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복수개의 단위 센서가 가로 및 세로 방향으로 반복 배열되어 형성된 다단계 촉각감지 센서로서, 각각의 상기 단위 센서는, 제1 방향을 따라 서로 나란히 배열된 복수개의 상부 전극(11)이 하부 표면에 형성된 상부 기판(10); 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 서로 나란히 배열된 복수개의 하부 전극(21)이 상부 표면에 형성된 하부 기판(20); 상기 상부 기판(10)과 하부 기판(20) 사이에 개재되어 상기 상부 전극(11)과 하부 전극(21)을 이격시키고, 상기 상부 전극(11)과 하부 전극(21)이 교차하는 영역마다 홀(31)이 형성된 스페이서(30); 및 각각의 상기 홀(31)의 중앙에 위치하며 상기 상부 전극(11)과 하부 전극(21) 사이를 이격시키는 도트(33);를 포함하고, 복수개의 상기 홀의 평면 형상과 면적이 모두 동일하고, 각 홀(31)마다 위치하는 각각의 상기 도트는 홀을 가로지르는 띠 형상 또는 십자 형상이 하나 이상 중첩된 형상을 갖되 각 홀(31)마다 상기 띠 형상 또는 십자 형상의 개수가 서로 상이하며,상기 스페이서와 도트를 형성할 때, 형상과 면적이 동일한 복수개의 홀을 구비한 스페이서를 제작하고 그 후 다단계 촉각감지 센서의 압력 측정 범위에 따라 각 홀에 형성할 상기 띠 형상 또는 십자 형상의 개수를 결정하여 도트를 형성한 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 도트의 높이가 상기 스페이서의 높이 보다 작은 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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제 1 항에 있어서, 복수개의 상기 홀의 평면 형상이 폭이 동일한 사각형 형상인 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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제 1 항에 있어서, 복수개의 상기 홀의 평면 형상이 크기가 동일한 원 또는 다각형 형상인 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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제 1 항에 있어서, 각각의 상기 도트의 띠 형상 또는 십자 형상의 양 단부가 상기 스페이서에 물리적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 상부 기판(10)의 상부에 위치하고 상기 홀(31)이 위치하는 영역마다 상기 상부 기판(10)을 향해 돌출된 범퍼(41)를 구비한 범퍼부(40)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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제 6 항에 있어서, 복수개의 상기 범퍼의 크기가 모두 동일한 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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제 6 항에 있어서, 복수개의 상기 범퍼가 반구형 또는 부분 구형 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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복수개의 단위 센서가 가로 및 세로 방향으로 반복 배열되어 형성된 다단계 촉각감지 센서로서, 각각의 상기 단위 센서는, 제1 방향을 따라 서로 나란히 배열된 복수개의 상부 전극(11)이 하부 표면에 형성된 상부 기판(10); 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 서로 나란히 배열된 복수개의 하부 전극(21)이 상부 표면에 형성된 하부 기판(20); 상기 상부 기판(10)과 하부 기판(20) 사이에 개재되어 상기 상부 전극(11)과 하부 전극(21)을 이격시키고, 상기 상부 전극(11)과 하부 전극(21)이 교차하는 영역마다 홀(31)이 형성된 스페이서(30); 및 각각의 상기 홀(31)에 위치하며 상기 상부 전극(11)과 하부 전극(21) 사이를 이격시키는 하나 이상의 도트로 이루어진 도트군(36);를 포함하고,복수개의 상기 홀의 평면 형상과 면적이 모두 동일하며, 복수개의 상기 도트의 각각의 면적도 모두 동일하되 상기 도트군(36)이 포함하는 도트의 개수가 각각의 상기 홀(31)마다 서로 상이하며,상기 스페이서와 도트를 형성할 때, 형상과 면적이 동일한 복수개의 홀을 구비한 스페이서를 제작하고 그 후 다단계 촉각감지 센서의 압력 측정 범위에 따라 각 홀의 도트군에 포함할 도트의 개수를 결정하여 도트군을 형성한 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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제 9 항에 있어서, 상기 도트의 높이가 상기 스페이서의 높이 보다 작은 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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제 9 항에 있어서, 복수개의 상기 홀의 평면 형상이 폭이 동일한 사각형 형상이고, 복수개의 상기 도트군의 각 도트의 평면 형상이 폭이 서로 상이한 원 형상인 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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제 9 항에 있어서, 상기 상부 기판(10)의 상부에 위치하고 상기 홀(31)이 위치하는 영역마다 상기 상부 기판(10)을 향해 돌출된 범퍼(41)를 구비한 범퍼부(40)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단계 촉각감지 센서
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