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반력보상모듈을 갖는 생산 장비에 있어서,베이스;상기 베이스의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 구동하는 작동모듈;상기 베이스의 타공부에 인입하여 설치되고, 상기 베이스의 반력에 의해 발생되는 진동에 대응하여 반력을 보상하는 반력보상모듈; 및상기 반력보상모듈의 반력 보상 방향 또는 강도를 제어하는 제어부;를 포함하여 이루어지며,상기 반력보상모듈에 의해 전달되는 힘의 방향이 상기 베이스의 일면에 대해 수직 또는 수평이고,상기 반력보상모듈은, 반력을 제거할 수 있는 힘을 생성하는 액츄에이터(actuator)를 구비하는 구동부, 및 상기 구동부에서 생성된 힘을 상기 베이스에 전달하는 전달부,를 포함하며,상기 구동부는 복수 개 설치되고,상기 전달부는, 상기 구동부의 힘을 상기 베이스에 전달하는 제1전달재, 및 상기 구동부의 힘을 상기 베이스 또는 상기 제1전달재에 전달하는 제2전달재,를 포함하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항1에 있어서,상기 제어부는, 상기 베이스 위의 상기 작동모듈이 구동을 시작하여 반력이 발생하는 경우, 동시에 상기 반력보상모듈이 초기 반력을 제거할 수 있도록 하는 초기신호, 또는상기 작동모듈이 구동 중 또는 정지상태인 경우, 상기 반력보상모듈이 상기 베이스의 위치를 보정할 수 있도록 하는 위치보상신호,를 상기 반력보상모듈에 전달하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항1에 있어서, 상기 구동부에서 발생하는 힘의 방향은 상기 작동모듈이 발생하는 반력의 방향에 대해 수직 또는 수평인 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항1에 있어서,상기 액츄에이터는, 보이스 코일 모터(Voice Coil Motor, VCM), 압전소자(piezoelectric element, PZT) 및 리니어 모터(Liner motor) 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항1에 있어서,상기 베이스의 타공부 중심은, 상기 베이스의 중심과 일치하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항1에 있어서,지면과 접촉하는 베이스지지부, 및상기 베이스의 하부면과 상기 베이스지지부의 상부면에 결합하여 상기 베이스와 상기 베이스지지부를 연결하는 마운트, 를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항8에 있어서,상기 마운트는, 상기 베이스의 상부면과 수직 방향인 위치오차 또는 진동에 대해 반력을 보상하는 수직구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항1에 있어서,상기 작동모듈은,상기 베이스의 상부면에 대해 수평으로 직선 왕복운동하는 제1작동부, 및상기 베이스의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 직선 왕복운동하는 제2작동부,를 포함하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항10에 있어서,상기 베이스는, 상기 제1작동부를 안내하는 가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항1에 있어서,상기 작동모듈은, 소정의 작업을 수행하는 장치부와 결합하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항12에 있어서,상기 장치부는, 드릴링 머신, 워터젯(water jet) 머신, 로봇 머신, 광학검사장비, 레이저 가공 장비 및 지그(jig) 장비 중 선택되는 하나 이상의 장비인 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항1에 있어서,상기 베이스의 운동 상태를 인식하는 위치센서, 속도센서 또는 가속도센서 중 선택되는 하나 이상의 센서를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비
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청구항1의 반력보상모듈을 갖는 생산 장비를 이용한 진동 제어방법에 있어서,(ⅰ) 상기 작동모듈이 정지 상태에서 구동을 시작하고, 이와 동시에, 상기 제어부로부터 상기 반력보상모듈로 초기신호가 전달되어, 상기 구동부가 초기에 상기 작동모듈에 의해 발생되는 반력을 제거하는 힘을 생성하는 단계;(ⅱ) 상기 작동모듈의 구동에 의한 상기 베이스의 위치오차 또는 진동이 센서에 의해 센싱되어, 센싱신호가 상기 제어부로 전달되는 단계;(ⅲ) 상기 제어부로부터 상기 반력보상모듈로 위치보상신호가 전달되어, 상기 구동부가 상기 베이스의 위치오차 또는 진동을 보정하는 단계; 및(ⅳ) 상기 (ⅰ) 단계 내지 상기 (ⅲ) 단계가 반복되어 수행되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비를 이용한 진동 제어방법
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