| 1 |
1
합금 분말의 제조 장치로서,고상의 금속 재료가 놓이고, 금속을 증발시키는 증발 기구가 마련되어 진공 분위기 하에서 금속 재료가 증발되는 증발 챔버;증발 챔버 내에 마련되고, 고상의 금속을 기상으로 증발시키는 금속 증발 기구;증발 챔버에 인접하여 마련되고, 진공 분위기 하에서 합금 분말의 재료가 되는 합금의 결정이 성장하는 반응이 일어나는 반응 챔버;세라믹 또는 금속으로 이루어지고, 증발 챔버와 반응 챔버 사이에서 순환하는 표면을 갖추고, 증발 챔버에서 증발되는 기상의 금속의 입자가 상기 표면에 증착되고, 금속의 입자가 증착된 상기 표면이 반응 챔버에 유입되어 합금의 결정이 성장하며, 증발 챔버와 반응 챔버 사이에서 순환 구동되어 금속 입자의 증착과 합금 결정 성장이 반복되어 합금의 박막이 형성되는 것인 합금 형성 부재;합금 형성 부재의 표면에 형성되는 합금의 박막으로부터 합금을 박리하는 박리 기구; 및박리 기구에 의해 합금 형성 부재로부터 박리되는 합금의 분말을 포집하는 포집 기구를 포함하여 이루어지는 것인 합금 분말의 제조 장치
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 반응 챔버에, 증발 챔버에서 합금 형성 부재에 증착된 금속과 반응하여 합금을 형성하는 원소의 전구체를 가스 상으로 공급하는 가스 공급 기구를 더 포함하고, 상기 가스 공급 기구는 상기 합금을 이루는 원소의 전구체를 해리시키는 플라즈마를 발생시킬 수 있도록 구성되는 것인, 합금 분말의 제조 장치
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 합금 형성 부재는 원통형의 표면을 갖추고 회전하는 실린더로 구성되고, 실린더의 표면은 실린더의 회전에 의해 증발 챔버와 반응 챔버에 교호로 놓이는 것인, 합금 분말의 제조 장치
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 합금 형성 부재는 기상의 금속이 증착되고 합금 박막이 성장하는 표면을 갖춘 스트립으로 이루어지는 것인, 합금 분말의 제조 장치
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서, 증발 챔버에서의 금속 재료의 증발은 유도 가열, 저항열 가열 또는 스퍼터링에 의해 이루어지는 것인, 합금 분말의 제조 장치
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서,박리 기구는 합금 형성 부재의 표면과 접촉하여 합금 형성 부재의 표면에 생성되는 합금의 박막을 분리하는 복수 개의 블레이드가 원주 방향으로 이격되어 배치되며, 회전에 의해 블레이드가 순차로 합금 형성 부재의 표면과 접촉하도록 구성되는 것인, 합금 분말의 제조 장치
|
| 7 |
7
청구항 1에 있어서,박리 기구는 합금 형성 부재의 표면에 레이저를 조사하여 합금 형성 부재의 표면으로부터 합금 박막을 분리하는 레이저 클리너로 구성되는 것인, 합금 분말 제조 장치
|
| 8 |
8
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 청구항에 따른 합금 분말 제조 장치를 이용하는 합금 분말의 제조 방법으로서, 증발 챔버에서 금속 증발 기구에 금속 재료를 적재하는, 금속 재료 적재 단계;증발 챔버와 반응 챔버를 감압하여 진공화하는 것인 진공화 단계;증발 챔버에 놓인 금속 재료를 유도 가열, 저항열 가열 또는 스퍼터링에 의해 증발시키는 것인 증발 단계;합금 형성 부재의 표면을 증발 챔버와 반응 챔버 사이에서 순환 구동시켜
|
| 9 |
9
청구항 8에 있어서 상기 금속 재료 적재 단계에서는, 증발 기구에 금속 재료로서 철(Fe)을 적재하고,상기 합금 결정 형성 단계에서는, 반응 챔버에 질소 가스를 공급하고 플라즈마에 의해 공급되는 질소 가스를 해리시키거나 암모니아 가스를 공급하고, 질소 가스 또는 암모니아 가스로부터 유래하는 질소 원자가 합금 형성 부재의 표면에 증착된 철과 반응하여 철과 질소의 합금을 형성하면서 철과 질소의 합금의 결정이 형성되는 것인, 합금 분말의 제조 방법
|
| 10 |
10
청구항 9에 있어서,상기 금속 재료 적재 단계에서는 금속 재료로서 코발트(Co), 티타늄(Ti), 망간(Mn) 중의 하나의 금속이 더 적재되고, 상기 합금 결정 형성 단계에서는, 철과 코발트 및 질소의 합금, 철과 티타늄 및 질소의 합금 또는 철과 망간 및 질소의 합금의 결정이 형성되는 것인, 합금 분말의 제조 방법
|
| 11 |
11
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 청구항에 따른 합금 분말 제조 장치를 이용하는 합금 분말의 제조 방법으로서, 증발 챔버에 금속 재료로서 희토류 금속과 철(Fe) 또는 코발트(Co)를 적재하는 것인, 금속 재료 적재 단계;증발 챔버와 반응 챔버를 감압하여 진공화하는 것인 진공화 단계;증발 챔버에 적재된 희토류 금속과 철을 유도 가열, 저항열 가열 또는 스퍼터링에 의해 증발시키는 것인 증발 단계;합금 형성 부재의 표면을 증발 챔버와 반응 챔버 사이에서 순환 구동시켜
|
| 12 |
12
청구항 11에 있어서,상기 금속 재료 적재 단계에서는 희토류 금속과 철이 적재되고, 상기 합금 결정 형성 단계에서는, 반응 챔버에 질소 가스를 공급하고 플라즈마에 의해 공급되는 질소 가스를 해리시키거나 암모니아 가스를 공급하고, 질소 가스 또는 암모니아 가스로부터 유래하는 질소 원자가 합금 형성 부재의 표면에 증착된 금속들과 반응하여 희토류 금속, 철 및 질소의 합금의 결정을 형성하는 것인, 합금 분말의 제조 방법
|
| 13 |
13
청구항 12에 있어서, 상기 합금 결정 형성 단계에서는, 반응 챔버에 붕소를 함유하는 가스를 공급하고, 붕소를 함유하는 가스로부터 유래하는 붕소 원자가 합금 형성 부재의 표면에 증착된 금속들과 반응하여 희토류 금속, 철 및 붕소의 합금의 결정을 형성하는 것인, 합금 분말의 제조 방법
|
| 14 |
14
청구항 12에 있어서, 상기 금속 재료 적재 단계에서는, 합금의 상의 안정화를 위한 치환형 원소로서, 티타늄(Ti), 바나듐(V), 망간(Mn), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo) 및 실리콘(Si) 중의 어느 하나가 더 적재되고, 상기 합금 결정 형성 단계에서는 티타늄, 바나듐, 망간, 코발트, 몰리브덴 및 실리콘 중의 어느 하나의 금속, 희토류 금속 및 철의 합금 박막이 성장하는 것인, 합금 분말의 제조 방법
|
