맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

나노크랙을 포함하는 고 민감도, 고 변형율 측정센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2019034659
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 비전도성이며 신축성 소재로 구성되는 제1 레이어 및 제1 레이어상에 전도성 금속으로 구비되며, 100%이상의 변형률을 측정할 수 있도록 그레인(Grain) 크기가 소정범위 내로 구성되며, 신장시 발생되는 크랙의 밀도가 소정범위 내로 구성되는 제2 레이어를 포함하는 나노크랙을 포함하는 고 변형률 측정센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 나노 크랙을 이용한 고 민감도, 고 변형율 측정센서, 그 제조방법 및 변형율 측정 시스템을 이용하면, 저렴하게 생산이 가능하고, 미세한 변화량의 측정이 가능하며, 변형율의 측정범위가 극대화 될 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G01B 7/16 (2006.01.01) G01L 1/22 (2006.01.01) G01B 5/30 (2006.01.01) H01L 29/84 (2006.01.01)
CPC G01B 7/18(2013.01) G01B 7/18(2013.01) G01B 7/18(2013.01) G01B 7/18(2013.01)
출원번호/일자 1020170056371 (2017.05.02)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1946150-0000 (2019.01.30)
공개번호/일자 10-2018-0122183 (2018.11.12) 문서열기
공고번호/일자 (20190208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.05.02)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 임근배 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 조성진 대한민국 대전광역시 유성구
3 전형국 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 홍성경 대한민국 경기도 파주시 가온로 **, ***동
5 김민서 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인비전 특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, *층(대치동, 동산빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0429319-33
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0722861-19
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-0767602-99
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0054290-62
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0257714-12
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-0583240-38
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.06.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0583241-84
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0736860-16
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2018-1076897-89
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-1194513-18
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2018.11.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-1194514-53
13 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2018.12.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0867394-80
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
비전도성이며 신축성 소재로 구성되는 제1 레이어; 및상기 제1 레이어상에 전도성 금속으로 구비되며, 측정 범위에 따라 그레인(Grain) 크기가 소정범위 내로 구성되며, 신장시 발생되는 크랙의 밀도가 소정범위 내로 구성되는 제2 레이어를 포함하는 나노크랙을 포함하며,상기 제2 레이어는 상기 그레인 크기가 2nm 내지 13nm로 형성될 수 있도록 제1 레이어상에 백금을 스퍼터링으로 증착시켜 25nm 이하의 두께로 생성되는 것을 특징으로 하는 나노크랙을 포함하는 고 변형률 측정센서
2 2
제1 항에 있어서,상기 제2 레이어는 상기 제1 레이어상에서 증착시켜 생성되며, 상기 제1 레이어상에서 그레인 크기가 커지면서 생성되는 것을 특징으로 하는 나노크랙을 포함하는 고 변형률 측정센서
3 3
제2 항에 있어서,상기 제2 레이어는 상기 그레인 크기가 소정범위 내로 구성되며, 상기 크랙의 밀도가 소정범위 내로 구성될 수 있도록 상기 제1 레이어상에서 증착되는 두께를 조절하여 생성되는 것을 특징으로 하는 나노크랙을 포함하는 고 변형률 측정센서
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제2 항에 있어서,상기 크랙의 밀도는 상기 크랙의 폭이 5*10-8m/개 이하인 것을 특징으로 하는 나노크랙을 포함하는 고 변형률 측정센서
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
신축성 비전도성 재질로 구성되는 제1 레이어를 형성시키는 단계;제1 레이어상에 스퍼터링을 이용하여 그레인 크기가 소정범위내로 이루어 질 수 있도록 두께를 조절하여 제2 레이어를 형성시키는 단계; 및상기 제2 레이어를 신장시켜 복수의 나노크랙을 발생시키는 단계를 포함하며,상기 제2 레이어를 형성시키는 단계는 그레인 크기가 2nm 내지 13nm 로 형성될 수 있도록 제1 레이어 상에 백금을 스퍼터링으로 증착시켜 25nm 이하의 두께로 형성키는 나노크랙을 포함하는 고 변형률 측정센서의 제조방법
10 10
삭제
11 11
제9 항에 있어서,상기 나노크랙을 발생시키는 단계는 상기 나노크랙의 폭을 5*10-8m 이하로 형성시키는 것을 특징으로 하는 나노크랙을 포함하는 고 변형률 측정센서의 제조방법
12 12
제9 항에 있어서,상기 그레인 크기를 조절할 수 있도록 상기 스퍼터링의 온도 또는 압력 중 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 나노크랙을 포함하는 고 변형률 측정센서의 제조방법
13 13
제9 항에 있어서,상기 제2 레이어의 그레인 크기가 상기 소정범위내로 형성될 수 있도록 후처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노크랙을 포함하는 고 변형률 측정센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101914373 KR 대한민국 FAMILY
2 KR101966519 KR 대한민국 FAMILY
3 WO2018203658 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 포항공과대학교 선도연구센터육성사업(이공학-SRC/ERC) 국부투사영상과 햅틱기반 수술용 로봇기술 연구센터
2 과학기술정보통신부 포항공과대학교 중견연구자지원사업(도약연구_도전) 마이크로/나노 구조를 이용한 신개념 바이오센서의 기반기술 개발과 바이오센싱 플랫폼 제작
3 산업통상자원부 포항공과대학교산학협력단 로봇산업융합핵심기술사업 환자 맞춤형 각막이식을 위한 50 μm급 적층 구조의 인공각막 제조, 정밀 검사 및 수술 보조 로봇용 핵심기술 개발