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소자 전사방법 및 소자 전사방법을 이용한 전자제품 제조방법

  • 기술번호 : KST2019026087
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 소자가 캐리어 필름 및 기판에 압입되는 압입깊이의 제어를 통해 점착력을 조절하여 소자를 캐리어 필름 또는 기판으로 이동시킴으로써 소자를 기판으로 전사시키는 캐리어 필름, 이를 이용한 소자(device) 전사방법 및 소자 전사방법을 이용한 전자제품 제조방법에 관한 것이다.이를 위해, 본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 베이스 필름 및 제 1 점착층을 포함한다. 제 1 점착층은 상기 베이스 필름의 일면에 형성되고, 전사하고자 하는 소자가 부착된다. 또한, 가압단계, 제 1 점착력 형성단계, 제 2 점착력 형성단계 및 이형단계를 포함한다. 가압단계는 베이스 필름 및 상기 베이스 필름의 일면에 제 1 점착층이 형성된 캐리어 필름과, 기저면 및 상기 기저면의 일면에 형성된 제 2 점착층을 포함하는 기판을 가압하되, 전사하고자 하는 소자가 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층에 부착되어 있다. 제 1 점착력 형성단계는 상기 가압단계에 의하여 상기 소자가 상기 제 1 점착층에 압입되면서 상기 소자와 상기 제 1 점착층 간의 제 1 점착력이 형성된다. 제 2 점착력 형성단계는 상기 가압단계에 의하여 상기 소자가 상기 제 2 점착층에 압입되면서 상기 소자와 상기 제 2 점착층 간의 제 2 점착력이 형성된다. 이형단계는 상기 캐리어 필름을 상기 기판으로부터 이형시킨다.
Int. CL H01L 21/768 (2006.01.01) H01L 21/48 (2006.01.01) H01L 21/447 (2006.01.01)
CPC H01L 21/76817(2013.01) H01L 21/76817(2013.01) H01L 21/76817(2013.01) H01L 21/76817(2013.01)
출원번호/일자 1020160135330 (2016.10.18)
출원인 한국기계연구원, 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록번호/일자 10-1897129-0000 (2018.09.04)
공개번호/일자 10-2018-0042893 (2018.04.27) 문서열기
공고번호/일자 (20180910) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.18)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황보윤 대한민국 대전광역시 유성구
2 최병익 대한민국 대전 서구
3 김재현 대한민국 대전광역시 유성구
4 이학주 대한민국 대전광역시 서구
5 장봉균 대한민국 대전광역시 유성구
6 정연우 대한민국 대전광역시 유성구
7 홍성민 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
2 이재명 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
3 박진호 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
2 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-1011083-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0854016-19
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0174739-17
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-0051485-28
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.01.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0051486-74
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0158565-50
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.03.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0307686-81
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0307685-35
11 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2018.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0057486-28
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0377518-40
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번호 청구항
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베이스 필름 및 상기 베이스 필름의 일면에 제 1 점착층이 형성된 캐리어 필름과, 기저면 및 상기 기저면의 일면에 형성되고 상기 제 1 점착층과 다른 두께를 가지는 제 2 점착층을 포함하는 기판을 가압하되, 전사하고자 하는 소자가 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층에 부착되어 있는 가압단계;상기 가압단계에 의하여 상기 소자가 상기 제 1 점착층에 압입되면서 상기 소자가 상기 제 1 점착층에 압입되는 제 1 압입깊이와 비례하는 크기를 가지는 제 1 점착력이 형성되는 제 1 점착력 형성단계;상기 가압단계에 의하여 상기 소자가 상기 제 2 점착층에 압입되면서 상기 소자가 상기 제 2 점착층에 압입되는 제 2 압입깊이와 비례하는 크기를 가지는 제 2 점착력이 형성되는 제 2 점착력 형성단계;상기 캐리어 필름을 상기 기판으로부터 이형시키는 이형단계;를 포함하며,상기 가압단계에서는, 상기 소자가 상기 제 1 점착층과 상기 제 2 점착층 중 더 얇게 형성된 점착층의 두께까지 압입될 수 있는 임계 가압력보다 큰 가압력이 상기 캐리어 필름과 상기 기판에 가해지며,상기 소자가 상기 제 1 점착층과 상기 제 2 점착층 중 더 두껍게 형성된 점착층에 압입되는 압입깊이가 상기 소자가 상기 제 1 점착층과 상기 제 2 점착층 중 더 얇게 형성된 점착층에 압입되는 압입깊이보다 깊어지며,상기 제 1 압입깊이와 상기 제 2 압입깊이의 상대적인 차이에 의해 상기 소자가 상기 제 1 점착층과 상기 제 2 점착층 사이에서 이동되는 것을 특징으로 하는 소자 전사방법
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제 2 항에 있어서,상기 캐리어 필름은 원통형 롤러에 둘러싸여 배치되며, 상기 가압단계에서 상기 제 1 점착층과 접촉되는 소자의 일면 전체가 균일한 깊이로 압입될 수 있도록 곡선 형상의 표면으로부터 돌출형성되는 평탄돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 전사방법
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제 2 항 또는 제 8 항에 기재된 소자 전사방법을 이용하여 다수의 소자를 평판 상에 전사하여 전자제품을 제조하는 것을 특징으로 하는 전자제품 제조방법
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1 WO2018074841 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2020043780 US 미국 DOCDBFAMILY
2 WO2018074841 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 극한물성시스템 기계 융합기술 (1/3)
2 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 나노소재 응용 고성능 유연소자 기술기반 구축사업 (4/5)