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부식 및 전기적 특성을 향상시킨 프로브카드 니들

  • 기술번호 : KST2020001025
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 부식 및 전기적 특성을 향상시킨 프로브카드 니들 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 텅스텐 또는 구리-베릴륨으로 구성되는 니들; 상기 니들 표면에 니켈로 도금된 제1 도금층; 상기 제1 도금층 표면에 니켈, 금 및 백금으로 구성된 군으로부터 선택된 어느 한 종으로 도금된 제2 도금층; 및, 상기 제2 도금층 표면에 질화 알루미늄(aluminium nitride; AlN)이 포함된 폴리 이미드아미드[Poly(imide-amide)]로 코팅된 절연코팅층;을 포함하는 프로브 카드 니들 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 프로브카드 니들은 가늘어진 프로브 카드 니들의 열 부식성을 막고 전기전도성을 향상시키며, 절연 및 방열 효과를 증대시켜 프로브카드의 부식에 따른 신뢰도 저하의 문제를 해결할 수 있다.
Int. CL G01R 1/067 (2006.01.01) G01R 1/073 (2006.01.01) G01R 3/00 (2006.01.01) G01R 31/28 (2006.01.01)
CPC G01R 1/06761(2013.01) G01R 1/06761(2013.01) G01R 1/06761(2013.01) G01R 1/06761(2013.01) G01R 1/06761(2013.01)
출원번호/일자 1020180123711 (2018.10.17)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-2072634-0000 (2020.01.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20200203) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.10.17)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송신애 서울특별시 서초구
2 김기영 경기도 부천시 원미구
3 임성남 경기도 안산시 단원구
4 김준홍 서울특별시 구로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노경규 대한민국 서울시 서초구 반포대로**길 ** 매강빌딩 *층(에이치앤에이치국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-1022692-27
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.01.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0094999-85
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0661724-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.11.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1178842-83
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-1178841-37
7 등록결정서
Decision to grant		 2020.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0036164-86
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번호 청구항
1 1
텅스텐 또는 구리-베릴륨으로 구성되는 니들;상기 니들 표면에 니켈로 도금되고, 0
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 도금층의 니켈 도금은 스트라이크(strike) 도금으로 수행하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 니들
3 3
제1항에 있어서,상기 제2 도금층의 도금은 무전해 도금, 또는 무전해 및 전해 도금으로 수행하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 니들
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
프로브 카드에 사용되는 프로브 카드 니들의 제조방법에 있어서,텅스텐 또는 구리-베릴륨으로 구성되는 니들을 제조하는 단계;상기 니들 표면에 니켈로 도금하여 0
7 7
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 프로브 카드 니들을 포함하는 프로브 카드
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술연구원 수요기반생산기술실용화사업중소중견기업 타킷형 육성 생산기술개발사업 주문형 비메모리 반도체 웨이퍼칩 검사용 고성능 카드 제조 기술 개발