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적외선 검출회로를 포함하는 기판;상기 기판의 상면에 형성되어 상기 검출회로와 전기적으로 연결되는 금속패드;상기 기판의 상면에 형성되는 반사판;상기 반사판의 상면에 형성되어 상기 반사판을 보호하며, 티타늄 또는 산화실리콘으로 형성되는 보호막;상기 반사판의 상부에 이격되어 형성되고, 입사되는 적외선을 흡수하면 저항이 변화하는 흡수부; 및상기 금속패드의 상부에 형성되어 상기 흡수부를 지지하고, 상기 금속패드와 흡수부를 전기적으로 연결하는 앵커;를 포함하되,상기 흡수부는 하면이 하측으로 휘어진 형태인 것을 특징으로 하는 광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터
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제1항에 있어서, 상기 흡수부는일부 또는 전체가 하측으로 휘어진 것을 특징으로 하는 광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터
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제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 흡수부는적외선을 흡수하여 온도가 변화하는 흡수층,상기 흡수층의 하면에 형성되어 상기 흡수층의 온도의 변화에 따라 저항이 변화하는 저항층,상기 저항층의 하면에 형성되는 제1절연층 및상기 흡수층의 상면에 형성되는 제2절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터
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적외선 검출회로를 포함하는 기판;상기 기판의 상면에 형성되어 상기 검출회로와 전기적으로 연결되는 금속패드;상기 기판의 상면에 형성되는 반사판;상기 반사판의 상부에 이격되어 형성되고, 입사되는 적외선을 흡수하면 저항이 변화하며, 하측으로 휘어진 형태의 흡수부; 및상기 금속패드의 상부에 형성되어 상기 흡수부를 지지하고, 상기 금속패드와 흡수부를 전기적으로 연결하는 앵커;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터
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제5항에 있어서, 상기 흡수부는적외선을 흡수하여 온도가 변화하는 흡수층,상기 흡수층의 하면에 형성되어 상기 흡수층의 온도의 변화에 따라 저항이 변화하는 저항층,상기 저항층의 하면에 형성되는 제1절연층 및상기 흡수층의 상면에 형성되는 제2절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터
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제6항에 있어서, 상기 제1절연층과 제2절연층은서로 두께가 다른 것을 특징으로 하는 광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터
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제6항에 있어서, 상기 제2절연층은중앙부의 두께가 다른 부분보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터
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