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소정 두께의 후막형 CVD(Chemecal Vapor Deposition) 다이아몬드(110), 및 상기 CVD 다이아몬드의 상면과 하면에 각각 형성되는 상부 전극(121) 및 하부 전극(122)을 포함하는 CVD 다이아몬드 소자(100);상기 CVD 다이아몬드 소자(100)가 장착되며, 절연체로 형성되는 홀더(200);내부에 일정 공간이 형성되어 상기 CVD 다이아몬드 소자(100) 및 상기 홀더(200)를 수용하며, 상기 내부 공간을 외부로부터 밀폐시키는 하우징(300); 및상기 상부 전극(121) 및 하부 전극(122)에 각각 연결되어 바이어스 전압을 인가하며, 상기 하우징(300)을 관통하여 외부로 연장 형성되는 MI 케이블 신호선(400)을 포함하여 이루어지며,상기 상부 전극(121) 및 하부 전극(121)은 CVD 다이아몬드(110)의 둘레 영역을 제외한 중앙에 형성되는 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드를 이용한 조사 시험용 중성자 검출기
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제 1항에 있어서,상기 상부 전극(121)은 및 상기 하부 전극(122)은,가돌리늄(Gd)으로 이루어져, 에너지 변환을 위한 변환 박막의 역할도 겸하는 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드를 이용한 조사 시험용 중성자 검출기
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제 1항에 있어서,상기 하부 전극(122)은,상기 상부 전극(121)보다 면적이 작은 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드를 이용한 조사 시험용 중성자 검출기
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제 1항에 있어서,상기 하우징(300)은,내부에 일정 공간이 형성되되 양단이 개방되는 외통(310);상기 외통(310)의 일단에 체결되며, 상기 신호선(400)이 관통되는 홀(321)이 형성되는 상단 플러그(320); 및상기 외통(310)의 타단에 체결되는 하단 플러그(330);를 포함하며,상기 외통(310)의 내부 공간이 외부로부터 밀폐되도록 모든 연결 부분이 용접 밀봉되는 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드를 이용한 조사 시험용 중성자 검출기
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제 1항에 있어서,상기 하우징(300)에는 외부 가스 유입을 위한 핀 홀(340)이 형성되되,상기 핀 홀(340)은 상기 하우징 내부에 가스 충전 후 밀봉되는 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드를 이용한 조사 시험용 중성자 검출기
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a) 소정 두께의 후막형 CVD 다이아몬드가 준비되는 단계;b) 마스크 집합체를 이용하여 상기 CVD 다이아몬드의 상면과 하면에 각각 전극이 증착 형성된 CVD 다이아몬드 소자가 제작되는 단계;c) 상기 CVD 다이아몬드 소자가 절연체로 이루어진 홀더에 장착되는 단계;d) 상기 각 전극에 바이어스 전압 인가를 위한 신호선이 연결되는 단계;e) 상기 홀더가 하우징 내부 공간에 수용된 후 상기 공간이 외부로부터 밀폐되는 단계; 및f) 상기 하우징에 형성된 핀 홀을 통해 상기 하우징 내부 공간이 가스 충전된 후 상기 핀 홀이 밀봉되는 단계;를 포함하여 이루어지며,상기 마스크 집합체는,상기 CVD 다이아몬드가 고정되도록 상기 CVD 다이아몬드의 크기에 대응되는 제 1관통 홀이 적어도 하나 이상 형성된 중간 마스크;상기 제 1관통 홀보다 작은 크기의 제 2관통 홀이 적어도 하나 이상 형성된 상부 마스크;상기 제 1관통 홀보다 작은 크기의 제 3관통 홀이 적어도 하나 이상 형성된 하부 마스크; 및상기 중간 마스크, 상부 마스크 및 하부 마스크가 놓여지는 마스크 지지대;를 포함하여 이루어지는 CVD 다이아몬드를 이용한 조사 시험용 중성자 검출기 제조방법
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제 6항에 있어서,상기 b)단계는,b-1) 상기 중간 마스크의 상기 제 1관통 홀에 상기 CVD 다이아몬드가 고정되는 단계;b-2) 상기 제 2관통 홀이 상기 CVD 다이아몬드의 상면 중앙에 위치되도록 상기 상부 마스크가 상기 중간 마스크 상부에 배치되는 단계;b-3) 상기 제 3관통 홀이 상기 CVD 다이아몬드의 하면 중앙에 위치되도록 상기 하부 마스크가 상기 중간 마스크 하부에 배치되는 단계;b-4) 상기 3개의 마스크가 마스크 지지대 상에 놓여져 증착 장비 내로 투입되며, 전도성이 있는 물질이 상기 제 2관통 홀을 통해 상기 CVD 다이아몬드의 상면에 증착되어 상부 전극이 형성되는 단계; 및b-5) 상기 3개의 마스크가 상하 반전된 상태로 마스크 지지대 상에 놓여져 증착 장비 내로 투입되며, 전도성이 있는 물질이 상기 제 3관통 홀을 통해 상기 CVD 다이아몬드의 하면에 증착되어 하부 전극이 형성되는 단계;를 포함하여 이루어지는 CVD 다이아몬드를 이용한 조사 시험용 중성자 검출기 제조방법
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