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Coffee-Ring Effect를 활용할 수 있는 가스 센서 플랫폼 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2019033831
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가스 센서 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 Coffee-Ring Effect를 이용하여 감지물질이 코팅, 형성될 수 있도록 하는 가스 센서 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 일 실시예에 따르면, 서브스트레이트에 센서 전극 패턴베이스를 형성하는 패턴베이스 형성단계; 상기 패턴베이스의 상면의 동일 평면상에 센서 전극 패턴과 마이크로 전열기 전극 패턴을 형성하는 패턴 형성단계; 형성된 패턴 위에 베이스절연막을 형성한 후, 감지물질이 코팅되기 위한 노출부를 형성하기 위하여, 상기 베이스절연막 상면의 설정된 위치를 식각 처리하는 노출부 형성단계; 상기 노출부에 감지물질을 포함한 액적을 드랍 코팅한 후, 건조함으로써 Coffee-ring effect에 의하여 드랍된 위치의 가장자리 영역에 감지물질을 코팅하는 감지물질 코팅단계를 포함하는 Coffee-Ring Effect를 이용한 가스센서 제조 방법을 제공한다.
Int. CL G01N 25/36 (2006.01.01) G01N 25/32 (2006.01.01) G01N 27/407 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/28 (2006.01.01) H01L 21/306 (2006.01.01) H01L 21/311 (2006.01.01) C23C 16/34 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01)
CPC G01N 25/36(2013.01) G01N 25/36(2013.01) G01N 25/36(2013.01) G01N 25/36(2013.01) G01N 25/36(2013.01) G01N 25/36(2013.01) G01N 25/36(2013.01) G01N 25/36(2013.01) G01N 25/36(2013.01)
출원번호/일자 1020160063753 (2016.05.24)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1786803-0000 (2017.10.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.05.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종백 대한민국 경기도 고양시 일산동구
2 강윤성 대한민국 부산광역시 동래구
3 이경훈 대한민국 서울특별시 서대문구
4 조병화 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤병국 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)
2 이영규 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0500177-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0010765-93
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0047773-35
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0274977-64
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0351411-85
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0351410-39
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0736507-33
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0585338-62
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.09.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0900860-94
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0900859-47
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0679956-95
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번호 청구항
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서브스트레이트에 센서 패턴베이스를 형성하는 패턴베이스 형성단계;상기 패턴베이스 상면의 동일 평면상에 센서 전극 패턴과 마이크로 전열기 전극 패턴을 형성하는 패턴 형성단계;형성된 패턴 위에 베이스절연막을 형성한 후, 감지물질이 코팅되기 위한 노출부를 형성하기 위하여, 상기 베이스절연막 상면의 설정된 위치를 식각 처리하는 노출부 형성단계;상기 노출부에 감지물질을 포함한 액적을 드랍 코팅한 후, 건조함으로써 Coffee-ring effect에 의하여 드랍된 위치의 가장자리 영역에 감지물질을 코팅하는 감지물질 코팅단계;를 포함하는 Coffee-Ring Effect를 활용 가능한 가스센서 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 센서 패턴베이스는 실리콘 질화막을 화학기상증착법(CVD)으로 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 Coffee-Ring Effect를 활용 가능한 가스센서 제조 방법
9 9
제7항에 있어서, 상기 마이크로 전열기 전극 패턴과 센서 전극 패턴은 백금을 패턴하여 형성하는 것을 특징으로 하는 Coffee-Ring Effect를 활용 가능한 가스센서 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 베이스절연막은 실리콘 산화막을 화학기상증착법(CVD)으로 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 Coffee-Ring Effect를 활용 가능한 가스센서 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 마이크로 전열기 전극 패턴을 절연하는 히터절연막(60)을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 Coffee-Ring Effect를 활용 가능한 가스센서 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 패턴베이스의 하면에 마스크를 패턴한 후 습식 식각처리하는 공중 부유형 가스 센서 플랫폼을 형성하는 단계를 더 포함하는 Coffee-Ring Effect를 활용 가능한 가스센서 제조 방법
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1 산업통상자원부 울산과학기술원 산업기술혁신사업 [RCMS]울산과학기술대학교/공중부유형 다종 나노소자 기반 초소형 유해가스 센서 시스템 기술개발(1/4)
2 환경부 연세대학교 산학협력단 환경기술개발사업 개인 환경의 초미세먼지(PM2.5)와 TVOC 동시 분석 센서모듈 개발(2/2)