있어서,상기 결함 깊이 판단부는, 상기 제1 정상 피크와 상기 제2 정상 피크 간의 시간 간격과 상기 제1 정상 피크와 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 결함 피크 간의 시간 간격 비 및 측정 대상체의 두께를 고려하여 결함 깊이 정보를 획득하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 장치
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8
제2 항 또는 제7 항에 있어서,상기 결함 피크가 제1 결함 피크와 상기 제1 결함 피크에 후행하는 제2 결함 피크를 포함하는 경우,상기 결함 깊이 판단부는,상기 제1 정상 피크와 상기 제2 정상 피크 간의 시간 간격과 상기 제1 정상 피크와 제1 결함 피크 간의 시간 간격 비 및 측정 대상체의 두께를 고려하여 제1 결함 깊이 정보를 제공하고,상기 제1 정상 피크와 상기 제2 정상 피크 간의 시간 간격과 상기 제1 정상 피크와 제2 결함 피크 간의 시간 간격 비 및 측정 대상체의 두께를 고려하여 제2 결함 깊이 정보를 제공하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 장치
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측정 대상체의 픽셀 별로 측정 대상체에서 반사된 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠파 수신 단계; 및상기 수신된 테라헤르츠파에서 측정 대상체의 표면에서 반사된 제1 정상 피크와 측정 대상체의 표면을 통과하여 배면에서 반사된 제2 정상 피크 사이에, 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는지를 픽셀 별로 판단하는 결함 유무 판단 단계;를 포함하되,상기 결함 유무 판단 단계의 판단 결과에 따라 결함 유무를 영상화하는 영상화 단계를 더 포함하고, 상기 영상화 단계는, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 결함 픽셀과 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 없는 정상 픽셀을 구분하여 영상화하고,상기 영상화 단계는, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 결함 픽셀의 경우, 상기 제1 정상 피크와 상기 제2 정상 피크 간의 시간 간격과 상기 제1 정상 피크와 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 결함 피크 간의 시간 간격 비에 기반하여 영상화 정도를 달리하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 방법
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10
측정 대상체의 픽셀 별로 측정 대상체에서 반사된 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠파 수신 단계; 및상기 수신된 테라헤르츠파에서 측정 대상체의 표면에서 반사된 제1 정상 피크와 측정 대상체의 표면을 통과하여 배면에서 반사된 제2 정상 피크 사이에, 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는지를 픽셀 별로 판단하는 결함 유무 판단 단계;를 포함하되,상기 결함 유무 판단 단계의 판단 결과에 따라 결함 유무를 영상화하는 영상화 단계를 더 포함하고, 상기 영상화 단계는, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 결함 픽셀과 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 없는 정상 픽셀을 구분하여 영상화하고,상기 결함 유무 판단 단계에서, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 픽셀의 결함 깊이 정보를 획득하는 결함 깊이 판단 단계를 더 포함하며, 상기 영상화 단계는 상기 결함 깊이 정보에 기반하여 결함 깊이를 영상화하되,상기 결함 깊이 판단 단계는, 상기 제1 정상 피크와 상기 제2 정상 피크 간의 시간 간격과 상기 제1 정상 피크와 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 결함 피크 간의 시간 간격 비 및 측정 대상체의 두께를 고려하여 결함 깊이 정보를 획득하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 방법
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삭제
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제9 항에 있어서, 상기 결함 유무 판단 단계에서, 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 피크가 있는 픽셀의 결함 깊이 정보를 획득하는 결함 깊이 판단 단계를 더 포함하며, 상기 영상화 단계는 상기 결함 깊이 정보에 기반하여 결함 깊이를 영상화하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 방법
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제12 항에 있어서, 상기 결함 깊이 판단 단계는, 상기 제1 정상 피크와 상기 제2 정상 피크 간의 시간 간격과 상기 제1 정상 피크와 상기 미리 정해진 결함 피크 기준보다 큰 결함 피크 간의 시간 간격 비 및 측정 대상체의 두께를 고려하여 결함 깊이 정보를 획득하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 방법
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제10 항 또는 제13 항에 있어서, 상기 결함 피크가 제1 결함 피크와 상기 제1 결함 피크에 후행하는 제2 결함 피크를 포함하는 경우,상기 결함 깊이 판단 단계는, 상기 제1 정상 피크와 상기 제2 정상 피크 간의 시간 간격과 상기 제1 정상 피크와 제1 결함 피크 간의 시간 간격 비 및 측정 대상체의 두께를 고려하여 제1 결함 깊이 정보를 제공하고,상기 제1 정상 피크와 상기 제2 정상 피크 간의 시간 간격과 상기 제1 정상 피크와 제2 결함 피크 간의 시간 간격 비 및 측정 대상체의 두께를 고려하여 제2 결함 깊이 정보를 제공하는, 테라헤르츠파 기반 결함 측정 방법
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