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기판층, 중간층 및 패턴층이 순차적으로 적층되어 이루어지는 복제 스탬프를 제조하기 위한 복제 스탬프 제조장치에 있어서,상기 기판층을 지지하는 지지척;상기 패턴층이 적층된 마스터 기판을 상기 기판층 측으로 가압하는 가압척;상기 기판층과 상기 마스터 기판 사이에 배치되어, 원하는 상기 중간층의 두께와 동일한 두께로 형성되어 상기 기판층에 안착되는 두께조절부와, 상기 두께조절부의 단부로부터 꺾어져 상측으로 연장되게 형성된 연장부를 포함하여, 상기 중간층을 형성하기 위한 중간층 재료의 두께를 조절하기 위한 두께조절부재;상기 지지척의 상면에 상하 방향으로 배치되는 지지봉; 및일단부는 상기 가압척에 결합되고, 타단부는 상기 가압척이 상기 지지척을 향해 하강할 수 있도록 상기 지지봉에 대하여 슬라이딩 가능하게 결합되는 지지바;를 포함하는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조장치
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제1항에 있어서,상기 지지척의 하부에 설치되고, 상기 중간층 재료를 가열하는 히터부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조장치
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제1항에 있어서,상기 지지봉의 하단부에 결합되어 상기 지지봉을 상기 지지척에 안착시키고, 상기 가압척의 하강 시 상기 지지척과 접촉되는 부위를 회동 중심으로 하여 상기 지지봉이 회동 가능하도록 상기 지지척과 접촉되는 부위가 곡면을 가지도록 형성된 안착부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조장치
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제3항에 있어서,상기 지지척은 상기 안착부재가 유격을 가진 상태로 안착될 수 있는 안착홈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조장치
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제1항에 있어서,상기 지지바는 상기 지지봉이 관통 설치되도록 마련된 관통공을 포함하고,상기 지지바는 상기 관통공을 통해 상기 지지봉의 길이 방향을 따라 슬라이딩하면서 상기 가압척과 함께 하강하는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조장치
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제5항에 있어서,상기 지지바는, 상기 마스터 기판 및 상기 패턴층이 상기 두께조절부재에 안착된 이후 상기 지지바를 상기 지지봉에 고정시키기 위한 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조장치
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제6항에 있어서,상기 고정부는,상기 관통공으로부터 돌출 형성된 제1 고정부재; 상기 제1 고정부재로부터 일정간격 이격된 상태로 형성되되, 상기 제1 고정부재와 동일한 형상으로 형성된 제2 고정부재; 및나사체결에 의해 상기 제1 고정부재와 상기 제2 고정부재 사이 간격을 좁힘으로써, 상기 지지바를 상기 지지봉에 고정시키기 위한 고정노브;를 포함하는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조장치
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제1항에 있어서,상기 지지봉은,상기 가압척의 원주방향을 따라 120도 간격으로 3개소 설치되고, 상기 두께조절부재는 상기 지지봉과 이웃하는 지지봉 사이사이에 일정한 간격을 가지고 배치되는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조장치
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제1항에 기재된 복제 스탬프 제조장치를 이용하여 제조되는 복제 스탬프 제조방법에 있어서,a) 상기 마스터 기판의 상면에 상기 패턴층을 형성하는 단계;b) 상기 패턴층의 상면에 상기 중간층을 형성하는 중간층 재료를 도포하는 단계;c) 상기 중간층 재료의 상측에 상기 기판층을 배치하는 단계;d) 상기 마스터 기판, 상기 패턴층, 상기 중간층 재료 및 상기 기판층이 하부에서 상부로 순차적으로 적층된 상태에서 상하가 바뀌도록 하여 상기 지지척과 상기 가압척 사이에 배치하고, 상기 기판층과 상기 마스터 기판 사이에 상기 두께조절부재를 배치하는 단계;e) 상기 가압척의 하중에 의해 상기 가압척이 하강되도록 하여 상기 중간층 재료를 가압하는 단계;f) 상기 마스터 기판 및 상기 패턴층이 상기 두께조절부재에 안착된 이후, 상기 두께조절부재를 제거하고, 상기 지지바를 상기 지지봉에 고정시키는 단계;상기 f) 단계이후, 상기 중간층 재료가 채워지지 않은 영역에 대해 상기 중간층 재료의 추가분을 주입시키는 단계;g) 상기 중간층 재료를 경화시켜 상기 중간층을 형성하는 단계; 및h) 상기 지지척 및 상기 가압척을 제거하고, 상기 패턴층으로부터 상기 마스터 기판을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조방법
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제10항에 있어서,상기 중간층 재료와 상기 중간층 재료의 추가분은 동일한 재질인 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조방법
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제12항에 있어서,상기 기판층은 유리 재질, 상기 중간층은 PDMS(polydimethylsiloxane) 재질, 상기 패턴층은 h-PDMS 또는 X-PDMS 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조방법
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