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고속 코팅용 진공 증착 장치

  • 기술번호 : KST2019039378
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요약 본 발명은 내부에 수용 공간이 마련된 진공 챔버; 상기 수용 공간에 배치되어 코팅 물질을 증발시키는 증발 도가니; 및 상기 수용 공간에 배치되는 싸이클론 필터;를 포함하며, 상기 싸이클론 필터는 상기 코팅 물질의 증발시 발생하는 증기와 조대 입자를 분리하는 고속 코팅용 진공 증착 장치에 관한 것이다. 이에 따라, 상기 고속 코팅용 진공 증착 장치는 고속 코팅에서 발생되는 조대 입자를 제거하면서도 싸이클론 필터 출구와 증기 분출구 사이에 배플을 삽입하여 증기의 회전을 방지함으로써, 코팅 균일도가 우수한 코팅층을 얻을 수 있다.
Int. CL C23C 14/24 (2006.01.01) C23C 14/54 (2018.01.01) C23C 14/02 (2006.01.01)
CPC C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01)
출원번호/일자 1020150185053 (2015.12.23)
출원인 주식회사 포스코
등록번호/일자 10-1777777-0000 (2017.09.06)
공개번호/일자 10-2017-0075422 (2017.07.03) 문서열기
공고번호/일자 (20170926) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.23)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 남경훈 대한민국 전라남도 광양시 금호로 *
2 김상준 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 고경필 대한민국 전라남도 순천시 왕지*길 **
4 김태엽 대한민국 전라남도 광양시 가야로 ***
5 엄문종 대한민국 전라남도 광양시 금호로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-1264272-60
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0053036-19
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2016-0881809-49
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2016-0051249-44
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0027882-45
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-0236698-40
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.03.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0236697-05
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0494669-57
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.08.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0776208-13
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0776207-78
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0622532-26
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5077322-80
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5200802-82
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5204006-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 수용 공간이 마련된 진공 챔버;상기 수용 공간에 배치되어 코팅 물질을 증발시키는 증발 도가니; 및상기 수용 공간에 배치되어 상기 코팅 물질의 증발시 발생하는 증기와 조대 입자를 분리하는 싸이클론 필터; 및상기 싸이클론 필터를 통해 분리되어 배출되는 상기 증기의 회전을 방지하는 배플을 포함하고, 상기 배플에 의해 회전이 방지된 상기 증기는 피도금체에 분사되는 고속 코팅용 진공 증착 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 배플은 서로 이격되게 배치되는 복수 개의 수평 플레이트와 상기 수평 플레이트에 수직하게 서로 이격되어 배치되는 복수 개의 수직 플레이트를 포함하며, 상기 수평 플레이트와 상기 수직 플레이트는 일체로 형성되는 고속 코팅용 진공 증착 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 배플은 가상의 선(C)를 기준으로 원주 방향을 따라 서로 이격되게 배치되는 복수 개의 플레이트로 형성되는 고속 코팅용 진공 증착 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 증발 도가니와 상기 싸이클론 필터 사이에 배치되는 연결부를 더 포함하는 고속 코팅용 진공 증착 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 싸이클론 필터에 의해 분리된 증기를 상기 피도금체에 분사하도록 유도하는 증기유도부를 더 포함하는 고속 코팅용 진공 증착 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 싸이클론 필터는, 싸이클론 필터 본체와 상기 싸이클론 필터 본체의 하부에 배치되는 포집부를 포함하며, 상기 싸이클론 필터 본체의 측면에는 입구가 형성되고 상기 싸이클론 필터의 상부에는 출구가 형성되는 고속 코팅용 진공 증착 장치
8 8
제7항에 있어서,코팅 물질을 증발시키는 증발 도가니에 의해 발생하는 증기와 조대 입자는 상기 입구를 통해 상기 싸이클론 필터 내부로 이동되고, 싸이클론 방식에 의해 상기 증기는 상기 출구로 배출되며, 상기 조대 입자는 포집부에 포집되는 고속 코팅용 진공 증착 장치
9 9
제7항에 있어서,상기 싸이클론 필터 본체의 내부 직경(D1)을 1이라 할 때, 상기 출구의 직경(D2)은 0
10 10
제9항에 있어서,상기 싸이클론 필터 본체의 높이(H1)는 0
11 11
제1항에 있어서,상기 수용 공간을 기 설정된 온도로 가열하는 가열 장치를 더 포함하는 고속 코팅용 진공 증착 장치
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1 CN108474103 CN 중국 FAMILY
2 EP03396014 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP30537591 JP 일본 FAMILY
4 US20190015845 US 미국 FAMILY
5 WO2017111384 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN108474103 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 EP3396014 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP3396014 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 JP2018537591 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 US2019015845 US 미국 DOCDBFAMILY
6 WO2017111384 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 주식회사 포스코 WPM사업 Zn-Mg 및 Zn-free형 Al-Mg계 표면처리 강판 소재