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기판 상에 강유전물질을 포함하는 졸을 코팅하여 코팅층을 형성하는 단계;상기 코팅층에 나노 임프린트법을 이용하여 패턴을 형성하는 패턴형성단계; 및상기 패턴 상에 자외선을 조사하여 결정형 강유전물질층을 제조하는 경화단계;를 포함하며,상기 결정형 강유전물질층에 포함된 결정은 동일한 방향으로 배열된 결정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 압전소자 제조방법
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제1항에 있어서,상기 패턴은 상기 강유전물질을 포함하는 졸의 전부 또는 일부가 돌출된 형상인 것을 특징으로 하는 유연 압전소자 제조방법
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제1항에 있어서,상기 결정형 강유전물질층의 높이는 30 내지 800 ㎚인 유연 압전소자 제조방법
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제1항에 있어서,상기 강유전물질을 포함하는 졸은 강유전물질을 2 내지 20 중량% 포함하는 것인 유연 압전소자 제조방법
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제1항에 있어서,상기 결정형 강유전물질층은 엑스선 회전 측정에 의한 2θ 값이 22
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제5항에 있어서,상기 결정형 강유전물질층에 있어서, 22
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삭제
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제 1항에 있어서,상기 강유전물질을 포함하는 졸은 티탄산바륨, 티탄산납, 티탄산 지르콘산 납(PZT), 산화아연, 질화알루미늄, 황화카드뮴, 비스무스 철 산화물 및 탄화실리콘에서 선택되는 하나 또는 둘 이상을 포함하는 유연 압전소자 제조방법
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제1항 내지 제6항 및 제8항 중 어느 한 항의 유연 압전소자 제조방법으로 제조된 유연 압전소자
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제9항의 유연 압전소자의 양면에 형성된 전극을 포함하는 압전 나노발전기
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