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멀티 비트 수직 자기 터널링 접합에 기반한 메모리 소자

  • 기술번호 : KST2020008785
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합을 포함하는 메모리 소자를 개시한다. 메모리 소자에 구비되는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합은 상부 전극과 하부전극 사이에 적층 형성되는 상부 합성 교환 반강자성층, 고정층, 하부 이중 자유층 및 상부 자유층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 43/08 (2006.01.01) H01L 43/02 (2006.01.01) H01L 43/10 (2006.01.01)
CPC H01L 43/08(2013.01) H01L 43/08(2013.01) H01L 43/08(2013.01)
출원번호/일자 1020190140529 (2019.11.05)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2117393-0000 (2020.05.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20200601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.11.05)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재근 경기도 성남시 분당구
2 백종웅 경기도 성남시 수정구
3 아시바케이 서울특별시 송파구
4 최진영 서울특별시 강서구
5 박미리 인천광역시 남동구
6 이현규 서울특별시 관악구
7 전한솔 서울특별시 성동구
8 정선화 서울특별시 은평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2019-1135509-42
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-1142880-20
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.11.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.09 수리 (Accepted) 9-1-2019-0056558-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.12.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0911506-19
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.02.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0165113-14
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-0165096-14
8 등록결정서
Decision to grant
2020.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0258402-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부 전극과 하부전극 사이에 적층 형성되는 상부 합성 교환 반강자성층, 고정층, 하부 이중 자유층 및 상부 자유층을 포함하고,상기 하부 이중 자유층 및 상기 상부 자유층의 자화 방향에 따라 제1 내지 제4 저항 상태 중 어느 하나의 저항 상태를 나타내는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1 저항 상태는 상기 상부 합성 교환 반강자성층 및 상기 고정층의 자화 방향과 상기 하부 이중 자유층의 자화 방향이 평행(parallel)하고 상기 하부 이중 자유층과 상기 상부 자유층의 자화 방향이 평행할 때 나타나는 저항 상태인 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
4 4
제1항에 있어서, 상기 제2 저항 상태는 상기 상부 합성 교환 반강자성층 및 상기 고정층의 자화 방향과 상기 하부 이중 자유층의 자화 방향이 반평행(anti-parallel)하고 상기 하부 이중 자유층과 상기 상부 자유층의 자화 방향이 평행할 때 나타나는 저항 상태이고,상기 제3 저항 상태는 상기 상부 합성 교환 반강자성층 및 상기 고정층의 자화 방향과 상기 하부 이중 자유층의 자화 방향이 평행하고 상기 하부 이중 자유층과 상기 상부 자유층의 자화 방향이 반평행할 때 나타내는 저항 상태이며, 상기 제4 저항 상태는 상기 상부 합성 교환 반강자성층 및 상기 고정층의 자화 방향과 상기 하부 이중 자유층의 자화 방향이 반평행하고 상기 하부 이중 자유층과 상기 상부 자유층의 자화 방향이 반평행할 때 나타내는 저항 상태인멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
5 5
제1항에 있어서, 상기 어느 하나의 저항 상태는 외부로부터 인가되는 자기장의 크기가 기설정된 제1 임계값 내지 기설정된 제2 임계값의 범위에서 스윕(sweep)되면, 상기 제2 저항상태, 상기 제4 저항상태, 상기 제1 저항상태 및 상기 제3 저항상태의 순서로 순차적으로 스위칭되는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
6 6
제1항에 있어서, 상기 고정층과 상기 하부 이중 자유층 사이에 형성되는 하부 터널 베리어층 및 상기 하부 이중 자유층과 상기 상부 자유층 사이에 형성되는 상부 터널 베리어층을 더 포함하는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
7 7
제1항에 있어서, 상기 하부 이중 자유층은 적층 형성되는 제1 하부 자유층, 상부 분할층 및 제2 하부 자유층을 포함하는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
8 8
제1항에 있어서, 상기 상부 합성 교환 반강자성층의 하부에 형성되는 하부 합성 교환 반강자성층을 더 포함하는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
9 9
제8항에 있어서, 상기 하부 합성 교환 반강자성층과 상기 상부 합성 교환 반강자성층 사이에 형성되는 하부 분할층 및 상기 상부 합성 교환 반강자성층과 상기 고정층 사이에 구비되는 연결층을 더 포함하는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
10 10
상부 전극과 하부전극 사이에 적층 형성되는 상부 합성 교환 반강자성층, 고정층, 하부 이중 자유층 및 상부 다중 자유층을 포함하고,상기 상부 다중 자유층은 적층 형성되는 제1 상부 자유층, 연결층 및 제2 상부 자유층을 포함하고,상기 제2 상부 자유층은 [Co/Pt]b 기반의 다층 구조(여기서, b는 양의 정수)로 형성되며,상기 하부 이중 자유층 및 상기 상부 다중 자유층의 자화 방향에 따라 제1 내지 제4 저항 상태 중 어느 하나의 저항 상태를 나타내는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
11 11
삭제
12 12
제10항에 있어서, 상기 제1 저항 상태는 상기 상부 합성 교환 반강자성층 및 상기 고정층의 자화 방향과 상기 하부 이중 자유층의 자화 방향이 평행(parallel)하고 상기 하부 이중 자유층과 상기 상부 다중 자유층의 자화 방향이 평행할 때 나타나는 저항 상태인멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
13 13
제10항에 있어서, 상기 제2 저항 상태는 상기 상부 합성 교환 반강자성층 및 상기 고정층의 자화 방향과 상기 하부 이중 자유층의 자화 방향이 평행하고 상기 하부 이중 자유층과 상기 상부 다중 자유층의 자화 방향이 반평행(anti-parallel)할 때 나타나는 저항 상태이고,상기 제3 저항 상태는 상기 상부 합성 교환 반강자성층 및 상기 고정층의 자화 방향과 상기 하부 이중 자유층의 자화 방향이 반평행하고 상기 하부 이중 자유층과 상기 상부 다중 자유층의 자화 방향이 평행할 때 나타내는 저항 상태이며, 상기 제4 저항 상태는 상기 상부 합성 교환 반강자성층 및 상기 고정층의 자화 방향과 상기 하부 이중 자유층의 자화 방향이 반평행하고 상기 하부 이중 자유층과 상기 상부 다중 자유층의 자화 방향이 반평행할 때 나타내는 저항 상태인멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
14 14
제10항에 있어서, 상기 어느 하나의 저항 상태는 외부로부터 인가되는 자기장의 크기가 기설정된 제1 임계값 내지 기설정된 제2 임계값의 범위에서 스윕(sweep)되면, 상기 제3 저항상태, 상기 제2 저항상태, 상기 제1 저항상태 및 상기 제4 저항상태의 순서로 순차적으로 스위칭되는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
15 15
제10항에 있어서, 상기 고정층과 상기 하부 이중 자유층 사이에 형성되는 하부 터널 베리어층 및 상기 하부 이중 자유층과 상기 상부 다중 자유층 사이에 형성되는 상부 터널 베리어층을 더 포함하는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
16 16
삭제
17 17
제10항에 있어서, 상기 상부 합성 교환 반강자성층의 하부에 형성되는 하부 합성 교환 반강자성층을 더 포함하는 멀티 비트 수직 자기 터널링 접합
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한양대학교 이공분야기초연구사업 / 중견연구자지원사업 / 도약연구(도전-후속연구지원) 3차원 적층 cross-bar 수직형 스핀토크 자기저항 메모리 집적화 및 응용 기술 연구