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기능성 박막 형상화 제조 방법 및 이를 통해 제조된 전자 소자

  • 기술번호 : KST2020003107
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기능성 박막 형상화 제조 방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 기능성 고분자 박막을 배치하는 단계; 상기 기능성 고분자 박막 상에 점착성 필름을 합착하는 단계; 상기 점착성 필름을 형상에 따라 물리적으로 커팅하는 단계; 상기 커팅 된 점착성 필름의 일부를 물리적으로 제거하여 제거하고자 하는 영역의 기능성 고분자 박막을 노출하는 단계; 식각 공정을 이용하여 상기 제거하고자 하는 영역의 기능성 고분자 박막을 제거하는 단계; 상기 식각영역 외의 점착성 필름을 제거하는 단계;를 포함하는 기능성 박막 형상화 제조 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 21/78 (2006.01.01) H01L 21/3065 (2006.01.01) H01L 21/768 (2006.01.01)
CPC H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01) H01L 21/027(2013.01)
출원번호/일자 1020180107715 (2018.09.10)
출원인 동국대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0029675 (2020.03.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.09.10)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 중구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노용영 대전광역시 유성구
2 류기성 서울특별시 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정연 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 *** *층(양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)
2 강일신 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층 혜산빌딩(양재동)(시공특허법률사무소)
3 백두진 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-0896271-06
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.16 수리 (Accepted) 4-1-2019-5163486-33
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.09.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0010410-94
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0103574-42
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0343154-06
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.04.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0343144-49
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0742601-53
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2020-1275271-34
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2020-1275256-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 기능성 고분자 박막을 배치하는 단계;상기 기능성 고분자 박막 상에 점착성 필름을 합착하는 단계;상기 점착성 필름을 형상에 따라 물리적으로 커팅하는 단계;상기 커팅 된 점착성 필름의 일부를 물리적으로 제거하여 제거하고자 하는 영역의 기능성 고분자 박막을 노출하는 단계;식각 공정을 이용하여 상기 제거하고자 하는 영역의 기능성 고분자 박막을 제거하는 단계;상기 식각영역 외의 점착성 필름을 제거하는 단계;를 포함하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 기판 상에 기능성 고분자 박막을 배치하는 단계에서 상기 기능성 고분자는 전도성 고분자인 것을 특징하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
3 3
제2항에 있어서상기 전도성 고분자는 PEDOT:PSS를 기반으로 하는 것을 특징으로 하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 기판 상에 기능성 고분자 박막을 배치하는 단계에서상기 기능성 고분자는 반도체성 고분자인 것을 특징으로 하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 반도체성 고분자는 DPP계열, NDI계열, 아이소 인디고(Isoindigo)계열, 폴리 사이오펜(Polythiophene)계열, 벤조사이아 다이아졸(BT)계열, 사이노 사이오펜(TT, Thieno Thiophene)계열을 기반으로 하는 것을 특징으로 하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
6 6
제1항에 있어서 상기 기판 상에 기능성 고분자 박막을 배치하는 단계에서 상기 기능성 고분자는 절연체성 고분자인 것을 특징하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
7 7
제6항에 있어서상기 절연체성 고분자는 PVP, PMMA, PVA, PS, PE, PVDF-based, cytop 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
8 8
제1항에 있어서 상기 기능성 고분자 박막 상에 점착성 필름을 합착하는 단계에서상기 점착성 필름은 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP), 폴리스타일렌(PS), 폴리염화비닐(PVC), 폴리우레탄(PU) 또는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 중 하나인 것을 특징으로 하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
9 9
제8항에 있어서 상기 점착성 필름은 실리콘 기반의 점착층을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
10 10
제1항에 있어서,상기 점착성 필름을 형상에 따라 물리적으로 커팅하는 단계에서상기 점착성 필름은 커팅 플로터, 레이저 커팅 또는 목형 커팅 중 하나를 이용하여 물리적으로 커팅하는 것을 특징으로 하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
11 11
제1항에 있어서,상기 식각 공정을 이용하여 제거하고자 하는 영역의 기능성 고분자 박막을 제거하는 단계에서상기 식각 공정은 산소플라즈마(O2), 레이져 중 하나 이상의 공정을 이용하는 것을 특징으로 하는 기능성 박막 형상화 제조 방법
12 12
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 기능성 박막 형상화 제조 방법으로 제조된 기능성 고분자층을 포함한 기능성 박막 형상화 제조 방법을 이용하여 제조된 기능성 고분자 층을 포함한 전자 소자
13 13
제12항에 있어서,상기 전자소자는 유기박막 트랜지스터(OTFT), 유기발광다이오드(OLED), 유기포토다이오드(OPD), 유기태양전지(OPV) 및 센서 중 하나인 것을 특징으로 하는 기능성 박막 형상화 제조 방법을 이용하여 제조된 기능성 고분자 층을 포함한 전자 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 동국대학교 글로벌프론티어지원 모바일 헬스케어용 인쇄형 센서 및 회로 개발
2 미래창조과학부 동국대학교 이공분야기초연구사업 / 전략과제 신개념 나노 복합반도체를 통한 고성능 환경 및 적외선 센서 개발