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4-빔 레이저 간섭 응용 금속 나노 점 패턴 및 SERS 기판 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019024054
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노 패턴 제조 방법을 개시한다.본 실시예에 의하면, 나노 패턴 제조 방법에 있어서, 기판 상에 유기금속화합물 잉크층을 형성하는 과정; 상기 유기금속화합물 잉크층을 반고상으로 경화시키는 과정; 상기 반고상의 유기금속화합물 잉크층에 4-빔 간섭 리소그래피를 이용하여 상기 기판 상에 수직으로 교차하는 레이저를 조사하여 패턴이 형성될 부분을 국부적으로 경화시켜 패턴을 형성하는 과정; 및 상기 반고상의 유기금속화합물 잉크층을 제거하여 상기 패턴을 남기는 과정을 포함하는 나노 패턴 제조 방법을 제공한다.
Int. CL G01N 21/552 (2014.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) G01N 21/45 (2006.01.01)
CPC G01N 21/554(2013.01) G01N 21/554(2013.01) G01N 21/554(2013.01)
출원번호/일자 1020160117001 (2016.09.12)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1834917-0000 (2018.02.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180308) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.12)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양민양 대한민국 대전광역시 유성구
2 한규효 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이철희 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로**길 **(역삼동) 베리타스빌딩, *-*층(베리타스국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0886510-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.04.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0048765-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0258134-74
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.06.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0557539-95
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0557493-83
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0750678-07
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-1195186-14
9 법정기간연장승인서
2017.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0176365-59
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-1231118-54
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.12.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1231148-13
12 보정요구서
Request for Amendment
2017.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0179502-33
13 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2017.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-1243804-93
14 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.01.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0013339-37
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노 패턴 제조 방법에 있어서,기판 상에 유기금속화합물 잉크층을 형성하는 과정;상기 유기금속화합물 잉크층을 반고상으로 경화시키는 과정;상기 반고상의 유기금속화합물 잉크층에 4-빔 간섭 리소그래피를 이용하여 상기 기판 상에 수직으로 교차하는 레이저를 조사하여 패턴이 형성될 부분을 국부적으로 경화시켜 패턴을 형성하는 과정; 및상기 반고상의 유기금속화합물 잉크층을 제거하여 상기 패턴을 남기는 과정을 포함하되,상기 패턴을 형성하는 과정은, 상기 레이저를 조사하는 시간을 조절함으로써 나노 점 패턴 또는 나노 홀 패턴을 선택적으로 형성하는 과정인 것을 특징으로 하는 나노 패턴 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 레이저의 파장은,상기 유기금속화합물 잉크에 포함된 금속 물질의 특성에 따라 선택되는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 제조 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 패턴은,상기 반고상의 유기금속화합물 잉크층에 직접 입사되는 레이저와 반사되어 입사되는 레이저가 간섭하여 생성된 것임을 특징으로 하는 나노 패턴 제조 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 패턴을 남기는 과정 다음에,상기 패턴이 남아 있는 기판을 가열하는 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 제조 방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 유기금속화합물 잉크는,유기 용매에 은(Ag) 이온이 녹아 있는 구조를 가지고 있고, 상온에서 투명한 액체로 존재하는 은 유기금속화합물 잉크인 것을 특징으로 하는 나노 패턴 제조 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 레이저의 파장은,350 내지 550 nm인 것을 특징으로 하는 나노 패턴 제조 방법
7 7
제 1항에 있어서,상기 유기금속화합물 잉크층을 반고상으로 경화시키는 과정은,상기 유기금속화합물 잉크층을 가열하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 제조 방법
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9 9
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10 10
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11 11
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12 12
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 (EZBARO)나노재료의 광열화학반응을 이용한 차세대 박막 소자 제조 시스템 개발 및 응용(2016)